【課題】ＥＲＣＳ法により得られたＥＲＣＳスペクトルから、試料中に見出される水素の質量面密度、水素質量密度や、試料中に見出される包有物の大きさおよび密度を得る方法、さらには、ＥＲＣＳスペクトル歪みを補正する方法を提供する。
【解決手段】高エネルギーの陽子ビームを試料に照射して、前記試料の組成を分析する陽子−陽子弾性散乱同時計数法において、前記試料に入射した前記陽子ビームの入射陽子が、前記試料中で弾性散乱されることにより生じる、散乱陽子と反跳陽子とを、測定して得られる、前記散乱陽子と前記反跳陽子とのエネルギー値の和であるサムエネルギーを示すＥＲＣＳスペクトルであって、該ＥＲＣＳスペクトルの前記サムエネルギーを示すエネルギー単位を、下記式１により、質量面密度の単位に関連づけることを特徴とする、ＥＲＣＳスペクトルの単位変換方法である。
【数１】
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【課題】本発明は、陽電子線源と被測定試料を隔離して陽電子寿命を測定することができ、時間分解能の半値幅が１８０ｐｓ以下となる陽電子寿命測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の陽電子寿命測定は、装置陽電子線源と、前記陽電子線源との間に被測定試料を挟んで配置された光検出装置と、前記被測定試料に、前記陽電子線源から入射された陽電子が該被測定試料中で消滅する際に発生するγ線を検出するγ線検出装置と、を備え、前記光検出装置は、前記陽電子線源から前記陽電子が前記被測定試料中に入射された際に発生するチェレンコフ光を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

コンピュータ断層撮影スキャナは、筐体と、少なくとも部分的に筐体内に配置され、スキャンされる物体を、筐体を通して進行方向に沿って移動させるように構成される運搬機と、筐体に接続され、スキャンされる物体を受容するように構成されるガントリと、ガントリに取り付けられ、進行方向の長さに沿って広がるＸ線ビームを提供するように構成されるＸ線源と、ガントリに取り付けられ、Ｘ線源からのＸ線を受けて検出するように構成され配置される検出器アレイとを含み、該検出器アレイは、アレイの幾何学的効率が約８０％未満であるように、進行方向に互いに相対的にアレイ間隔距離だけずれており、該幾何学的効率は、検出器アレイの幅をアレイのピッチで割った値である。
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【課題】再検査と通常検査を並行して行いながら、かつ、確実に異物の混入した商品を排除し得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数個の内容物ｑを包材で包装した商品Ｍを搬送しながら、商品ＭにＸ線Ｌを照射して商品Ｍの検査を行う通常検査部２と、前記通常検査部２と並行に設けられ、前記通常検査にて不良と判断された商品Ｍの内容物ｑを再検査する再検査部３とを備えたＸ線検査装置であって、前記再検査部３は前記通常検査部２よりも合否の基準となる閾値が小さな値に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の結像システムは、直線軌跡走査を採用し、直線フィルタリング逆投影アルゴリズムを使用して断層又は立体画像を復元し、立体画像を真正に実現する。本結像システムは、検査速度が早い、回転の必要がなく、円軌道錐束ＣＴにおける大錐角についての問題がないという利点がある。
【解決手段】 少なくとも一つの放射線源を含み、放射線を発生するための放射線発生装置と、前記放射線源に対向して設置された検知器アレーを含み、被検査物体を透過した放射線を受け取ることで投影データを獲得するためのデータ採集装置と、検査過程において放射線源と検知器アレーとの間にある被検査物体と、放射線源及び検知器アレーとを相対的に直線移動させるための移送装置と、前記放射線発生装置と前記データ採集装置と移送装置とを制御し、前記投影データから被検査物体の画像を復元するための制御・画像処理装置とを備える結像システムである。 （もっと読む）

【課題】再検査と通常検査を並行して行いながら、かつ、確実に異物の混入した商品を排除し得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数個の内容物ｑを包材で包装した商品Ｍを搬送しながら、商品ＭにＸ線Ｌを照射して商品Ｍの検査を行う通常検査部２と、前記通常検査部２と並行に設けられ、前記通常検査にて不良と判断された商品Ｍの内容物ｑを再検査する再検査部３とを備えたＸ線検査装置であって、前記再検査部３は前記通常検査部２よりも合否の基準となる閾値が小さな値に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速中性子及び連続エネルギー・スペクトルX線による材料識別の方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、（a）高速中性子源及び連続エネルギー・スペクトルX線源でそれぞれ産生された高速中性子ビーム及び連続エネルギー・スペクトルX線ビームを被検対象に照射する；（b）X線検出器アレー及び中性子検出器アレーにて、透過したX線ビーム及び高速中性子ビームの強度を直接計測する；（c）被検対象の異なる材料を透過した中性子ビームとX線ビームの減衰差によって形成された曲線により、被検対象の材料に対して材料識別を行う；ステップを含む。 高速中性子と連続エネルギー・スペクトルX線との透過減衰強度が異なるように構成され、被検対象の厚さと無関係に被検対象の等効原子番号Zとのみ関係するn-X曲線を利用して材料識別を行う。 （もっと読む）

貨物の非侵入性検査及び確認を行うためのシステム及び／又は方法を開示する。代表的な一実施形態では、元素シグネチャーを供給チェーンの第1地点で特定し、該供給チェーンの第2地点に送信する。物品が第2地点に到着すると、該物品の元素シグネチャーを測定し、元々の元素シグネチャーに対して確認できる。別の実施形態では、元素シグネチャーを測定して物品の起点を確認したり物品を識別したりできる。幾つかの実施形態では、こうした元素シグネチャーは発送済み物品及び／又は梱包材料に固有とする。他の実施形態では、元素シグネチャーは発送品にタグ物質として付加する。
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【課題】 全受光面全体を使用でき、その上で、寿命をできるだけ正確に予測することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１１とフラットパネルＸ線検出器１２とからなるＸ線測定光学系１３が被測定物を挟むようにして対向配置され、フラットパネルＸ線検出器１２への入射Ｘ線量と同等なＸ線量を、累積的に測定または算出することによりフラットパネルＸ線検出器１２への累積入射Ｘ線量を見積もる累積入射Ｘ線量見積もり部３４と、予め設定された判定基準と見積もられた累積入射Ｘ線量との比較によりフラットパネルＸ線検出器の寿命を判定する寿命判定部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】被覆材で被覆された多様な被測定物の腐食を、被覆材を外すことなく非破壊で確実に検査することができる腐食検査方法を提供する。
【解決手段】被覆材により被覆された被検査物の腐食を検査する腐食検査方法である。高速中性子を放出する中性子線源により被覆材表面から高速中性子を注入し、熱中性子を検出する熱中性子検出器により被覆材表面から放出された熱中性子を計数して熱中性子計数値を測定する。その後、基準の熱中性子計数値に対する熱中性子計数値の計数値比を求める。その後、計数値比が所定のしきい値よりも高い場合には、被覆材に被覆された被検査物に腐食があると判断する。 （もっと読む）

装置が、X線のような電離放射線に感受性のある検出器（１００）によって生成される信号を受領する。微分器（２０４）は検出器信号の変化率を示す出力を生成する。弁別器（２０６）は微分器（２０４）出力の大きさを分類する。弁別器（２０６）の出力によってトリガーされる積分器（２０８）が検出された光子を示す出力を生成する。一つまたは複数の補正器（２４ａ、２４ｂ）がパルスの積み上げについて補正し、組み合わせ器（２５）が補正器（２４ａ、２４ｂ）の出力を使って、検出された光子の数およびエネルギー分布を示す出力信号を生成する。
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対象物（１）の検査領域（２）を撮像するための撮像方法は、エネルギービーム源（１０）によりエネルギー入力ビーム（３）を生成する工程と、エネルギー入力ビームの複数のエネルギー入力ビーム成分（４）を用いて複数の投射方向に沿って検査領域を照射する工程とを備え、複数のエネルギー入力ビーム成分はフレームマスク（４０）を用いて形成され、このフレームマスクは、エネルギー入力ビーム（１０）と対象物との間に配置され、複数のフレームマスク窓（４１）を有している。上記方法はさらに、フレームマスクの外側に配置された外部検出器デバイス（２１）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第１積分減衰値を測定する工程と、フレームマスクの内面に配置されたフレームマスク検出器デバイス（２４）を用いてエネルギー入力ビーム成分の第２積分減衰値を測定する工程と、第１および第２積分減衰値に基づいて検査領域の画像を再構築する工程とを備えている。さらに、対象物の検査領域を撮像する撮像装置（１００）が開示される。
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手荷物検査へのＣＳＣＴの使用は、大きな視野を必要とし、結果として大きな遠心力を維持しなくてはならない大きなガントリになる。したがって、より小さなガントリサイズを可能にする様々なＣＳＣＴ幾何構成が記載される。特に、焦点中心でない検出器ユニットを有するＣＳＣＴスキャナが記載される。
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【課題】合金化溶融亜鉛めっき鋼板における組成が深さ方向に不均一なめっき被膜の付着量および組成を十分正確に分析できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】所定の入射角φで試料１に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７と、所定の取り出し角α，βで試料１から発生する蛍光Ｘ線８の強度を測定する検出手段９とを備え、前記入射角φと取り出し角α，βの組合せにおいて少なくとも一方が相異なる２つの組合せで蛍光Ｘ線８の強度を測定し、蛍光Ｘ線８の強度が測定対象膜の付着量を増大させたときの上限値の９９％となる付着量で示される測定深さについて、前記２つの組合せでの測定深さがいずれも前記めっき被膜３の付着量よりも大きくなるように、各組合せにおける入射角φおよび取り出し角α，βが設定されている。 （もっと読む）

【課題】複数材料によって起こる一連の化学反応を時間分割分析し得る装置及び方法を提供する。
【解決手段】流路Ｌを構成する管状反応容器２に複数の測定用ポイントたる測定位置２１、２２、２３、２４、２５を設定するとともに、この各測定位置２１、２２、２３、２４、２５ごとに第１材料ｒ１、第２材料ｒ２、第３材料ｒ３及び触媒Ｃによって起こる反応の進行段階が定常となるように、流速維持装置１によって流路Ｌ内の流速を維持しておき、この各測定位置２１、２２、２３、２４、２５における反応状態を管状反応容器２の外側に配した測定装置３によって測定する。
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【課題】配管内部等の不可視部位に有する粒子径や粒子速度を簡易に精度よく計測すること。
【解決手段】ｋ（ｋ≧４）列で、互いに平行な単一波長のＸ線をＸ線ビーム群Ｂとして発射するＸ線発射源１１と、Ｘ線ビーム群Ｂの発射方向に検出面を有するＸ線検出器１２と、このＸ線検出器１２で検出したＸ線を基にＸ線強度分布を生成するＸ線強度分布生成手段１３と、Ｘ線強度分布から２つのピークを検出するピーク検出手段１４と、このピーク検出手段１４で２つのピークを検出したか否かを判断するピーク検出判断手段１５と、このピーク検出判断手段１５で２つのピークを検出したと判断した場合、２つのピークの幅を粒子径として計算するピーク幅計算手段１６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ステージ移動の際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突危険性を判断し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物が位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、ステージを並進および回転するステージ駆動機構１５と、ステージ上に載置された被測定物を撮影する光学カメラ１６と、ステージを回転しつつ被測定物を光学カメラで撮影したときの画像データに含まれる被測定物の軌跡データに基づいて被測定物とＸ線測定光学系との衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定部３２と、設定した衝突危険領域に基づいてステージを移動する際の衝突危険性を判定する衝突判定部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）