【課題】コンピュータ断層撮像方法による正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】複数の被検査体３の投影データよりその被検査体３の内部構造データを再構成するＸ線断層撮像装置であって、Ｘ線源１と、被検査体３の透過Ｘ線を撮像する二次元検出手段４と、Ｘ線源１のＸ線焦点１ａと二次元検出手段４との間に配置され、被検査体３を載置してＸ線源１から出射されたＸ線により形成される円錐の底面の中心とＸ線焦点を結ぶ線分とほぼ平行な回転軸Ｒ２を中心に、設定された角度変位で回転する回転機構と、回転軸Ｒ２に対し、被検査体３をその回転軸Ｒ２を中心線とする所定角度の頂角を持つ仮想円錐の円錐面１０に接した状態に把持する把持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物を連続的に検査して、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めＸ線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査物５を搬送する搬送装置１２と、被検査物に対し、搬送方向に直交する同一断面内で、２以上の異なる方向から、所定のエネルギー分布を有する入射Ｘ線７を、同時又は時間をずらして照射するＸ線照射装置１４と、入射Ｘ線が被検査物を透過した透過Ｘ線８から２以上のエネルギー領域のＸ線強度を弁別して計測するＸ線検出装置１６と、２以上のエネルギー領域における入射Ｘ線と透過Ｘ線の強度から、被検査物の実効原子番号Ｚ_effと電子密度ρ_eを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検出精度の高い異物検査システムを提供する。
【解決手段】 コンベヤにより搬送される商品ＭにＸ線照射手段からのＸ線を照射し、前記商品Ｍを透過したＸ線をＸ線検出器に入射させて、前記商品に付着ないし混入している異物Ｄを検出することで合否の判定を行う異物検査システムに関する。前記Ｘ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を２組設けると共に、これら２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を前記コンベヤの搬送方向Ｙに対して交差する平面上に設け、前記２組の光学系２０，３０の光軸Ｓ１，Ｓ１が、搬送方向Ｙの上流から見て互いに交差するように前記２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を配設する。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのリード素子の素子形状を評価する素子評価方法及び装置に関し、同一の評価試料によってリード幅、コア幅及び素子高さを評価しうる素子評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１の材料よりなる第１の部分と第２の材料よりなる第２の部分とが積層された第１の領域に電子線を入射し、第１及び第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第１の電子線強度を測定し、第１の材料よりなる第２の領域に電子線を入射し、第１の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第２の電子線強度を測定し、第２の材料よりなる第３の領域に電子線を入射し、第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第３の電子線強度を測定し、第１の電子線強度と第１の部分の厚さとの関係を、第２の電子線強度と評価試料の厚さとの関係及び第３の電子線強度と評価試料の厚さとの関係から算出することにより、第１の領域の第１の部分の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部に連通した空間内にある検査対象物を、その狭隘部の幅よりも広い範囲で撮像することができる放射線センサ及びその放射線センサを用いた非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に、検査対象物１００を挟んで検査対象物に向けて放射線を照射する放射線照射手段（Ｘ線照射手段１０）の反対側に配置され、検査対象物を透過した放射線を受けることにより検査対象物を撮像する放射線センサ（Ｘ線センサ２０）であって、放射線を検出する放射線検出器が長手方向に沿って列状に配置された棒状の放射線検出部（Ｘ線検出部２１）と、放射線検出器を支持して空間内に放射線検出部を支持するための棒状の支持部材と、放射線検出部と支持部材との間に設けられて支持部材に対する放射線検出部の角度を変更することができる接続部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】試料のセット時に生じる試料表面の傾斜を補正する方法を提供すること。
【解決手段】斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法は、試料ステージに載置された試料に電子線を照射し、試料内部から発せられる特性Ｘ線が試料表面での全反射現象により検出されない角度以下に試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定することにより試料の表層から発せられる特性Ｘ線のみをＸ線検出器で選択的に検出する斜出射電子線プローブマイクロＸ線分析方法において、所定の基準面に対する試料表面の傾斜角度を求める工程と、求められた傾斜角度が相殺されるように試料ステージを傾斜させて特性Ｘ線の取出角度を設定する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】パターンの輪郭データの抽出を失敗すること無く、高速かつ正確に回路パターンの検査を行うことのできる、パターン検査方法及びシステムを提供する。
【解決手段】パターン比較は通常２次電子像を用いて行うが、パターンの立体形状の観察及び検査に適すると言われている反射電子像を用いて、パターンの輪郭を抽出する。そして、この抽出したパターンの輪郭を用いてパターン検査を実行する。パターン検査は、具体的には、パターンの輪郭とＣＡＤ等の設計データとを比較して両者のずれを計測したり、パターン輪郭から回路パターンの寸法等を算出することにより実行される。
なお、２つ以上の異なる空間的な位置で反射電子を検出して生成された少なくとも２つ以上の反射電子像から、反射電子像に含まれたパターンの輪郭データを抽出するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】減衰特性が未知の物質であっても、短時間にその材質を識別することができ、かつ予めＸ線の検出出力と対象物の厚みとの特性データを求める必要がない高速材質識別検査装置および方法を提供する。
【解決手段】被検査物５に２以上の異なる方向から複数の強度の入射Ｘ線７を照射するＸ線照射装置１４と、被検査物を透過した透過Ｘ線８の強度と複数のＸ線透過画像から被検査物の厚さｘを検出するＸ線検出装置１６と、複数の強度、透過Ｘ線の強度、および厚さから被検査物の原子番号Ｚと電子密度ρを算出し、これから被検査物の材質を識別する演算装置１８とを備える。比例定数Ａ，Ｂに少なくとも一方を、原子番号が４から３０の物質においてＸ線の減弱係数の線形性を利用して近似的に解く。 （もっと読む）

物体の放射線相互作用データ、及び特に物体の画像を取得する方法及び装置であって、例えば、Ｘ線またはガンマ線源のような放射線源、及びＸ線またはガンマ線検出システムのような放射線検出システムであって、それらの間にスキャニング領域を定義するようにお互いに離間して配置され、放射線検出システムは、入射放射線に関する分光学的に分解可能な情報を検出及び採取でき、前記検出システムに入射する放射線に関する１つ以上の強度情報のデータセット、及び少なくとも１つ、好ましくは複数のスキャニング位置における前記スキャニング領域の物体の入射放射線との相互作用を採取し、好ましくは、前記検出システムにおいて受信された、前記物体との相互作用の後の放射線、及び例えば前記物体を透過した放射線から前記スキャニング領域の物体の画像を生成し、それぞれの前記強度データセットを、前記放射線源の前記スペクトルの範囲内の少なくとも３つの周波数帯域に亘って、それぞれの周波数帯に対する強度データアイテムを生成するために分解し、既定の強度データセットにおける、少なくとも２対の前記周波数帯域の前記強度データアイテムの間の数値的関係を、放射線相互作用に関連する特有の物理的物質特性と関数関係にある１つの数値的指標を得るために算出し、その数値的指標を、強度データセットを生成する物質に近似する成分の指標を得るために、潜在的な成分の物質の特有の物理的物質特性を示すデータのライブラリと比較する。 （もっと読む）

【課題】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて材料を識別する方法を提供する。
【解決手段】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて、放射線方向に重なっている物体に対して、その中で放射線吸収の主要成分である障害物を剥離し、本来放射線吸収の副次成分であるため明らかでなかった物体を明らかになるようにし、その材料属性（例えば有機物、混合物、金属等）が識別できる。本発明の方法によれば、放射線方向における非主要成分に対して材料識別ができ、これはコンテナに遮られている爆発物、麻薬等その他の有害物を自動識別することの基礎となる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、半導体パターンやコンタクトホールの変形や側壁の傾斜のできばえを判定することができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】
半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの画像をあらかじめ設定された条件で撮像する撮像手段、該撮像手段で撮像された画像と予め記憶された基準画像とを比較して撮像された画像の特徴量を算出する算出手段，該算出手段で算出された特徴量に基づいて、半導体ウェーハのできばえ評価を実行するコンピュータを備え、特徴量の算出は、２次電子画像，反射電子画像に関して独立に行われる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に検査可能なＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つのＸ線センサ（Ｘ線センサモジュール２５）が互いに異なる半径の円周上に配置される。同一半径の円周上に所定数のＸ線センサを配置した場合には、Ｘ線の照射角も固定されるので、垂直方向または水平方向のいずれかの空間分解能しか高めることができない可能性がある。しかし少なくとも２つのＸ線センサが互いに異なる円周上に配置されことで、水平断層像および垂直断層像のいずれにおいても、水平方向の情報および垂直方向の情報をいわば均等に含めることができる。このため画像を再構成した際に水平方向および垂直方向のいずれかの情報が不足するという問題を回避することが可能になる。この結果、撮像枚数が少なくても、水平方向および垂直方向の両方において空間分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラストＸ線撮像法と同じ密度分解能及びダイナミックレンジで、測定時間が短く、経時的な観察が可能で、かつ入射Ｘ線強度が時間的に変動している場合でも高い感度で試料を観察できるＸ線撮像装置及び撮像方法を提供する。
【解決手段】試料によって生じたＸ線ビームの屈折角を、複数のアナライザー結晶１１，１２による複数回のＸ線回折を利用してＸ線検出器１８で同時に検出する。 （もっと読む）

【課題】コードウェーブの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像から各ベルトコードＢＣの近傍における各カーカスコードＣＣが撮像された領域を抽出し、抽出された抽出画像中の各カーカスコードＣＣの延設方向と画像幅方向とが所定角度以上の角度をなす場合に、その透過Ｘ線像を撮像したタイヤＴにコードウェーブが生じていると判定される。このため、例えば各ベルトコードＢＣの近傍における各カーカスコードＣＣの延設方向と画像幅方向とが１２°の角度をなするようにコードウェーブが生じており、前記所定角度が１０°に設定されている場合は、各カーカスコードＣＣの延設方向と画像幅方向とが所定角度以上の角度をなすことになり、コードウェーブが生じていると判定される。 （もっと読む）

【課題】ベルトエッジオーバーラップの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像から各ベルトコードＢＣが撮像されたベルトコード領域のうちベルト部材幅方向の両端部側の領域を抽出するとともに、その抽出画像中において第２ベルト部材ＢＥ２の各ベルトコードＢＣ延設方向と等しい方向に延在する成分が集合している特定成分領域を確定することから、特定成分領域は第２ベルト部材ＢＥ２のみが存在する領域となる。また、特定成分領域がタイヤ周方向に不連続である場合に、その透過Ｘ線像を撮像したタイヤＴにベルトエッジオーバーラップが生じていると判定される。 （もっと読む）

【課題】アレイ検査装置において、複数の二次電子検出器から検出される検出波形を処理する際に、デジタル処理装置の処理負担を低減する。
【解決手段】検出波形のデータ処理において、Ａ／Ｄ変換からバッファ処理およびデータ加算処理までの処理についてはリアルタイム処理を行うとともに、バッファ処理およびデータ加算処理についてはＡ／Ｄ変換に続いて割り込み処理を行うことによって、リアルタイム処理で処理するデータ量を低減させ、これによってデジタル処理装置の処理負担を低減する。 （もっと読む）

【課題】容積測定（volumetric）タイプのコンプトン散乱Ｘ線深度視覚化、画像化、および情報プロバイダを提供すること。
【解決手段】一態様は、個体の少なくとも一部の少なくとも一部の物質に対して印加されている少なくとも１つのＸ線のコンプトン散乱に少なくとも部分的に基づく、個体の少なくとも一部の少なくとも一部の物質の、１つまたは複数の断層撮影タイプのコンプトン散乱ベースの視覚化、画像、または提供される情報を捕捉することに関する。別の態様は、少なくとも１つのコンプトン散乱Ｘ線を形成する、個体の少なくとも一部の少なくとも一部の物質内における、少なくとも１つの印加されるＸ線の散乱によって、少なくとも部分的に得られる、少なくとも一部のデータに実質的に一致する少なくとも１つの物質特徴分布関数を導き出すことに関する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン基板より構成された、表面テクスチャー構造をもつ太陽電池基板等の試料をＸ線検査する場合に生じる基板表面でのＸ線散乱による疑似クラック画像を除去することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を得る。
【解決手段】試料を回転させつつ取り込んだＸ線透過データから、例えば画素間の濃度の差分値、試料の各部位のＸ線吸収率の空間的変動に係るデータを算出し、その空間的変動データを用いて平面像を再構成演算することにより、試料内部でＸ線吸収率の空間的変化が大きな部位が強調された平面像を得て、基板上の微小なクラック等を明確に画像化することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ピーク測定条件で測定したネット強度とバックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度との強度比を用いて、測定値の統計変動を小さくし、分析を精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。
【解決手段】試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を測定する検出器８Ａ、８Ｂと、測定条件設定手段９１と、ピーク測定条件で測定したネット強度Ｉｎを記憶するネット強度測定手段９２と、バックグラウンド測定条件で測定したバックグラウンド強度Ｉｂｘを記憶するバックグラウンド強度測定手段９３と、ネット強度Ｉｎとバックグラウンド強度Ｉｂｘとの強度比を演算する強度比演算手段９４と、演算された演算値Ｉｎ／Ｉｂｘにより試料Ｓを定量分析する定量分析手段９５とを有する蛍光Ｘ線分析装置１０。 （もっと読む）