【課題】被検査対象に応じた撮影方法の選択を可能とし、もって検査時間を短縮することができる放射線検査装置、それを用いる放射線検査方法およびそれを制御する放射線検査プログラムを提供する。
【解決手段】本放射線検査装置１０は、所定の立体角の範囲に放射線を出力する放射線出力手段（放射線発生器）１１と、被検査対象を移動させる被検査対象平面移動手段（Ｘ−Ｙステージ）１２と、被検査対象の放射線透過画像を取得する放射線透過画像取得手段（放射線取得機構）１３と、を備え、放射線透過画像取得手段は、透過放射線を検出する放射線検出器、この放射線検出器を回転移動させる検出器回転移動部および直線移動させる検出器直線移動部を具備し、検出器回転移動部による放射線検出器の回転移動および検出器直線移動部による放射線検出器の直線移動のそれぞれによって被検査対象の三次元再構成画像生成用の放射線透過画像を取得可能である。 （もっと読む）

【課題】回転装置を設けることなく被検体に対して多方向からＸ線を照射してＣＴ撮影を行うＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】被検体ＨにＸ線１００を照射し、被検体Ｈを透過したＸ線１００を検出することにより被検体Ｈの内部状態を画像化するＸ線ＣＴ装置であって、電子銃と、被検体Ｈの周りに円環状に複数配置され、電子ビームＢが入射すると被検体Ｈに向けてＸ線１００を照射するターゲットコリメータ１５と、電子銃から入射した電子ビームＢを被検体Ｈの周りの円環軌道に沿って偏向すると共に、複数のターゲットコリメータ１５の何れかに順次選択的に電子ビームＢを照射する電子ビーム偏向装置とを具備するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】少なくともＳｎとＧｅとを含有する合金の組成を、迅速かつ精度よく分析することができる、合金の組成分析方法及び組成分析装置を提供する。
【解決手段】この合金の組成分析装置１は、所定量の合金を無機酸で処理して、溶液部分と、Ｇｅ沈殿部分とに分離させる分離させる分離手段１２と、前記溶液部分及び前記Ｇｅ沈殿部分を、それぞれ組成分析する分析手段１５と、前記分離手段及び前記分析手段によって組成分析がなされた標準試料に基づいて、分析すべき分析試料の組成分析を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて行う試料分析手段２０とを有している。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 高精度にて核物質を検出することができる核物質検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象となる検査物Ａに含まれる核物質を検出する核物質検出装置１０である。中性子検出センサ１は、検査物Ａに対して対向配置され、核物質から放出される中性子を検出する。中性子検出センサ１は、核物質から放出される中性子の発生源の二次元位置が検出可能とされている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重なり等により、被検査物の透過Ｘ線データ濃度が異物の透過Ｘ線データ濃度のほぼ同一になったとしても、確実に異物を検出するＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｐを透過した複数の異なるネルギー帯の透過量を検出するＸ線検出手段１０によって得られる検出信号を異なるネルギー帯毎の透過画像として記憶する透過画像記憶手段２１と、透過画像記憶手段２１に記憶された複数の異なるエネルギー帯の透過画像から独立成分として異物画像を含む複数の分離画像を分離抽出する独立成分分析手段２４を有する画像処理手段２３を備え、独立成分分析手段２４によって分離抽出された異物画像に基づいて被検査物Ｐの中に異物が含まれているか否かを判定する。
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第１の立て柱と、前記第１の立て柱上に取り付けられた第１のコリメータ及び第２のコリメータと、取付ブラケットと、第１の探知器装置及び第２の探知器装置とを含む輻射イメージングシステム用アームフレーム構造、及び上記アームフレーム構造を設けた輻射イメージングシステム。第１のコリメータ及び第２のコリメータはそれらの間の１つの平面に関して対称的に設けられることにより、放射線源からの放射線ビームを２つの対称放射する第１の光束及び第２の光束に分ける。第１の探知器装置及び第２の探知器装置は前記平面に関して対称的に前記取付ブラケット上に設けられ、且つ第１のコリメータ及び第２のコリメータから離れることにより、それぞれ前記第１の光束及び第２の光束を受信する。
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【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】干渉計デバイス及び干渉法を開示する。
【解決手段】一実施形態において、デバイスは、第１の平均波長λ_LEの放射線を放射する電磁放射線源と、第１のアスペクト比を持つ位相格子と、第２のアスペクト比を持つ吸収格子と、検出器と、を備えている。電磁放射線源、位相格子、吸収格子、及び検出器は、放射線に関して互いに連結されている。吸収格子は、検出器と位相格子との間に配置されており、電磁放射線源は線源格子の前方に配置されており、位相格子は、放射された放射線において、Πよりも小さい位相シフトを生じさせるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】様々な大きさの基板を検査可能な低コストの被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査システム１０において、第１ラインセンサユニット５０は、第１走査ライン１６ａと第２走査ライン１８ａとが一直線上に並ぶように並設された第１Ｘ線ラインセンサ１６および第２Ｘ線ラインセンサ１８を有する。第２ラインセンサユニット５２は、第３走査ライン２０ａと第４走査ライン２２ａとが一直線上に並ぶよう並設された第３Ｘ線ラインセンサ２０および第４Ｘ線ラインセンサ２２を有する。第３Ｘ線ラインセンサ２０は、第１Ｘ線ラインセンサ１６の第１走査ライン１６ａおよび第２Ｘ線ラインセンサ１８の第２走査ライン１８ａとの間に存在する撮像不能領域２ａにおける基板２の透過像を補完して撮像する。 （もっと読む）

【課題】中性子を用いて試料に含まれる過酸化物および超酸化物を検出する。
【解決手段】試料に含まれる化合物を検出するシステムは、中性子源と、試料に近接して設置された少なくとも１つのガンマ線検出器と、信号プロセッサと、を備える。中性子源は、試料に向けて中性子ビームを送る。ガンマ線検出器は、試料から放出されたガンマ線を収集し、信号プロセッサは、ガンマ線検出器によって収集されたガンマ線に基づいて、試料に含まれる化合物を同定する。同定される化合物は、過酸化物および超酸化物からなる群から選択される。 （もっと読む）

本発明は、人間の衣類の下や人体に隠された金属や原子番号Ｚが小さい物質（プラスチック、セラミックス、違法薬物）や他の禁制品を検出するために、すばやく人間を検査することができるＸ線人体検査システムを対象とする。１つの例としての実施形態において、対象物検出システムは、２つの走査モジュールが互いに平行に対向配置されている。２つのモジュールは、人間等の被検者が２つのモジュールの間に立ったり２つのモジュールの間を通ったりすることができるように、間隔を空けて配置されている。第１モジュール、及び、第２モジュールは、それぞれＸ線などの放射線源と検出器列とを有している。検査中の被検者は、被検者の前側が一のモジュールに対向し、かつ、後側が他のモジュールに対向するようにして２つのモジュールの間に立つ。 （もっと読む）

【課題】
多重露光法により試料上に形成されたパターンの形状、寸法、または欠陥の有無等の検査を行う電子ビーム測定技術を提供する。
【解決手段】
多重露光法により形成された基板上のパターンに前記電子ビームを照射して取得した画像について、該複数の画像内のそれぞれのパターンの明るさまたはホワイトバンドの形状の差から、前記それぞれのパターンを露光履歴に応じた複数のグループに分類する手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は包含される物品が開梱されていない条件下において放射線撮像原理を使用してトレーラー上に載置された物品を査察するためのトレーラーセキュリティー調査システムを提供することにある。
【解決手段】 トレーラーセキュリティー調査システムはトレーラーが通過するための調査路を形成する保護壁と、通路を通過するトレーラーのセキュリティー調査を実施する放射線撮像システムと、トレーラーを牽引するための牽引手段とを備える。システムはトレーラーを調査することに好適な特別な装置であり、手荷物のセキュリティー調査のための信頼性を有する技術的手段を提供し、非常に好適にして、且つ経済的である。 （もっと読む）

【課題】 加熱炉内に収容されている電子部品などのワークに最も近接した位置でＸ線照射を行うことで、実際の加熱条件下におけるワークの挙動をリアルタイム且つ詳細に観察することのできる加熱型Ｘ線観察装置を提供することである。
【解決手段】 ハンダ付けの対象物であるワーク２０を収容して加熱処理を施す加熱炉１２と、前記ワーク２０にＸ線を照射してハンダ付けの状態を検査するＸ線検査ユニット１３とを備えた加熱型Ｘ線観察装置において、前記Ｘ線検査ユニット１３は、加熱処理中の加熱炉１２内に突出し、先端部のＸ線ターゲット部４０が前記ワーク２０の検査部位に近接した位置でＸ線を照射するＸ線照射管３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る検出装置によれば、検出装置の有効な検出面積を増大させることにより、検出器の列数を有効に減少させて、検出装置のコストを下げることができる。
【解決手段】本発明は、スリップリングと、スリップリングに接続した放射線源と、放射線源に対向しスリップリングに接続した検出装置とを備えるＣＴ装置と、被検体を搬送する搬送装置とを備え、その中で前記検出装置はＮ列の検出器を備え、且つ、隣接する２つの列の前記検出器の間に所定の間隔を有し、その中でＮは１より大きい整数である、検査システムを提供する。本発明によるＣＴ装置では、ＣＴ装置の高速スキャン結像を実現し、ＣＴ装置と２次元画像を取得するためのスキャン結像装置とを同時に使用することが可能になるので、相互の不足を補うことができる。 （もっと読む）

【課題】筒状電離箱を用いて高い測定感度および分解能を共に改善できるように構成した電離箱型Ｘ線異物検出装置を提案すること。
【解決手段】電離箱型Ｘ線異物検出装置１の検査面５の真下には幅方向に一定のピッチで２列に筒状電離箱２４（１）〜２４（ｍ）、２５（１）〜２５（ｎ）が配列されている。各筒状電離箱は、その中心軸線がＸ線発生源１２に向く姿勢となるように配置してある。検査面上の検査対象物Ｗを透過したＸ線は各筒状電離箱の中心軸線に沿って各筒状電離箱に封入されている電離ガスを通過するので、直径方向に通過する場合に比べて、Ｘ線が通過する電離ガスの容積が格段に多い。よって、測定感度の高い電離箱型Ｘ線異物検出装置を実現でき、測定の分解能を高めるために各筒状電離箱を細くして細かいピッチで配列した場合においても、各筒状電離箱を軸線方向に長くすることにより、所望の測定感度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】
他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】複数のＸ線照射装置を備えるＸ線検査装置であって、Ｘ線照射に使用される電力量を抑えることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】搬送されてくる検査対象物１をＸ線により検査するＸ線検査装置であって、検査対象物１の搬送方向に沿って順に配置され、搬送されてくる検査対象物にＸ線を照射する複数のＸ線照射装置５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆと、該複数のＸ線照射装置から照射され検査対象物１を透過してきたＸ線をそれぞれ検出する複数のＸ線検出装置７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆと、検査対象物１が搬送方向下流側に搬送されて来るに従って、複数のＸ線照射装置を搬送方向上流側から順に作動させて各Ｘ線照射装置にＸ線照射を行わせる制御装置９と、を備える。 （もっと読む）