【課題】視差の影響を最小にする。
【解決手段】システム（１０）は、焦点スポット（１５）から対象（２２）へ向けてＸ線のコーン・ビーム（１６）を投射するように配置されたＸ線投射線源（１４）と、回転式ガントリ（１２）に配置されて、対象（２２）によって減弱されたＸ線を受光する検出器モジュール（２０）とを含んでいる。検出器モジュール（２２）の各々が、焦点スポット（１５）に対して変化する角度に配向されるように構築された複数の面（５８）を形成されて含む上面（５６）を有するモジュール・フレーム（５２）と、複数の面（５８）に配置されて、対象（２３）によって減弱されたＸ線を受光してＸ線（１６）を電気信号へ変換する複数のサブモジュール（６０）とを含んでおり、各々のサブモジュール（６０）は、当該サブモジュール（６０）が装着されているそれぞれの面（５８）に基づいて焦点スポット（１５）に対して一つの角度で配向されている。 （もっと読む）

【課題】
性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。
【解決手段】
被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部１０と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子５０と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサ６０と、前記回折Ｘ線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折Ｘ線を検出するシンチレーションカウンタ７０と、前記イメージセンサで検出された前記回折Ｘ線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の被検知物による吸収情報と位相情報とを、分離して独立した情報として取得するＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置であって、Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子と、分割素子により分割され、被検知物を透過したＸ線の位相変化によるＸ線の位置変化量を、Ｘ線または光の強度変化量に換えて、Ｘ線または光の強度を検出する検出手段と、検出手段から得られたＸ線または光の強度から被検知物の吸収情報であるＸ線透過率像と、位相情報であるＸ線微分位相像またはＸ線位相シフト像を演算する演算手段と、を有し、分割素子は、Ｘ線を分割することにより検出手段において２以上の幅を有するＸ線を照射する構成を備え、演算手段は、検出手段におけるＸ線の位置変化量とＸ線または光の強度変化量との相関関係が２以上の幅を有するＸ線間で異なることに基づいて演算する構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型車両から大型車両までの被検車両の前輪を持ち上げて搬送することができ、Ｘ線の影になる範囲が狭く実質的に被検車両全体をＸ線検査することができ、移動台車に動力源が不要であり、すべての操作を地上から制御することができるワイヤ操作式車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の走行面１１より低く両側面より外側に位置する１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レール１２に沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４にそれぞれ設けられ、被検車両１の前輪１ａを持ち上げ可能で走行面より下方に退避可能な１対の前輪リフト装置１６と、移動台車１４の移動範囲の前方及び後方に設けられ、牽引ワイヤ１９ａ，１９ｂにより移動台車を牽引して走行レール１２に沿って移動させるワイヤ牽引装置１８と、駆動ワイヤ２５ａ〜２５ｄ、２６ａ〜２６ｄにより前輪リフト装置１６を駆動するワイヤ駆動装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折Ｘ線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折Ｘ線の結像面を振り分けるように前記回折Ｘ線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度のＮＲＦ分析を行う。
【解決手段】電子加速装置１１１によって、高エネルギーまで加速された電子線１１２が図中右方向に放射される。一方、レーザー光源１２によって発せられたレーザー光１３は、回転式波長板１４を透過し、反射鏡１１３で反射され、電子線１１２中の高エネルギー電子と正面衝突するように設定される。レーザー光１３はＬＣＳガンマ線１５となり、図中右側に発せられる。試料１００における原子核は、このＬＣＳガンマ線１５を吸収し、核共鳴散乱によって、ＮＲＦガンマ線２１を発する。このＮＲＦガンマ線２１は、ＮＲＦガンマ線検出器（ガンマ線検出部）２２で検出される。回転式波長板（偏光方向切替部）１４は、垂直偏光されたレーザー光１３の偏光方向を制御する。特に、レーザー光１３の光軸を変えずに、その偏光方向を垂直な２方向に制御する。 （もっと読む）

【課題】駆動装置を搭載しない移動台車により、車両を搬送しながらＸ線検査することができ、移動台車の構造を簡略化かつ軽量化して製造コストを下げることができるケーブル牽引式車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の走行面１１より低く、被検車両の前輪１ａの外側又は内側に位置し、搬送方向に水平に延びる台車用通路１３内に設けられた走行レール１２と、走行面１１より下方に位置し、走行レールに沿って移動可能な移動台車１４と、移動台車に設けられ、被検車両の前輪を自走可能位置と搬送可能位置との間で移載可能な前輪移載装置１６と、移動台車をケーブル１９により牽引して走行レールに沿って移動させるケーブル牽引装置１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥を高精度に検出すること。
【解決手段】半導体基板から第１の仰角で放出される第１の二次電子の量と前記第１の仰角と異なる第２の仰角で放出される第２の二次電子の量とを個別に検出する。そして、前記検出した第１および第２の二次電子の量から夫々電位コントラスト画像を作成する。そして、前記作成した夫々の電位コントラスト画像の合成比率を決定し、前記第１および第２の二次電子の量から夫々作成した電位コントラスト画像を前記決定した合成比率で合成する。そして、前記合成された電位コントラスト画像を参照画像と比較することによって欠陥を抽出する。合成比率を決定する際、配線間の底部の輝度を求め前記求めた輝度が所定の基準値を越えるか否かを判定する。前記求めた輝度が所定の基準値を越えなかった場合、合成比率を変更する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法に関し、Ｘ線画像の分解能を向上させることができるＸ線顕微鏡及びＸ線を用いた顕微方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームＥＢを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてＸ線発生源となる薄膜１１と、該薄膜１１の第１の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜１１から発生するＸ線１３を検出するＸ線検出手段８とを有し、前記薄膜１１の第２の面に接して配置された試料７を透過したＸ線１３を前記Ｘ線検出手段８により検出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】電車線材料の状態を任意の位置で移動しながら簡単に非破壊で高精度に検査することができる電車線材料の非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１４Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１６Ａが測定する。その後に、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内から開放されて、収容部６が所定の間隔Δだけ移動する。次に、図（Ｂ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１５Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１７Ａが測定する。その結果、透過Ｘ線測定部１６Ａ，１７Ａが出力する透過Ｘ線情報が測定結果記録部に記録される。 （もっと読む）

【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも２種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線強度が弱い場合でも、正確に磁性層厚さが測定できる層厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析法を用いて非磁性支持体上に少なくとも磁性層を設けた磁気記録媒体の磁性層厚さを測定する層厚測定装置であって、該層厚測定装置は、Ｘ線の発生源であるＸ線管と、磁気記録媒体に照射されたＸ線により発生した蛍光Ｘ線を受ける検出器と、これらを含んで外気と遮断し、前記Ｘ線と前記蛍光Ｘ線を透過させるＸ線窓を有する密閉箱と、を含み、該密閉箱内は空気よりも密度の小さい気体で置換されており、前記Ｘ線窓と前記磁性層との距離が１〜５０ｍｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供すること。
【解決手段】搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置され、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサの間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほどＸ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延部４４と、遅延部４４からの検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

本発明は、試料のＸ線回折（ＸＲＤ）解析及び／又はＸ線蛍光（ＸＲＦ）解析を実行する方法であって、Ｘ線源からのＸ線を試料に照射し、走査波長選択器と波長選択器により選択されたＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を提供し、走査波長選択器を使用して試料により回折されるＸ線の固定波長を選択してＸ線検出器を使用して試料での１つ又は複数の値の回折角φでの選択された固定波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＤ解析を実行し、及び／又は、走査波長選択器を使用して試料により発せられたＸ線の波長を走査してＸ線検出器を使用して走査された波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＦ解析を実行する方法を提供する。試料のＸＲＤ解析及びＸＲＦ解析の両方を実行する装置であって、走査波長選択器と、ＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を備える装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】被検体におけるビームの吸収の影響が少ない画像合成装置及び画像合成方法を提供する。
【解決手段】実際に検出される前方回折ビーム強度及び回折ビーム強度は、被検体Ｓａでの吸収の影響が含まれるが、これらのビームにおける被検体を通過したときの吸収による減衰率が同じであると仮定して、この減衰率と前方回折ビーム強度と回折ビーム強度で表される、減衰の影響を含まない前方回折ビーム強度及び回折ビーム強度により、被検体Ｓａを通過した際のビームの屈折角θ_０を求め、その屈折角θ_０を用いて被検体Ｓａの合成画像を得る。 （もっと読む）