【課題】好都合な歪み補正の計算方法を使用して、試験物体内部の選択された断面平面の断面影像を効果的に生成すること。
【解決手段】断層撮影検査システムが、放射線源、影像平面を画定する複数の線形影像検出器、放射線源と影像検出器の間の固定された位置に試験物体を配置する固定式テーブル、および影像検出器から獲得された試験物体の複数の影像を処理するコンピュータ装置を備える。放射線源および影像検出器は、試験物体の全領域に亘り複数の平行な線形走査を実行して、異なる視角のもとでの試験物体の影像を獲得する。獲得されたデータに基づき、コンピュータ装置が、歪み補正を決定し、試験物体内部の選択された断面の断面影像を生成する。 （もっと読む）

放射線伝送データおよび特に対象物の画像を取得する方法および装置であって、この方法は、Ｘ線またはガンマ線などの放射線ソース、およびそのソースから間隔を置かれたＸ線またはガンマ線検出システムなどの放射線検出器システムであってそれらの間にあるスキャン領域を画定する、検出器システムを提供する工程であって、この検出器システムは、入射放射線についての、分光的に分解可能な情報を検出し収集することができる、工程と、この検出器において入射する放射線と、ならびに、対象物を介して伝送され、この検出器システムにおいて受け取られる放射線から、少なくとも１つ、および好ましくは複数のスキャン位置において、スキャン領域におけるこの対象物の透過率とについての情報のデータセットを収集する工程と、そのソースのスペクトル内にて、複数の周波数帯に亘り、分光的にその各々のデータセットを分解する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板検査装置において、検査対象である基板のスループットを改善する。
【解決手段】ＴＦＴ基板検査装置は、導入したＴＦＴ基板の基板検査を行う検査室と、この検査室内にＴＦＴ基板を導入するロードロック室と、検査室内からＴＦＴ基板を導出するアンロードロック室とを備える。検査室はロードロック室とアンロードロック室との間で形成される基板の搬送経路上に複数の副検査室を順に連結して構成される。検査室を構成する各副検査室には、基板の搬送方向と走査方向とを一致させて電子銃および検出器を配置し、基板を搬送方向に搬送することで走査を行う。この各副検査室で行う走査は、基板上で行う全走査を複数回に分けて行う分割走査の一つであり、各副検査室で行う分割走査を合わせることで基板上の全走査を行う。 （もっと読む）

【課題】漏れが発生する前に管状被検体の劣化或いは破損を非破壊で検知可能な非破壊検査装置及び非破壊検査方法を提供すること。
【解決手段】管状被検体に放射線を側面から照射する放射線源と、前記管状被検体を透過した放射線を検出して透過画像を得るイメージセンサと、前記イメージセンサにより得られた前記透過画像から前記管状被検体の管壁画像情報を生成する画像情報生成手段と、前記画像情報生成手段により生成された前記管壁画像情報に基づいて、前記管状被検体の健全性を評価する評価手段とを具備することを特徴とする非破壊検査装置を使用する。 （もっと読む）

Ｘ線又は他の放射ビームを使用した物体の検査の技術、特に、符号化放射ビームを用いて物体を照明し、物体によって散乱された及び／又は物体を通して伝達された放射線を検出することによって物体を検査するための装置及び方法を提供する。物体を検査するための装置は、物体の被検査領域を照明するために扇ビーム又はフラッドビームを利用する。可動マスクの形態を取ることができる変調器は、被検査領域の各セグメントが所定の時間的シーケンスに従って変動する放射線量を受け取るようにビームを動的に符号化する。物体からの放射線を受け取る後方散乱検出器又は任意的な透過検出器によって生成され得られる信号は、被検査領域の画像を構成することができるように、空間情報を再生するために復号される。 （もっと読む）

対象物の画像を生成して表示するための装置は、放射線発生源および、相互間に走査ゾーンを定義するために、相互に間隔を隔てた、入射放射線を分光的に分解することができる少なくとも２つの一連のリニア放射線検出器；使用時に対象物を、前記走査ゾーンに対しておよび当該走査ゾーンを通って移動させる手段；この種の各画像が分光的に分解された入射放射線の表示を含むように、第１のリニア検出器の出力から少なくとも第１の画像、第２のリニア検出器の出力から第２の画像、および第３の画像を生成する画像生成装置；この種の少なくとも前記第１、第２および第３の画像を連続的に表示し、したがって前記画像間に単眼の運動視差を表示するのに適する画像ディスプレイ、を備える。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームを利用した不純物同定、元素分析、組成、結晶性、表面界面状態をナノメートルオーダーの微小領域で分析可能とする。
【解決手段】３次元可視化する方法として、10ｎｍ以下に集束した中エネルギー１００〜４００ｋｅＶのイオンを試料に走査照射し、ラザフォード後方散乱されるイオンの飛行時間計測を、２次電子イオンをスタート信号として検出することにより求め、各照射位置に対応したＴＯＦ−ＲＢＳデータをナノメートル分解能で取得し、時間エネルギー変換により３次元可視化を可能とする。 （もっと読む）

多段式工程は、船積みコンテナ内の放射線、爆発物および特殊な物質を検出し、特定する。工程は、分散ネットワーク上のノードとして構成された放射線センサを利用する。工程は、ノードから放射線データを収集する。放射線データは、コンテナおよびその内容物に関連する。収集された放射線データは、水面、陸上、空気、地面および他の構造物などに関連して動的に変化するバックグラウンド放射線データに従って動的に調整される。工程は、存在する１つまたは複数の同位元素を特定するために、収集され調整されたデータを同位元素を表すスペトクトル画像と比較する。特定された同位元素は、それらが表す可能性のある物質と一致する。コンテナ内に含まれる物質の特定を立証するため、またはコンテナ内の認可されない物質を検出および／または特定するために、可能性のある物質は、コンテナの積み荷目録と比較される。隠蔽されている物質、爆発物および他のタイプの物質を特定するのに、中性子パルス装置を使用することができる。 （もっと読む）

ミューオン等の粒子を検出する技術、装置及びシステムを提供する。一具体例では、監視システムは、複数のドリフトセルを有する宇宙線生成荷電粒子追跡器を備える。ドリフトセル、例えば、アルミニウムドリフトチューブは、走査される容積体の少なくとも上方及び下方に配置でき、これにより、宇宙線生成ミューオン等の入射及び出射荷電粒子を追跡すると共に、ガンマ線を検出する。システムは、容積体を通過する荷電粒子の多重散乱から、容積体に収容されている装置又は物質、例えば、鉄、鉛、金及び／又はタングステン等を選択的に検出でき、及び容積体に収容されている放射線源から放射されたガンマ線から、容積体に収容されている放射線源も検出できる。必要であれば、ドリフトチューブを密封し、ガスハンドリングシステムの必要性をなくしてもよい。このシステムは、国境検問所において、核脅威物体について、荷物を積んだ乗物を検査するために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを選択的に高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線センサ２３が取り付けられ、回転軸２１を中心に回転するセンサベース２２と、センサベース２２の回転角やＸ線センサ２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０等を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線センサ２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線センサ２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。画像制御取得機構３０はＸ線センサ２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】 マルチビーム型の半導体検査装置において、多様な特性を持つ試料に対して、高い欠陥検出感度と高い検査速度を両立させ得る荷電粒子線応用装置を提供する。
【解決手段】 試料上における一次ビームの配置を可変とし、さらに、試料の特性を元に、最適な検査仕様で高速に検査を行うためのビーム配置を抽出する。また、また、多数の光学パラメータおよび装置パラメータを最適化する。さらに、抽出された一次ビームの特性を測定し、調整する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置１５の中性子発生管１及び中性子検出器を有する。中性子発生管２は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子２０を発生し、保温材１２に照射する。高速中性子２０は保温材１２内に存在する水１４及び配管１１内を流れる液体１０によって減速されて熱中性子２１となる。高速中性子２０の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子２１は^３Ｈｅ比例計数管２で検出される。この計数管２からの出力信号は多チャンネル波高分析器８を経てデータ処理装置９に達する。データ処理装置９は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材１２内に水１４が存在する場合の水１４の位置及び水１４の量を求める。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適したX線散乱チャンバを提供する。
【解決手段】X線散乱チャンバ12は、X線回折機器内に設置されたハウジング14を有し、このハウジングは、X線源2とX線検出器4の間に配置され、例えばゴニオメータアーム6上に配置される。ハウジング14は、サンプルホルダ16と、ビーム調整光学素子22、24とを有する。このシステムでは、ハウジングの外側に、一次光学素子10が使用されても良い。本機器は、SAXSおよび／またはSAXS−WAXSに適している。 （もっと読む）

【課題】微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、微小化構造を有する物体の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、反応ガスを供給すると同時に、加工すべき箇所に電子ビームを当てて、材料を堆積するか、あるいは、材料を切除することにより、物体を加工する工程と、物体の表面を電子ビームによって走査し、生成された後方散乱電子及び二次電子をエネルギー選択器７に導入し、二次電子をエネルギー選択器７によって反射させ、エネルギー選択器７を通過する後方散乱電子を検出し、検出された後方散乱電子に応じて走査領域の電子顕微鏡像を形成して、物体を検査する工程と、形成された電子顕微鏡像を調べて、材料のさらなる堆積又は切除を実施すべきか否かを決定する工程とを含む。並びに、この方法を実施するように構成された電子顕微鏡及び加工システム。 （もっと読む）

【課題】本発明は、異なる検出器からの映像信号の画像データを遅滞なく表示部に転送することのできるデータ処理装置を提供することことを目的としている。
【解決手段】複数チャネルの信号を検出する検出器１と、これら検出器１のそれぞれの出力を信号処理する信号処理部３と、これら信号処理部３の出力を受けて有効データのみを抽出する有効データ抽出部１０と、該有効データ抽出部１０の出力を受けて多重化する多重部１１と、該多重部１１の出力を受けてメモリへの書き込み制御を行なうメモリ制御部１６と、該メモリ制御部１６の出力を受けて検出データを記憶するメモリ４と、該メモリ４に記憶されている検出データを読み出して出力するデータ出力部５と、該データ出力部５の出力を受けて所定のデータ処理を行なう処理装置１７と、該処理装置１７の出力を受けて検出データを出力するモニタ８とから構成される。 （もっと読む）

空間的配向が変化するビームで対象を照射するように、離散Ｘ線供給源のアレイを所定の時間的パターンで起動するステップと、対象との相互作用後に、ビームのＸ線を検出するステップと、検出信号を生成するステップとに基づいて、対象を画像化するためのシステムと方法とが提供される。次いで、検出信号の時間変化に基づいて、対象の画像が構築され得る。離散Ｘ線供給源は、検査の際に移動され得、さらに、所定の時間的パターンはアダマール符号を構成し得る。離散Ｘ線供給源は、カーボンナノチューブＸ線供給源であり得る。
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【課題】 水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視の諸機能を実現できる多機能Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器をＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、架台上に設置される回転ステージと、架台又は回転ステージに支持されて対象物を設置する手段と、アームをＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ光軸上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して回転させる手段とを有する。回転Ｘ線ＣＴの場合、少なくとも360°一様なスピードで回転させる。水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視では、０から９０°の範囲で回転させ、その角度で撮像する。 （もっと読む）

【課題】二次電子放出量を正確に測定できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】赤外線ランプ３０によって裏面から加熱した試料２１に、グラウンド電極に電流が流れないように径を絞ったイオンビーム５を照射する。グラウンド電極１５とコレクタ電極１８の間に配置した制御電極に負電圧を印加し、試料２１から放出した二次電子だけをコレクタ電極１８で捕集するようにする。試料２１がチャージアップした場合、サプレッサ電極１２の電圧を調節し、試料２１に電子を照射し、正電荷を中和する。二次電子放出比を正確に求めることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】厚さが厚い試料の分析に好適でかつ試料の材質の同定も行うことができる試料分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ１８に荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づき試料の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡１７と、回転楕円反射鏡１７に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器３３と、試料の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器２５と、荷電粒子検出器２５の検出信号に基づき試料の形状を求めると共に光検出器３３の検出信号に基づきウエハ１８の材質を同定する信号処理部２４とを備え、照射系は荷電粒子をウエハに間欠的に照射するように制御され、信号処理部２４は荷電粒子の間欠照射終了時点から間欠照射開始時点までの期間における光検出器３３からの検出信号の減衰特性に基づき試料の同定を行う。 （もっと読む）