【課題】自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。
【解決手段】同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像から同種の欠陥画像を特定する対応欠陥特定部２０９、同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像を変換し、比較可能な類似した画像に変換する画像変換部２１２、同一の工程の分類レシピについて、同一の分類クラスを定義し、特定された同種の欠陥画像をそれぞれの対応する分類レシピ内の分類クラスに登録するレシピ更新部２１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物品の内容物の過不足の有無の判定精度を向上することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 順々に搬送されてくる被検査物品ＷにＸ線を照射するＸ線照射器２２と、被検査物品Ｗを透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出器２３と、制御装置２４とを備え、制御装置２４は、Ｘ線検出器２３で検出されるＸ線の透過量に基づいて被検査物品Ｗの内容物の体積値を算出する体積値算出手段と、体積値算出手段により算出される体積値が許容体積範囲内にあるか否かに基づいて被検査物品Ｗがその内容物に過不足のない良品であるか否かを判定する過不足判定手段と、過不足判定手段の判定結果が良品であるものの中から直近に搬送されてきた所定個数の被検査物品の各々に対して体積値算出手段により算出された内容物の体積値に基づいて、許容体積範囲を変更する許容範囲変更手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】目標とする強度の高炉用コークスを製造できる高炉用コークスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、コークス試料をＸ線ＣＴ評価方法を用いて評価するとともに、該評価の結果に応じて各銘柄の石炭の粒度を調整してコークス炉に装入することにより高炉用コークスを製造する高炉用コークスの製造方法であって、Ｘ線ＣＴ評価方法は、Ｘ線ＣＴを用いて得られるコークス試料の断層像におけるＣＴ値の空間分布を求め、ＣＴ値に対応する見掛け密度が所定の式で示される閾値以上であるコークス試料における領域を、イナート組織として判定し、判定されるイナート組織のうち、絶対最大長さが１．５ｍｍ以上であるものを粗大イナート組織として特定し、特定される粗大イナート組織のコークス試料における累積体積比を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の利用効率、計測感度が向上され、装置の小型、軽量化、コストダウンを実現できるＸ線装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線源と、このＸ線源の下方に設けられ前記Ｘ線の照射方向に直交して流れる測定試料を透過した光を受光検出するＸ線検出器とを具備するＸ線装置において、前記測定試料の流れ方向に略直交して前記Ｘ線源と前記測定試料との間に設けられ前記Ｘ線の反射線束を前記測定試料に照射する反射鏡を具備したことを特徴とするＸ線装置である。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなく、Ｘ線のフラックスの照射方向を適切に制御できるＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線の線源と、前記線源から射出されるＸ線のフラックスの照射方向を制御する光学系とを備えるＸ線照射装置に関する。前記光学系は、前記線源からの前記Ｘ線の射出軸と直交する平面方向について、互いに間隙を介して積層される複数枚の反射ミラーを備える。前記線源から射出されたＸ線が前記間隙を介して前記反射ミラーに入射し、前記反射ミラーでそれぞれ全反射して互いに重畳することにより、前記フラックスとして照射される。 （もっと読む）

【課題】 多量の反応ガスを流しながらＸ線回折で試料（亜鉛フェライト脱硫剤）の反応過程（炭素析出）をその場で観察する。
【解決手段】 試料を流通する前と流通した後の反応ガスの組成が変化しない状態に試料２１を保持する微分反応評価試料保持部１５を備え、検証条件を保持した状態でＸ線回折装置（Ｘ線発生手段２５、二次元Ｘ線検出手段２６）により試料２１の組成の形態変化をその場で直接解析し、炭素の析出が生じる過程での形態変化を検証する。 （もっと読む）

【課題】既知の反射特性を有する第１層と、第１層上に形成された第２層を有するサンプルの検査方法を提供する。
【解決手段】本方法は、サンプル表面へ放射線を向けること、表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するためにその表面で反射された放射線を検知することを含む。第１層からの放射線の反射による特徴は反射信号で同定される。同定された特徴と第１層の既知の反射特性とに対応して反射信号が較正される。その較正された反射信号は第２層の特性を決定するために分析される。他方で、向上された検査方法も同様に開示する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡ線の製造工程におけるＣｕ被覆とＡｌ線の密着性を正確に予測できる比較的簡単な評価方法を提供し、伸線加工によって目的とするＣＡ線を製造する際のＣｕ被覆の剥離やＡｌ線の露出、さらには断線の可能性等を事前に推測できるようにすることにある。
【解決手段】Ａｌ線上にＣｕテープをフォーミングし、ついで前記Ｃｕテープの突合せ部分を溶接した後、縮径することによってＡｌ線とＣｕテープ被覆を密着させてＣＡ母材とし、ついで前記ＣＡ母材を伸線加工するＣＡ線の製造方法において、前記伸線加工工程における特定の段階で、Ｃｕ被覆剥離面の新生面比率を測定することによって、Ａｌ線とＣｕ被覆の密着性を評価するＣＡ線の評価方法である。 （もっと読む）

【課題】ＣＬ法の感度を向上させてシリコン基板を評価することで、デバイス活性領域の点欠陥を精密に非破壊検査により評価することができるシリコン基板の評価方法、及びその評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン基板表面にＰＮ接合を作製し、ＰＮ接合が作製されたシリコン基板の空乏領域に電子線を照射して、電子線が照射されたシリコン基板から得られる発光の波長及び強度からシリコン基板の評価を行うシリコン基板の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 膜の評価方法及び強誘電体メモリの製造方法に関し、表面に凹凸の多い薄膜の膜厚等をＸ線反射率法により精度良く測定する。
【解決手段】 膜を構成する結晶粒の平均粒径が２００ｎｍ以上、或いは、平均粒径が２００ｎｍ以上の結晶粒同士の一部が融合した融合結晶粒を含む被膜を被測定膜の表面に成膜する工程と、前記被膜及び前記被測定膜にＸ線を照射する工程と、前記被膜及び前記被測定膜から反射したＸ線の強度を測定してＸ線反射率法によって前記被測定膜の少なくとも膜厚を測定する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

【課題】分類基準を改善することを目的とする。
【解決手段】画像データを分類する際の基準となる画像データの情報が登録されている分類基準データ１２１と、新規に入力された画像データを分類基準データ１２１を使用して分類した結果としての画像データの情報が登録されている分類データ１２２と、が記憶部１２に格納されており、画像分類装置１が、入力部１３を介して、分類データに登録されている画像データのうちの任意の画像データの情報が選択され、入力部１３を介して、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録する旨の指示が入力されると、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁性樹脂中に存在する最大長が５０μm以上の金属粉異物を検知・判別することができ、且つインライン化が可能な金属粉異物の検知方法を提供する。
【解決手段】絶縁性樹脂組成物中に異物として存在する金属粉を、少なくとも１台のＸ線管２，３を有するＸ線透視装置を用いて、Ｘ線照射角度を変化させることにより検知した後、画像処理装置８を用いて自動的に該金属粉を画像認識することを特徴とする絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法である。 （もっと読む）

【課題】より短時間で欠陥を撮像できる欠陥観察装置および欠陥観察方法を得ること。
【解決手段】この欠陥観察方法は、観察対象物の欠陥および基準マークの位置座標を取得するステップと、欠陥を検出して、この検出された欠陥位置に応じて位置座標を補正する第１の方法で欠陥を撮像するのに必要な第１の時間を算出するステップと、基準マークを検出して、この検出された基準マーク位置に応じて位置座標を補正する第２の方法で欠陥を撮像するのに必要な第２の時間を算出するステップと、第１、第２の時間を比較するステップと、比較結果に応じて、第１または第２の方法で位置座標を補正して欠陥を撮像するステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】非水電解質二次電池内部の電極間に存在する気泡およびＸ線吸収率の低い異物を検出することができる非水電解質二次電池検査装置を提供する。
【解決手段】非水電解質二次電池１００に平行Ｘ線３１０を照射するＸ線照射手段３００を設け、Ｘ線照射手段によって照射された平行Ｘ線が非水電解質二次電池を透過したときに生ずる透過Ｘ線３１１を、屈折像によりＸ線検知手段３２０で検知する。 （もっと読む）

【課題】溶融排ガスから集塵手段にて捕集された飛灰を容易に無害化できる飛灰処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】飛灰にＣｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤を供給して混練する手段と、飛灰中のＣｒ含有量を測定する手段と、飛灰からの溶出液のｐＨを測定する手段と、予め用意した溶出液のｐＨとＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率との相関関係に基づいて、測定したｐＨにおけるＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率を算出し、算出された比率をＣｒ含有量の測定値に乗ずることによって、飛灰からのＣｒ（ＶＩ）溶出量の予想値を演算し、かつ、その予想値に基づき、Ｃｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤の適切な供給量を目標値として演算する手段と、その目標値となるように供給量を調整する手段とを備え、Ｃｒ含有量を測定する手段が、蛍光Ｘ線分析装置である飛灰処理装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板、電気亜鉛系めっき鋼板及び冷延鋼板について、表面の酸化物厚さを、既存手法より簡便・迅速、かつ正確に評価できる品質管理方法及び前記鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】溶融亜鉛系めっき鋼板の表面に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子ビームを照射し、表面から発生する２次電子量に対応した信号強度を測定して信号強度数値として数値化する数値化ステップと、得られた信号強度数値が所定範囲に入るか否かにより、前記溶融亜鉛系めっき鋼板がその表面に所定性状の酸化膜を有しているか否かを判定する判定ステップとを有することを特徴とする、表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板の品質管理方法。 （もっと読む）

【課題】複数の欠陥種の検出を、検出性能を落とすことなく、短時間で行う。
【解決手段】ＴＦＴアレイの欠陥種に応じた駆動波形を有する駆動信号を複数用意しておき、一つの基板を検査する間に走査条件に応じて印加する駆動信号を切り替えることによって、一つの基板を検査する間に複数の欠陥種の検出を行う。ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行う。複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、記憶手段から読み出した駆動波形データを用いてＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動手段と、ＴＦＴ駆動手段が生成した複数の駆動信号からＴＦＴアレイに印加する駆動信号を選択する駆動信号選択手段と、電子線の走査およびＴＦＴアレイの駆動を制御する制御手段とを備える。駆動信号選択手段は、生成した駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】製造工程における半導体装置等の欠陥を発見した場合に、後のレビューに有益な情報を取得する方法の提供。
【解決手段】外観検査装置１が取得した検査対象物に関する欠陥情報２１の入力を受け付けて記憶する記憶部３２と、検査対象物に関する画像を取得する画像取得部と、画像取得部を用いて欠陥情報に基づく欠陥レビュー用データを取得する処理部３１と、を備える欠陥レビュー装置２４、２５による欠陥レビュー方法である。処理部は、記憶部から読み出した欠陥情報２２ｂ、２３ｂにおいて、欠陥の集まりを示すクラスタが有るか否かを判定し、クラスタが有ると判定した場合、当該クラスタの分布特徴に基づき、画像取得部を用いて、検査対象物に関してクラスタの一部である欠陥部分の画像と付加的なデータとを取得する。 （もっと読む）