【課題】電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供すること。
【解決手段】光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が、少なくとも表面が導電性材料からなるマスク、あるいは、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けた穴の中に入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料上に載置することにより、前記マスクの穴から前記試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができる。これにより、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントの内部潤滑グリースの移動状態を正確に調べることができる方法とし、グリースの移動性からみたグリースの当該等速ジョイントとの適合性、さらにはグリースの寿命や劣化状態、取替え時期などを判別できる等速自在継手内部グリースの適性検査方法とすることである。
【解決手段】潤滑グリースを内部に保持した等速自在継手の内輪の軸線を外輪の軸線に対して所定角度だけ傾け、その際に内輪と外輪のいずれか一方を他方に対して１回転以上回転させた後、内・外輪の軸線を同一線上に一致させてから等速自在継手の所定方向からＸ線透過像を撮影し、予め前記回転する以前に内・外輪の軸線が同一線上に一致させた状態で前記所定方向からの等速自在継手のＸ線透過像を撮影しておき、前記回転前後のＸ線透過像における濃色域の面積変化およびその位置変化を比較して潤滑グリースの移動量と存在位置を調べることにより潤滑グリースの適性を検査することからなる等速自在継手内の潤滑グリースの検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】再検査と通常検査を並行して行いながら、かつ、確実に異物の混入した商品を排除し得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数個の内容物ｑを包材で包装した商品Ｍを搬送しながら、商品ＭにＸ線Ｌを照射して商品Ｍの検査を行う通常検査部２と、前記通常検査部２と並行に設けられ、前記通常検査にて不良と判断された商品Ｍの内容物ｑを再検査する再検査部３とを備えたＸ線検査装置であって、前記再検査部３は前記通常検査部２よりも合否の基準となる閾値が小さな値に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速中性子及び連続エネルギー・スペクトルX線による材料識別の方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、（a）高速中性子源及び連続エネルギー・スペクトルX線源でそれぞれ産生された高速中性子ビーム及び連続エネルギー・スペクトルX線ビームを被検対象に照射する；（b）X線検出器アレー及び中性子検出器アレーにて、透過したX線ビーム及び高速中性子ビームの強度を直接計測する；（c）被検対象の異なる材料を透過した中性子ビームとX線ビームの減衰差によって形成された曲線により、被検対象の材料に対して材料識別を行う；ステップを含む。 高速中性子と連続エネルギー・スペクトルX線との透過減衰強度が異なるように構成され、被検対象の厚さと無関係に被検対象の等効原子番号Zとのみ関係するn-X曲線を利用して材料識別を行う。 （もっと読む）

【課題】従来の手法では、（１）装置のコスト（２）真空領域作成の必要性（３）空間分解能と観察領域 において問題があった。
【解決手段】従来の干渉電子顕微鏡法で用いられている電子線バイプリズムの代わりに直径１０ｎｍ〜５０ｎｍ程度の極めて細い導電性のファイバを使用する。ファイバのフォーカスのずれた影、あるいはファイバに電位を印加することによって電子線がファイバ中央に重なることで生じる輝線が試料による電子線の位相変化量のファイバに直交する方向に関する微分に比例した距離だけ直線からずれることを利用し、このずれ量を予め位相変化量を定量的に評価した別の試料によるずれ量と比較、較正することにより定量化することで、試料による電子線の位相の微分量、ひいてはこれを積分することにより絶対位相変化量に変換し、可視化する。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】 湾曲分光結晶を用いるＸ線分光器において、分光結晶の有効回折領域のみを使用するようにして、分析に用いる特性Ｘ線の波長分解能、特性Ｘ線対バックグランド比の向上を図る。
【解決手段】 湾曲分光結晶３の表面位置からローランド円の内側方向に起立するＸ線遮蔽板Ａを設け、Ｘ線発生点Ｓから湾曲分光結晶３に向かう入射Ｘ線及び湾曲分光結晶３によって回折されＸ線検出器に向かう回折Ｘ線の一部をＸ線遮蔽板Ａにより遮蔽する。遮蔽される領域は入射Ｘ線の入射角θに応じて変化し、常に最適又はそれに近い湾曲分光結晶３上の有効回折領域を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の強度を低下させることなく試料の微小領域に集光させることができるようにする。
【解決手段】試料１を載置する試料台１３と、１次Ｘ線を試料１の表面に対し全反射を起こす入射角で入射させる１次Ｘ線照射部２と、試料１の表面に対向して配置され、試料１から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器１１とを備えている。１次Ｘ線照射部２は１次Ｘ線を発生するＸ線源３、及びその１次Ｘ線を集光して試料１に照射するポリキャピラリーＸ線レンズ５を備え、さらに好ましくはポリキャピラリーＸ線レンズ５から出射した１次Ｘ線のうち試料表面に対して全反射条件を満たさない入射角をもつ１次Ｘ線を遮蔽するスリット７を備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ１は、基板３０と、基板３０の内部に形成された流路２３と、基板３０の平坦な表面の一部からなり、流路２３の出口が開口９ｃとして形成され、その開口９ｃから溢れ出た測定対象液が基板３０の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部１０とを備えている。このマイクロチップ１を使用して、分析部１０に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、１次Ｘ線を全反射の条件で入射させて蛍光Ｘ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】
試料表面にパルス状の一次イオンを照射し、飛行時間型の質量分析計を用いて前記試料表面の質量スペクトルを得る飛行時間型二次イオン質量分析法において、５００を超えるような試料表面由来のピークについてその精密質量を正確に求めることを目的とする。
【解決手段】
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ測定において、試料表面に質量軸校正物質を表面に配し測定時に試料表面由来の信号と質量軸校正物質由来の信号を同時に検出すること、質量軸校正物質をネプライザーを用いて試料表面に配すること、質量軸校正物質にイオン性物質を用いることにより質量数５００を超える未知ピークについて、その精密質量をより精度良く求めることができるようになった。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】増強された分解能をもつＸ線散乱測定を用いた試料の検査方法を提供する。
【解決手段】その試料の検査方法は、試料に向かってＸ線ビームを誘導する段階と、試料から散乱させられたＸ線を捕捉すべく検出器素子のアレイを構成する段階とを含む。試料は、アレイのピッチの整数倍数でない増分だけ相互に分離された少なくとも第１および第２の位置との間で該アレイの軸に平行な方向にシフトされる。試料がそれぞれ少なくとも該第１および第２の位置のそれぞれにあるときに検出器素子が捕捉したＸ線に応答して、該検出器素子により少なくとも第１および第２の信号が生成される。この第１および第２の信号は、前記軸に沿った位置の関数として、試料のＸ線散乱プロファイルを決定すべく合成される。 （もっと読む）

【課題】複数の試料について，同時にＸ線回折測定と熱分析測定を実施できるようにする。
【解決手段】集中法によるＸ線回折測定の際には，第１アーム２０と第２アーム２２を互いに逆方向に，同じ角速度で連動回転する。Ｚ方向に細長いライン状のＸ線ビーム３０について，入射側のソーラースリット２６でＺ方向の発散を制限してから，このＸ線ビーム３０を粉末試料１４，１６に同時に照射する。試料１４からの回折Ｘ線と，試料１６からの回折Ｘ線を，受光側のソーラースリット３２でＺ方向の発散を制限してから，少なくともＺ方向に位置感応型のＸ線検出器３４で，区別して検出する。また，Ｘ線回折測定と同時に，二つの試料１４，１６について，熱分析測定を実施する。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

【課題】 試料から微小サンプルを切り出す作業を迅速に且つ正確に行うことができ、また、微小サンプルを試料台に配置させる作業を迅速に且つ正確に行うことができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】 プローブに負の電圧を印加し、試料の輝度を計測する。プローブによって試料から微小サンプルを切り出す場合には、輝度が減少したときに、プローブが試料に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブが試料に接触したと判定する。プローブに接続された微小サンプルを試料台に配置する場合には、輝度が減少したときに、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接近したと判定し、輝度が更に減少した後に急激に増加したとき、プローブに接続された微小サンプルが試料台に接触したと判定する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ装置について、冷却装置を簡易なものとしても、周囲温度変化にかかわらず高画質な断層像を長時間にわたって得ることを可能とする。
【解決手段】被検体を透過した放射線を検出する検出装置を備えるとともに、検出装置への入射放射線を制限するコリメータを備えたＣＴ装置について、ポストコリメータ６の検出装置側の端面６ｆと検出装置７における検出器ホルダ２２のコリメータ側の端面２２ｆの間に、ポストコリメータと検出装置を熱伝導的に分離する分離空隙３１を設け、かつその分離空隙を密閉状態にしている。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置において、試料の位置合わせを容易にかつ正確に実現することにある。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析装置１は、試料が搭載される試料ステージ５を有する筐体４と、筐体４内に配置され試料にＸ線を照射するＸ線管８と、筐体４内に配置され試料からの蛍光Ｘ線を検出する検出器１１と、筐体４内に配置され試料にレーザー光を照射するレーザー９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】粒子統計が著しく改善されたＸ線透過回折分析方法および装置の提供。
【解決手段】サンプルを基板に配置する段階、中心部分が平面に沿って延在する帯形Ｘ線ビームをＸ線放射線源により生成する段階、サンプルがビームの経路内となり、サンプルの薄片部がビームによって照射される初期位置に、基板およびサンプルを配置する段階、基板の初期位置に対する基板の以下の運動、すなわち、基板に垂直な回転軸線の周りの回転であって、所定の回転角にわたる基板およびサンプルの回転と、傾斜軸線の周りのビームの中心部分が延在する平面と回転軸線がなす角度として定義される傾斜角にわたる基およびサンプルの傾動であって、第１所定値と第２所定値の間で変化する傾斜角にわたる傾動とを実施する段階、及び基板の運動が実施される時間間隔の間にサンプルを透過し回折されたＸ線放射を前記検出器で検出する段階を含む。 （もっと読む）

不活性ガス雰囲気にある試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、分光室は不活性ガスで置換しないですむとともに試料室と連通せず、かつ十分な強度の２次Ｘ線を得ることができ、さらに隔壁が長寿命である装置を提供する。試料４が収納される試料室１と、試料４に１次Ｘ線６を照射するＸ線源７が収納され、前記試料室１と連通する照射室２と、試料４から発生する２次Ｘ線８を分光して検出する検出手段９が収納される分光室３と、前記照射室２と分光室３とを仕切るように配置されて前記２次Ｘ線８を通過させる隔壁１０とを備え、前記試料室１および照射室２が不活性ガスで置換されるとともに、前記分光室３が真空排気される。
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