【課題】高精細な画像が得られるとともに、検査時間も短縮できる放射線検査システム及び放射線検査の撮像方法を提供することにある。
【解決手段】検出器103は、放射線源102に対して検査対象物104を挟んで配置される。移動装置108，109は、放射線源と検出器とを検査対象物の長手方向であって、かつ同一方向に平行移動する。回転装置105は、放射線源が平行移動する軸方向に対して照射方向を回転する。中央制御装置205は、放射線源から照射される照射方向が第１の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得、さらに、放射線源から照射される照射方向が第２の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源から照射される放射線を検出できる位置に検出器を移動した後、さらに、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得る。 （もっと読む）

【課題】高放射線量と測定回路の高ゲイン設定を両立させ、放射線透過画像データから断層画像を高画質に再構成できることにある。
【解決手段】放射線撮影装置11は、放射線検出器2の複数のチャンネルの内、その一部において放射線源から照射される放射線を遮蔽する遮蔽体74を備える。制御演算装置12の格納装置31は、放射線源１と放射線検出器2との間に被検体74が設置されてない状態における、放射線検出器2のリファレンスチャンネル以外の各チャンネルの出力I0(u,v)と、リファレンスチャンネルの出力I_refとの比(I0(u,v)/I_ref)からなるチャンネル定数k(u,v)を格納する。画像再構成装置22は、チャンネル定数k(u,v)に、リファレンスチャンネルの出力値I_refを乗じ、被検体が設置された状態における各チャンネルにおける出力I(u,v)で除したものを、対数変換したものとして、各チャンネル(u,v)の減衰率a(u,v)を算出する。 （もっと読む）

【課題】効率的に、分析誤差の少ない分析試料を作製可能な分析試料作製方法を提供する。
【解決手段】研磨シート２０により、試料１０を研磨して研磨シート２０の凹部に研磨痕２０ａを付着させ、研磨痕２０ａ部分の研磨機能が喪失した時点における研磨痕２０ａの平均厚を求め、研磨シート２０により、試料１０と同材料である試料（図１では同一の試料１０としている）の分析対象層１０−３を研磨し、研磨シート２０の凹部に研磨痕２０ｂを付着させる。研磨痕２０ｂの面積は平均厚に基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線又は光学測定において迅速に、しかも空間分解能の高い二次元画像取得方法とその装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線による二次元画像測定装置に適用した形態では、二次元Ｘ線検出器と試料の間に２つの独立したコリメータを配置し、試料に近い側のコリメータで蛍光Ｘ線を二次元の平行光束とし、他のコリメータを経て検出器に導いて蛍光Ｘ線による二次元画像を得る。このとき、２つのコリメータのなす角度をＸ線全反射臨界角近傍で調整することにより、検出器に到達する蛍光Ｘ線のエネルギーを選別する。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を効率良く行うことのできる検査方法等に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする検査方法及びそれに用いられる試液を提供する。
【解決手段】一部が膜３２から構成された試料保持体４０に液体試料２０として培地３９と細胞３８が入れてある。この液体試料に閉塞物質４１を混入させる。膜３２の下方から膜３２を介して一次線を細胞３８に照射可能で、その時に発生する二次的信号を検出することで細胞の像や情報を得ることができる。膜３２が一次線照射や、何らかの機械的刺激により破壊された場合であっても、閉塞物質４１が膜の破損個所を閉塞するので液漏れを最小限にすることができる。従来、膜の破壊毎に装置を洗浄する必要があったが、本発明により少なくとも１０回膜が破壊されても洗浄の必要性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線タルボ・ロー干渉計による高感度Ｘ線撮像法の分野において、安価に製作でき、高精度かつ高アスペクト比のマルチスリットを用いたＸ線撮像装置を提供する
【解決手段】Ｘ線発生源１は、必要量のＸ線を、スリット部材２に向けて照射する。スリット部材２は、Ｘ線の吸収量が低い低吸収材２１と、低吸収材２１よりもＸ線の吸収量が高い高吸収材２２とを備える。低吸収材２１と高吸収材２２とは、実質的に同じ方向に延長される。さらに、低吸収材２１と高吸収材２２とは、交互に、かつ、所定のピッチで積層されている。スリット部材２は、低吸収材２１及び高吸収材２２の延長方向が、Ｘ線発生源１から照射されるＸ線の進行方向と交差するように配置される。第一格子３は、スリット部材２を透過したＸ線を回折する。第二格子４は、第一格子３で回折したＸ線を回折する。Ｘ線画像検出器５は、第二格子４で回折したＸ線を検出する （もっと読む）

【課題】セメント硬化体中のひび割れ等の空隙部を、精度良く検出する方法を提供する。
【解決手段】セメント硬化体に存在する空隙部に、有機ハロゲン化合物を溶解又は混合した樹脂液を含浸させて硬化させた後、表面を研磨し、電子線マイクロアナライザーにより、該有機ハロゲン化合物由来のハロゲン原子の分布状態を分析することを特徴とするセメント硬化体中の空隙部を検出する方法。 （もっと読む）

【課題】安全にかつ短時間で被計測物の傾斜角度を調整できる被計測物の保持装置を提供する。
【解決手段】細長な被計測物３内の内容物をＸ線検査により確認すべくその被計測物３を傾斜させて保持する被計測物３の保持装置６において、基台１４上に、被計測物３を載置する傾斜調整トレイ１５を傾動自在に設け、基台１４上に傾斜調整トレイ１５の傾斜角度を調整する傾斜角度調整装置１６を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】コヒーレントＸ線を用いた散乱測定において、測定部位を実デバイスと同様の条件で作製できるＸ線評価用試料及びその作製方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１１に対し、実デバイス形成時と同様の工程を実施する。その後、シリコン基板１１を切断して、測定部位１３を含む所望の大きさの試料２０を切り出す。次に、試料２０の裏面側を研磨してＸ線が透過する厚さにした後、試料２０の裏面にＡｕ等の金属からなるＸ線吸収膜２３を形成する。次いで、測定部位１３の近傍に、試料２０を貫通する参照光用穴２４を形成する。また、Ｘ線吸収膜２３をパターニングして、測定部位１３の裏面側に物体光用開口部２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少量の試料でも、正確に元素の種類及び濃度を測定することができる材料分析装置、材料分析方法を提供する。
【解決手段】外力により形状変化が可能な試料３を構成する元素の種類及び濃度を測定するＸＲＦ装置１００であって、試料３が収容される試料フォルダ４と、試料フォルダ４に収容された試料３を圧縮する押圧部材４１と、押圧部材４１によって圧縮された試料３に、試料フォルダ４を介して１次Ｘ線２０を照射するＸ線出射装置１と、１次Ｘ線２０の照射により、試料３から発生する元素特有の２次Ｘ線２１を検出するＸ線検出器５と、Ｘ線検出器５により検出された２次Ｘ線２１から、試料３を構成する元素の種類及び濃度を検出する元素検出部１０と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】数μｍ程度の電子ビームの位置の変動の影響を受けることなく、１０〜２０μｍφ程度の微小スポットの特性Ｘ線を低角度で安定して出射すること可能にしたＸ線発生装置を提供することにある。
【解決手段】内部を真空可能に構成した管本体と、該管本体内において電子ビームを発生する電子源と、前記管本体内に設けられ、前記電子源から出射される電子ビームが照射されることによりＸ線を発生するためのターゲット部材とを備えたＸ線発生装置において、
前記ターゲット部材３ａ、３ｂを、繰り返される複数の微小幅のストライプ状金属薄膜３２を基材３１、３１ａに埋め込んで形成し、前記電子ビームを前記特定のストライプ状金属薄膜に照射することにより前記特定のストライプ状金属薄膜から特性Ｘ線を低角度でＸ線窓１２を通して外部に出射するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物における所望の範囲を視覚的に特定することが可能なＸ線検査技術を提供する。
【解決手段】Ｘ検査装置は、被検査物ＴＧに対してＸ線を使用して検査を行う検査部１と、検査部１において検査された被検査物ＴＧに対してマーキングを行うマーキング部１０とを備えている。検査部１は、被検査物ＴＧにＸ線１００を照射するＸ線照射部３と、Ｘ線照射部１から照射されて被検査物ＴＧを透過したＸ線１００を検出するラインセンサ４と、被検査物ＴＧにおいて透過Ｘ線量に関する所定の条件を満足する範囲、例えば異物や空洞部分あるいは脂肪分の範囲を、ラインセンサ４での検出結果に基づいて特定する検査制御部６とを有している。マーキング１０部は、検査制御部６で特定された、異物、空洞部分、脂肪分などの範囲を被検査物ＴＧにマーキングする。 （もっと読む）

【課題】軽元素から成る微小な試料に対しても充分な高分解能、高コントラストを得ることができ、in-situの状態で試料を観察することができるＸ線顕微装置を提供する。
【解決手段】電子銃の電子源からの電子線をＸ線ターゲットに当ててＸ線を発生させるＸ線発生手段と、試料に照射されたＸ線の透過Ｘ線を撮像素子で撮像する撮像手段とを具備したＸ線顕微装置において、Ｘ線発生手段は波長０．１〜１．２ｎｍの長波長の特性Ｘ線を発生し、Ｘ線ターゲットを真空封止するＸ線透過窓基材はベリリウムで成り、Ｘ線透過窓基材の厚さが１０〜６０μｍであると共に、撮像手段の試料室が密封構成であり、試料室にガスを充填して試料の透過画像を撮像手段で得る。 （もっと読む）

【課題】長時間の連続運転における検出感度低下の影響を無効化する、Ｘ線検出を用いる臭素系難燃剤含有プラスチックの分別装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、臭素系難燃剤含有プラスチックの分別装置に関し、Ｘ線を発生させるＸ線源と、プラスチック試料を保持する試料保持装置と、プラスチック試料を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、規定した濃度の臭素を含有する臭素含有物と、プラスチック試料と臭素含有物とから検出した透過Ｘ線の強度をデータ解析し、プラスチック試料中に含まれる臭素系難燃剤量を判別するデータ処理装置と、データ処理装置からの信号に基づいて臭素含有物の規定した濃度より高い臭素濃度を有するプラスチック試料を分別する分別機構とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電解コンデンサが回路基板に搭載された状態であっても、その電解コンデンサの劣化状態を容易に判定できる劣化診断装置および劣化診断方法を提供する。
【解決手段】透過画像取得部８は、回路基板２０に対して一方からＸ線を照射し、回路基板２０を介して対向する他方において、透過したＸ線に応じた透過画像を取得する。画像処理部２は、ＣＣＤ部１６から電気信号を受けて回路基板２０の透過画像を生成し、その透過画像を濃淡画像（グレイ画像）に変換する。演算部４は、グレイ画像から濃淡値（グレイ値）の度数分布を生成するとともに、その度数分布において、電解コンデンサの劣化状態に応じて度数が変化する濃淡値の度数に基づいて劣化指標を算出する。演算部４は、この劣化指標に基づいて電解コンデンサ３４の劣化状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重なり等により、被検査物の透過Ｘ線データ濃度が異物の透過Ｘ線データ濃度のほぼ同一になったとしても、確実に異物を検出するＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｐを透過した複数の異なるネルギー帯の透過量を検出するＸ線検出手段１０によって得られる検出信号を異なるネルギー帯毎の透過画像として記憶する透過画像記憶手段２１と、透過画像記憶手段２１に記憶された複数の異なるエネルギー帯の透過画像から独立成分として異物画像を含む複数の分離画像を分離抽出する独立成分分析手段２４を有する画像処理手段２３を備え、独立成分分析手段２４によって分離抽出された異物画像に基づいて被検査物Ｐの中に異物が含まれているか否かを判定する。
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【課題】多段サーモ・モジュールにかかる負荷を軽減する。不純線を抑制する。
【解決手段】コールドフィンガー（３）の熱伝導部材（３ａ）および蓋部材（３ｂ）をアルミニウム製とし、且つ、半導体Ｘ線検出素子（１）とＦＥＴ部（２）の間に、蛍光Ｘ線遮蔽部材（６）を設ける。
【効果】半導体Ｘ線検出装置（３０）を鉛直方向から傾けた姿勢で設置したときに多段サーモ・モジュール（４）にかかる負担を軽減でき、振動・衝撃に強くなり、輸送時の信頼性や寿命を向上できる。Ｘ線が半導体Ｘ線検出素子（１）を突き抜けて熱伝導部材（３ａ）のアルミニウムに吸収されることで発生した蛍光Ｘ線が半導体Ｘ線検出素子（１）に後方から入射することを抑制でき、不純線を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

【課題】小さな欠陥をもより簡単で容易に欠陥を検出できる放射線透過試験方法、特に、管体と管板とを接続する溶接部の小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる放射線透過試験方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、管体端部の溶接部を放射線検査する方法において、鉛板を該管体先端部に挿嵌し、該管体端部とは反対側の方向から挿入した放射線源から放射線を照射して行うことを特徴とし、遮蔽プラグによる小さな欠陥が検出し難くなることや、種々の遮蔽プラグを準備しておく必要がなく、小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる。 （もっと読む）