【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】分割して撮像された画像を精度良く連結して１または複数の画像を構築する方法を得る。
【解決手段】分割して撮像された画像を連結して１または複数の画像を構築する方法であって、被撮像物の表面に連続した形状からなるパターンを配し、パターンを配した部分を複数の領域に分割して撮像した後、パターンが連結後の画像上で連続するように、分割撮像した各画像を連結することにより、１または複数の画像を構築する。 （もっと読む）

【課題】放射線の影響によって受光素子の耐久性が低下したりノイズが発生することを回避し得る検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ８は、Ｘ線照射器７からのＸ線Ｋ１，Ｋ２が照射される領域Ｒ１内に配置され、受けたＸ線を光Ｋ３に変換するシンチレータ３１と、シンチレータ３１から発せられた光Ｋ３を、Ｘ線Ｋ１，Ｋ２が照射されない領域Ｒ２内に導く光導波路３３と、領域Ｒ２内に配置され、光導波路３３によって導かれた光Ｋ３を受光する受光素子３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】薄膜結晶についても容易に表面形状や結晶性を評価可能な技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線波面センサは、入射されるＸ線を複数の光束に分割する波面分割素子と、各光束を試料の異なる領域に照射し、それぞれの反射光を干渉させて検出する計測器とを備える。例えば、Ｘ線発生装置１０から入射されるＸ線をＸ線プリズム１２によって波面分割し、一方の光束はそのまま試料１４に当て反射光を検出器１６で検出する。もう一方の光束は、Ｘ線プリズム１５によって偏向して試料１４に当て反射光を検出器１６で検出する。検出器１６に現れる干渉縞の向きや間隔から、試料結晶１４の表面形状や結晶性の評価が可能となる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置に使用されるＸ線遮蔽カーテンの耐久性を向上することが可能な技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬入口２ａから搬入された物品３を搬出口２ｂに搬送するコンベア２２と、コンベア２２で搬送される物品３にＸ線２６を照射するＸ線照射部２４と、Ｘ線照射部２４からの物品３を透過したＸ線２６を検出するラインセンサ２５と、搬入口２ａ及び搬出口２ｂに設けられたＸ線遮蔽カーテン２３とを備えている。Ｘ線遮蔽カーテン２３はタングステン含有層を有している。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮像方法による正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】複数の被検査体３の投影データよりその被検査体３の内部構造データを再構成するＸ線断層撮像装置であって、Ｘ線源１と、被検査体３の透過Ｘ線を撮像する二次元検出手段４と、Ｘ線源１のＸ線焦点１ａと二次元検出手段４との間に配置され、被検査体３を載置してＸ線源１から出射されたＸ線により形成される円錐の底面の中心とＸ線焦点を結ぶ線分とほぼ平行な回転軸Ｒ２を中心に、設定された角度変位で回転する回転機構と、回転軸Ｒ２に対し、被検査体３をその回転軸Ｒ２を中心線とする所定角度の頂角を持つ仮想円錐の円錐面１０に接した状態に把持する把持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】内容物の位置ズレを高精度に検出できる分包シート検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】分包シートの外面に照射光を照射可能な光源と、前記光源から照射された照射光が分包シートの外面で反射された反射光を受けて映像信号を発生させる撮像手段４と、撮像手段４から出力される前記映像信号にエッジ強調処理を行なうことでシール部を強調するとともに、強調されたシール部において、分包シートの外端からポケット部とシール部との境界までの距離をシール長を計測するシール長計測装置６と、分包シートに照射するＸ線を照射可能なＸ線源７と、このＸ線照射に伴うＸ線透過量を検出するＸ線検出器８と、シール長の情報を入力してポケット部の位置と適合する検査領域を設定し、Ｘ線検出器８で検出されたＸ線透過量に基づいて、検査領域における内容物を検査する判定手段９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】プリアンプ信号のエッジを検出する方法は、プリアンプ信号の第１部分を特定する工程であって、第１部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、第１部分の直後に続く第２部分を特定する工程であって、第２部分の各部が逆の第２極性を有する瞬間の傾きを有する工程と、、第２部分の直後に続く第３部分を特定する工程であって、第３部分の各部が第１極性を有する瞬間の傾きを有する工程とを含む。その方法は、更に、第２部分の終点と始点の強度の間の第１差を特定する工程と、第３部分の終点の強度と第１部分の始点の強度の間の第２差を特定する工程と、（i）第１差が閾値を超え（ii）第２差が閾値のある割合を超えるとき、エッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査の際の半導体素子や電子部品等の被検体の破壊、機能や外観の損傷の発生が防止された透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線を発生し被検体に向けて放出する放射線源１と、被検体１０１を透過した放射線を検出する放射線検出器４と、被検体１０１に照射される放射線量を制限する放射線量制限手段８，９，１０とを備え、放射線量制限手段８，９，１０は、予め測定されている被検体１０１の放射線照射許容量に基づいて、被検体１０１に照射される放射線量を制限する。 （もっと読む）

【課題】本発明は厚い窓材を有する撮像窓を備える分析室内の試料に対して、分析室外から分析対象位置を鮮明に撮像できるようにして、分析位置の特定ができなかった試料の分析を可能にするＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】窓材４１を有する撮像窓４０を備える分析室２内でＸ線を試料Ｓに照射して分析を行うＸ線分析装置であって、窓材４１を透過させて試料Ｓを照明する試料照明手段７と、試料Ｓを分析室２の外部から撮像する撮像手段８であって、撮像部８１とフード８２を有し、試料照明手段７からの照射光が、窓材の裏面４１ｂで反射光となって撮像部８１内に入射しないように形成されている撮像手段８とを有し、試料照明手段７がフードを取り囲むように配置され、フードの窓近位部８２ｂの端部が撮像窓４０に近接しているＸ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】キャピラリーを回転させながらガスフロー測定が可能なキャピラリー及びガス供給装置の提供。
【解決手段】透過法のＸ線回折測定等に好適なキャピラリー２である。このキャピラリー２は、試料２２を配置するための管状部４と、この管状部４の一端側に設けられたガス導入部６とを備えている。管状部４の両端は開放されている。ガス導入部６の内部から管状部４の内部にまで至るガス通路１６が形成されている。ガス導入部６は、その外面から上記ガス通路に至るガス導入孔１８を有している。ガス導入部の外面は円周面部を有している。この円周面部は、少なくとも、上記ガス導入孔１８よりも軸方向一方側の位置及び上記ガス導入孔１８よりも軸方向他方側の位置に設けられている。上記円周面部の中心軸線Ｚ１と、管状部４の中心軸線Ｚ２とが、実質的に一致している。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線荷物検査装置の画像歪みの発生量を数値化評価して、メーカごとに異なるＸ線荷物検査装置の歪み発生量の違いの比較を可能とする。
【解決手段】寸法形状の明確な金属製歪み評価用テストチャートフレーム２００／３００を、Ｘ線荷物検査装置４００にて撮影する。測定装置１００は、その撮影画像が、実物形状に対してどの程度歪みんで撮影されているかを数値測定する。これによって、画像歪み量を明確化し、その歪み測定結果を評価する。 （もっと読む）

【課題】透過法のＸ線回折測定を容易としうるＸ線回折測定方法の提供。
【解決手段】本発明のＸ線回折測定方法は、所定の回転軸線Ｚｓまわりに試料４８を回転させながらこの回転軸線Ｚｓに略沿った方向の入射Ｘ線を試料４８に透過させることにより、Ｘ線回折が測定される。好ましい測定方法では、貫通孔４６を有する試料ホルダー３４と、この試料ホルダー３４が取り付けられた状態で回転軸線Ｚｓまわりに回転しうる回転体２５とが用いられる。この回転体２５は、Ｘ線を通過させるためのＸ線通過孔３２を有している。Ｘ線通過孔３２は、上記回転軸線Ｚｓを通過させるように上記回転体２５を貫通している。試料ホルダー３４の貫通孔４６とＸ線通過孔３２とが連通した連通孔が形成されるように試料ホルダー３４が取り付けられている。試料４８は、試料ホルダー３４の貫通孔４６の内側に配置される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検査装置におけるＸ軸方向移動ステージやＹ軸方向移動ステージが移動する際に変形が生じることを未然に防止して、スムーズに移動させることができる機構を、ロープによる簡単な構造で提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生器ＡとＸ線検出器Ｂとが対向した状態で垂直に配置され、これらの間に検査すべきサンプルＣを載置するテーブル１が水平面上で直角に交わるＸ軸並びにＹ軸方向に移動可能なＸ−Ｙ移動ステージ上に組み付けられているＸ線検査装置において、前記Ｘ−Ｙ移動ステージのＸ軸方向移動ステージまたはＹ軸方向移動ステージ若しくはその両方が、移動方向と直交する左右側部で少なくとも1本の有端状ロープ１１によってステージ移動時に同期的に移動方向に引っ張られるように形成されている構造。 （もっと読む）

【課題】本発明は高輝度Ｘ線源を提供することにより、これを用いた高分解能かつ高倍率のＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、電子放出陰極を有する電子銃と、陽極と、電子レンズと、該電子銃から放出された電子ビームが照射されることによりＸ線を放出するターゲット部とを有するＸ線源であって、該電子放出陰極としてダイヤモンドを用いたことを特徴とするＸ線源であって、該ダイヤモンドが、柱状形状を有し、少なくとも１箇所の電子放出部となる先鋭部を有し、前記先鋭部の先端半径もしくは先端曲率半径が１０μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送路上を順次搬送されてくる被検査物がＸ線遮蔽カーテンに当接しても、Ｘ線遮蔽カーテンが被検査物の搬送を阻止することなく被検査物中の異物の検出が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送手段と、搬送手段により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段と、被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出手段と、被検査物の搬送経路に設けられ搬送方向に直交する水平軸線を有し、回動自在な金属板でなり、垂直方向に吊り下げられ、搬送される前記被検査物と当接することにより揺動可能で、かつ搬送手段の搬送方向と反対方向に凸部を有しているＸ線遮蔽部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】直立搬送される被検査物がＸ線遮蔽部材を通過する際の衝突抵抗を緩和して転倒することを防止し、また、筐体外にＸ線が漏洩することを更に防止する。
【解決手段】被検査物Ｗの出入口４ａ，４ｂを備える筐体２と、被検査物Ｗを搬送路に沿って入口４ａから出口４ｂに搬送する搬送手段６と、筐体２内にて被検査物ＷにＸ線を照射して検査するＸ線検査手段と、搬送路を遮断するように設けられ、搬送される被検査物Ｗが当接することにより被検査物Ｗを通過させるＸ線遮蔽部材１０とを備えるＸ線検査装置１において、Ｘ線遮蔽部材１０は、基端側１５が搬送路外に位置し、先端側１６が搬送路上にあるとともに基端側１５より搬送方向Ｙ下流側に位置したものが搬送路の幅方向Ｚに対向して設けられ、先端側１６同士が搬送路のセンターラインＬ上にて当接していることで閉状態となり且つ閉状態に常時付勢されている一対の遮蔽板１１ａ，１１ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析装置による半導体封止樹脂中の有害元素管理方法において、誤差の少ない測定方法を用いて管理を行なう。
【解決手段】 本発明は、半導体封止樹脂中の有害元素管理方法であって、蛍光Ｘ線分析装置により定性分析を行ない含有判定する工程と、試料の上下面を一致させてＸ線照射面全体に試料を並べる試料準備工程と、試料の一方面およびその対向面を蛍光Ｘ線分析装置により測定し定量分析を行なう工程と、前記定量分析工程から得られた２つのデータのうち共存元素の影響が少ない方の定量結果を用いて閾値判定をする工程、を有することを特徴とする有害元素管理方法である。この方法によれば、半導体製品の封止樹脂中の有害元素を精度よく測定・管理することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】固液界面の注目対象である特定元素(イオン)の構造もしくはその周辺の局所構造を容易に解析することができる評価方法と評価装置を提供する。
【解決手段】注目対象が含有される液体試料Sに対して、注目対象（Ｘ線の吸収原子）とは異なる材料からなる電極4を接触させる。この電極界面の液体試料SにＸ線エネルギーを変えながらＸ線を照射し、電極4近傍の注目対象にＸ線を吸収させて注目対象から電子を放出させ、その電子の放出に伴って電極4に生じる電気量を測定する。このＸ線エネルギーと電気量との関係から電極界面における注目対象またはその周囲の構造情報を解析する。 （もっと読む）

【課題】光学系21のフォーカスを自動的に調整できるＸ線イメージ管11における撮像装置20のフォーカス調整装置31を提供する。
【解決手段】光学系21のフォーカス状態を測定する指標となる治具32を、Ｘ線イメージ管11および撮像装置20を用いて撮像する。撮像したデータから、測定手段33がフォーカス状態を測定する。測定したフォーカス状態に応じて、制御手段34がフォーカス調整手段23により光学系21のフォーカスを調整する。 （もっと読む）