【課題】 試料からの微弱な散乱光を、超小角領域まで精度よく検出できる光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光源１１と、レーザー光源１１からの光を集光する第１のレンズ１２と、ピンホールｄを有するピンホール板１３と、第１のレンズ１２からピンホールｄを介して入射した光を平行光にする第２のレンズ１４と、第２のレンズ１４から入射した平行光を検出器１７の検出面に備えられたビームストッパー１６で焦点を結ぶように集光する第３のレンズ１５とを設ける。また、ピンホールｄとビームストッパー１６とを光学的に共役な位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の吸収が少ない被検査体の透視画像の画質を向上させる。
【解決手段】 Ｘ線管１で発生したＸ線４をベルトコンベア５で運ばれてくる被検査体７に照射してラインセンサ３により透過Ｘ線を検出し透過像を得る。この透過像から被検査体７内部に存在する異物を検出する。Ｘ線管１とラインセンサ３の間に内部を真空としたケース２を配置すると、Ｘ線４はこのケース２内を通過するから、このケース２を通過する間ではＸ線４が空気によって吸収されることがない。これによりＸ線管１で発生したＸ線のうち、とくに波長の長い低エネルギーのＸ線が減衰することなく被検査体７に到達することになる。したがって、高エネルギーＸ線では透視画像にコントラストが付かず、低エネルギーＸ線で検査することが適当な種類の被検査体に対しても効果的に異物検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】液体試料だけでなくスラリー試料であっても、さらに液体中に浸漬した状態の固体粉末試料であっても、電磁波吸収測定により適切なデータが得られる試料測定用セル、及び電磁波吸収測定方法を提供すること。
【解決手段】電磁波透過性の材料で形成された２つの窓を相対する位置に有し、２つの窓の間に試料を存在させることが可能な電磁波通過部位と、電磁波通過部位の下方に設けられた、内部の液体を撹拌可能な攪拌手段を有する撹拌手段設置部位と、を有するセル構造を為しており、（１）セル構造内の電磁波通過部位の上方に、少なくとも１つの空孔を有する仕切り板を有する、又は（２）セル構造内の電磁波通過部位に、固体粉末試料を所定の電磁波通過長となるように配置可能でかつ固体粉末試料中に液体が浸透可能な試料容器を有する、試料測定用セル。 （もっと読む）

【課題】
非破壊検査による検査・試験パスの短縮を図り例えば薬剤開発期間の短縮、しいては製造・品質の安定化を図った分子構造複合同定装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検試料載置板１６に載置された同じ被検試料１７に対して０．５ｍｍ以下の直径に制限したＸ線ビームと赤外線・可視光・紫外線の何れか一つあるいは複数の波長ビームを照射する照射光学系（１，１２；２，２２，１１）と、前記被検試料から得られるＸ線回折パターン及び前記被検試料から放出される反射光又は散乱光を検出する検出光学系（９；１１，３，５）とを備え、前記被検試料から同時または連続して少なくともＸ線回折スペクトル及び可視光による反射光像を検査できるように構成した分子構造複合同定装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスでの原位置・非接触温度測定のための改善された方法および装置を提供することである。
【解決手段】単結晶シリコンウェハをプロセスチャンバに配置し、第１と第２の入射Ｘ線源をそれぞれ、プロセスチャンバ内の前記ウェハとコミュニケートさせ、所定の第１の放射波長のＸ線を前記第１のＸ線源から選択し、所定の第２の放射波長のＸ線を前記第２のＸ線源から選択し、ここで第１の放射波長と第２の放射波長は相互に異なっており、選択されたＸ線を前記ウェハ上の測定スポットにフォーカスし、前記ウェハから反射された第１と第２のＸ線を受信し、受信された第１の波長の反射Ｘ線と第２の波長の反射Ｘ線に基づいて、温度測定中のウェハのシフト運動または撓みを考慮してウェハの格子定数を検出し、格子定数によって決定されたウェハの温度を求める。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線による異物検出精度を要求レベルに維持しつつ処理能力を高めることができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物を搬送する搬送手段１０と、搬送手段１０により搬送される被検査物に所定の検査領域内でＸ線を照射して被検査物に含まれる異物を検出する異物検出手段２０とを備えたＸ線異物検出装置において、搬送手段１０が、検査領域内で並列する複数の管路状の搬送路ｐ１、ｐ２を有し、異物検出手段２０が、複数の搬送路ｐ１、ｐ２の中の被検査物に向かってＸ線を照射するＸ線発生部２１と、複数の搬送路中の被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】一台の装置で、小角散乱、Ｘ線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、第１のＸ線収束ビームを試料表面に向け、第２のＸ線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、Ｘ線が試料表面にかすめ角で向けられる第１の光源位置と、Ｘ線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第２の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第１および第２の光源構成のいずれか、および第１および第２の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したＸ線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】測定ヘッド下の検出器以外、クレードル（円弧）又はその他の構造体がなく、測定距離は、ソフトウェアにより自由に選択可能であり、ほとんどの部品が購入できるくらいに簡易な設計のため、複雑、不正確、さらにコスト高な構造を避けることができるゴニオメータを提供する。
【解決の手段】ゴニオメータ（１）は、応力測定及び粒子の微細構造の特定を行い、フレーム（４）と、測定位置（３１）において測定を実行するため、第１の線形移動装置（５）、第２の線形移動装置（６）及び傾動装置（１６）により移動可能にフレーム（４）に設けられた測定ヘッド（７，８，９，１０）とを備え、傾動装置（１６）の回転軸（１２）が測定位置（３１）に一致せず、測定中に、前記移動装置（５，６，１６）により、測定ヘッド（７，８，９，１０）の円弧形（３０）の移動を作り出す手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ナノ薄膜積層体の膜厚と界面幅を、測定範囲１mm以下の領域で、計測可能な微小部積層構造検査装置を提供する。
【解決手段】
Ｘ線源と試料の間に、分光素子と集光素子があり、Ｘ線源で発生したＸ線を分光素子で単色化し、集光素子により試料位置で、水平方向と垂直方向のＸ線束の大きさが１０μｍ以下と１mm以下に集光して試料に照射する、分光素子と試料の間にある薄膜散乱体で散乱された入射Ｘ線のエネルギーと強度を散乱Ｘ線検出器で測定し、試料で鏡面反射されたＸ線を反射Ｘ線検出器で測定する、そして散乱Ｘ線検出器と反射Ｘ線検出器の出力を入れることで、入射Ｘ線と計測する反射Ｘ線のエネルギーを一致させて、散乱Ｘ線と反射Ｘ線の強度を計数するエネルギー同期計測装置を有し、入射Ｘ線のエネルギーを変えながら、試料からの蛍光Ｘ線の影響のない反射率を測定する微小部積層構造検査装置。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストで、アモルファスと結晶との差異を画像化して観察可能なＳＥＭ装置を提供する。
【解決手段】試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 超伝導Ｘ線検出器と、低温初段増幅器と、コリメータとからなる超伝導Ｘ線検出装置の先端部分において、該検出器と該コリメータとの位置の粗調整が容易な構造とし、かつ、ボンディング配線を保護できる超伝導Ｘ線検出装置およびそれを用いた超伝導Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 超伝導Ｘ線検出器の検出部とコリメータの貫通穴との位置を、該検出器と該コリメータの少なくとも外周の一部を位置の基準として製作し、基準とした外周の一部が一致するように該検出器と該コリメータを装着固定する、あるいはセンサーホルダに設けた溝の壁に基準とした外周の一部が接するように装着固定する構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】フィルタで捕捉した微粒子をＸ線分析装置により元素分析する際、微粒子以外にフィルタのベース部材の元素も測定することになり、本来の測定対象の微粒子の元素を特定する上で障害となっていた。
【解決手段】分析用フィルタ１は、穴径１００ｎｍ〜１０００ｎｍのろ過穴３を複数有する樹脂からなるフィルタベース２と、フィルタベース２の片側の表面に金（Ａｕ）をイオンスパッタにて形成した金属被覆膜４とを有する。金属被覆膜４の膜厚は、Ｘ線分析装置の電子線が貫通しない程度で、ろ過穴３を塞がない程度が望ましく、４０ｎｍ〜１００ｎｍが好適である。 （もっと読む）

【課題】
検体試料中のＡｌ又はＣｕの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がＡｌ又はＣｕであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 入射ビームのビーム厚みによる回折Ｘ線像のぼけを低減し、かつ、ダイナミックレンジの大きな画像を再生することにより、明度差のある鮮明なポトグラフ画像を得ること。
【解決手段】 ビーム厚みが経時的に変化した入射Ｘ線ビーム２を測定試料３に入射して回折させ、該回折した回折Ｘ線ビーム４を２次元の回折画像として画素単位で経時的に連続して画像検出部１５０にて検出し、演算処理部２００において、該検出された２次元の回折画像の画素毎に、入射Ｘ線ビーム２の経時的なビーム厚みの変化量Δξに対する回折Ｘ線ビーム４のＸ線強度の明度変化率ΔＭ／Δξを算出し、該２次元の回折画像の算出値である明度変化率ΔＭ／Δξを画素毎に積算し、該積算した積算値マトリックスＩｍをポトグラフ画像として生成する。 （もっと読む）

【課題】 表面層を備えたサンプルの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 その検査方法はＸ線の平行光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第１の反射率スペクトルを取得し、サンプル２２の散漫反射特性を測定するために第１の反射率スペクトルを処理する。Ｘ線の収束光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第２の反射率スペクトルが取得される。サンプル２２の表面層の特性を求めるために散漫反射特性を使用して、第２の反射率スペクトルが解析される。 （もっと読む）

本発明は、充填された容器における、ガラスの破片の様な異物を検査するための装置に関する。上記装置は、搬送面上に於いて一つ一つの容器１０を連続して一列に搬送するための搬送ユニット１６と、Ｘ線２４を予め定められた方向に放射するためのＸ線源１８と、及び上記容器１０を横切った後のＸ線２４を記録するためのユニット２０，２２とからなる。Ｘ線源１８より放射されるＸ線２４の方向は、搬送面に対し１０°〜６０°の間で傾いている。２つのＸ線源１８が、搬送面の上下に夫々備えられ得る。Ｘ線源が上記態様で配置されていることから、Ｘ線の通過する経路は、容器底部の膨らみの最大勾配に対して凡そ接線方向となり、それ故上記装置は、充填された容器１０における異物を検査するのに特に好適なものとなっている。
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【課題】原子番号の低い結晶材料或いはワークに用いられる短波長Ｘ線回折測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】その装置はＸ線管１と、入射絞り２と、テーブル４と、サンプルまたはワーク３の位置制限部分に用いられる位置制限受光スリット５、測角器７と、検出器６と、エネルギー分析器９とを備えており、Ｘ線管１と検出器６はサンプルまたはワーク３が置かれるテーブル４の両側に位置し、検出器６は回折透過Ｘ線の受光に用いられる。本発明の短波長Ｘ線回折透過方法によれば、サンプルまたはワーク３を破壊せずに、より厚い結晶材料サンプルまたはワーク３の異なる深さと異なる箇所のＸ線回折スペクトルを測定し、コンピュータ１０でデータ処理を行い、サンプル又はワーク３における各点の位相、残留応力等のパラメーター及びその分布を得ることができる。本発明は、操作が簡単で、測定時間が短いという利点を有し、正確で、かつ信頼できるＸ線回折スペクトルを得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、それぞれの３層が所定の材料である、少なくとも１つの三つ組層を有する多層構造体から成る。この材料の１つは、ランタン、酸化ランタン、又はランタン基合金を含む群からのものであり、第２の材料が第１材料と第３材料の間に配置される。この第２材料は、炭素、ケイ素、ホウ素、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む群からのものである。第３の材料は、ホウ素又は炭化ホウ素を含む群からのものである。代替案としては、第４の材料を追加して、この多層構造体をさらに強くし、かつその耐水性を向上させる。この第４材料は、ケイ素、ホウ素、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む群から選択する。第４材料は、第ｎ周期の第３層と第（ｎ−１）周期の第１層との間に配置される。
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【課題】 蛍光Ｘ線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 リング状に形成されかつ軸方向の一端部（端部）２ａからリング状の１次Ｘ線ａをその少なくとも一部が集束するように放射するＸ線発生器２と、このＸ線発生器２で包囲された内部空間１１に中心軸がＸ線発生器２の中心軸Ｄと一致するようにかつＸ線発生器２の中心軸Ｄ上の一端部２ａ近傍に配置した試料１０と対向するように挿入されると共に、１次Ｘ線ａの照射により試料１０から発生する蛍光Ｘ線ｂを検出するＸ線検出器３と、を備えた。 （もっと読む）