【課題】ワイヤープローブを確実に支持し、その交換、組み立てが容易なプローブカードを提供する。
【解決手段】被検査体の各電極に電気的に接触される複数のワイヤープローブを備えたプローブカードである。前記各ワイヤープローブを支持する支持基板が、記各ワイヤープローブの上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持する上部支持穴及び下部支持穴を有する堅牢な支持部材と、記各ワイヤープローブの中間部を支持すると共に、前記各ワイヤープローブの上部を支持する前記上部支持穴と前記各ワイヤープローブの下部を支持する前記下部支持穴とが互いにずれて固定されるときに前記各ワイヤープローブの中間部をすべて一方向に撓ませて支持する、柔軟性があり表面に補強膜を施したシート状支持部材とを備えた。 （もっと読む）

【課題】容易に試験対象物の電極との接触状態を維持することができるコンタクトプローブ用プランジャを製造する。
【解決手段】コンタクトプローブ用プランジャは、先端部分１０aにプランジャ本体１aの中心軸ＡＸに対して放射状に広がった複数の突起１bを備える。このようなコンタクトプローブ用プランジャは、まず、前記突起に対応する位置に設けられた複数の笠部５０bを備えた被覆部材５０を準備し、前記プランジャ本体となる基材１０の前記先端部分を前記被覆部材で被覆する。ついで、砥粒を前記複数の笠部の間を通過させて前記基材に向かって吹き付け、前記複数の突起を形成する。このような製造方法を採用することにより、単一素材でコンタクトプローブ用プランジャを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】接触対象間で確実かつ良好な導通を得ることができるとともに、安定したグランド接続が可能なプローブユニットを提供すること。
【解決手段】平板状をなし、一つの主面の外縁部および中央部に電極１０１およびグランド電極１０２を有する半導体集積回路１００および半導体集積回路１００が有する電極１０１およびグランド電極１０２とそれぞれ対応する電極５１およびグランド電極５２を一つの面上に有する回路基板５０との間を接続するプローブユニット１であって、電極１０２と電極５１との間を接続する導電性の複数の第１コンタクトプローブ２０と、グランド電極１０２とグランド電極５２との間を接続し、第１コンタクトプローブ２０と異なる形状を有する導電性の複数の第２コンタクトプローブ３０と、第１および第２コンタクトプローブを保持し、少なくとも表面が絶縁性を有するプローブホルダと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】複数の樹脂絶縁層間に形成された配線層の位置が所定の位置に精度良く配設された樹脂絶縁部を含む電子部品検査用配線基板、および該配線基板を確実に製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】厚み方向に沿って積層された複数の樹脂絶縁層ｚ１〜ｚ４と、該樹脂絶縁層ｚ１〜ｚ４の間に配置した配線層６〜８とを有する樹脂絶縁部ＲＺを含む電子部品検査用配線基板１であって、樹脂絶縁層ｚ１〜ｚ４は、熱硬化性樹脂からなる第１樹脂層４と、該第１樹脂層４の両面に配設され且つ熱可塑性樹脂からなる一対の第２樹脂層５とから構成され、該樹脂絶縁層ｚ１〜ｚ４には、第１樹脂層４と一対の第２樹脂層５とを貫通し且つ一端部のみが上記配線層６〜８と接続されている非通電ビア導体ｄｖ１、あるいは、一端部のみが配線層６，７と接続され且つ該配線層６，７に隣接する一方の第２樹脂層５を貫通し、他端部が第１樹脂層４内で留まっている非通電ビア導体ｄｖ２が形成されている、電子部品検査用配線基板１。 （もっと読む）

【課題】電気的接続装置の組み立て及び位置調整を容易にして、電気的接続装置を廉価にすることにある。
【解決手段】電気的接続装置は、第１、第２及び第３の板状部材を、第１の板状部材が第２及び第３の板状部材の間になるように重ね合わせ、第２の板状部材を調整装置により第１の板状部材に対し変位させることにより、電気的接続装置に取り付けられる光照射装置を位置決めるべく第２の板状部材に設けられた位置決め穴又は位置決めピンと、第３の板状部材の下側に設けられたプローブ組み立て体の針先位置との相対的な位置合わせをする。 （もっと読む）

【課題】 屈曲部を有したプローブ針をプローブハウジングに容易に挿入および交換でき、プローブ先端位置の精度が容易に維持される低コスト構造を備えたバーチカルプローブヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明のバーチカルプローブヘッド１は、テスト端子５ａに接触して電気的に導通を有するプローブ先端２ａと、電気信号測定装置に信号を伝達するインターポーザ４の接続端子４ａと接触して電気的に導通を有するプローブ後端２ｂとを備え、プローブ下部２ｃとプローブ上部２ｄとの間に長手方向に沿って左右に屈曲する屈曲部２ｅを有するプローブ針２と、プローブ針をプローブ先端側から挿入可能な第１の開口３ａを有する上部スルーホール３ｃと、プローブ先端を電子デバイス側に突出させる第２の開口３ｂを有する下部スルーホール３ｄとを有するプローブハウジング３と、上部シリコン基板３ｅと、下部シリコン基板３ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】 高価なチップテスターを不用とし、また同時並列検査による被テストチップの検査時間も短縮し、チップテストにおいて大幅なコスト削減効果を得る。
【解決手段】 ＬＳＩチップ検査装置として、汎用パソコンと、被試験ＬＳＩチップが配設されるウエハと、前記ウエハパッドと平行な配線基板と、該配線基板上の通信手段と接続するメモリ付コンピュータと、前記メモリ付コンピュータ上に配列された電子デバイス付電気接続手段と、ＬＳＩチップ及び電子デバイス付電気接続手段のパッドに接触する第１及び第２の端子を有する垂直型プローブとを備えた。これにより、高価なチップテスターが不用になり、また同時並列検査によって被テストチップの検査時間も短縮し、チップテストにおいて大幅なコスト削減効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】 微細化したプローブであっても、良好な導通性能を得るのに十分な針圧と、オーバードライブ時に要求されるストローク量とを同時に確保することができるとともに、隣り合うプローブ同士の干渉を抑制することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】 第１面にプローブ電極１２１が形成されたサブ基板１２と、サブ基板１２の第１面に対向させて配置され、弾性ゴムからなる針圧制御板１５と、針圧制御板１５から突出する針先部１３１、及び、プローブ電極１２１と針先部１３１とを導通させる細長い薄板からなる導電部１３３を有する複数のプローブ１３により構成される。針圧制御板１５には、サブ基板１２と反対側の面に、面方向への弾性変形の伝搬を遮断する溝又はスリットからなる応力解放孔１９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 温度変化に伴う相対的位置ずれによる接触不良や接続点の破断等の問題を解決し、広範囲な温度範囲でも全半導体チップの電気的特性検査を確実にし、かつ、安価なプローブカードを提供する。
【解決手段】 シリコンウェハの熱膨張係数と近似である材料を使用した補強板と金属基台とプローブ組立固定板を一括固定し、プローブと配線基板との接続を垂直方向のバネ力のみとしたこと。及び、隣接プローブ接続端子先端のプローブ長手方向（Ｘ方向）並びに垂直方向（Ｚ方向）における相対位置が複数値存在する構成とすることにより安価な基板を実現したこと。並びに、１個又は複数のプローブを着脱可能な構造とした。 （もっと読む）

【課題】絶縁被覆プローブピンの検出端側の露出した部分同士が接触しにくくする。
【解決手段】絶縁被覆プローブピン１０は、導電体のプローブピン１１と、その検出端側の部分が露出するように外周を被覆する絶縁被覆１２とを備える。絶縁被覆１２は、プローブピン１１の検出端側の端部１２ａが全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物に面接触して測定を行い、被測定物にプローブ痕を残さないプローブ端子及びこれを用いた被測定物の測定方法を提供することにある。
【解決手段】本発明に係るプローブ端子１０は、測定用孔１１が貫通形成された基板１２と、該基板１２の底面１２ｂにおける測定用孔１１の開口を塞ぐように設けられた膜状の探触部材１３と、基板１２の底面１２ｂに測定用孔１１の開口を包囲するように設けられた弾性変形可能な密閉部材１４と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。 （もっと読む）

【課題】コンタクト荷重や熱によるプローブカードの平面度悪化を効果的に抑制できる半導体テスタを実現する。
【解決手段】テストヘッドと電気的に接続するプローブカード表面部のプローブピンにより、ウェハと電気的にコンタクトする半導体テスタにおいて、
前記プローブカードの背面部に接して固定配置された平面部を持つ金属部材と、
この金属部材の平面部に対向し、所定距離鉛直方向に移動可能に前記テストヘッド側に支持されたブロックと、
このブロック下部に前記金属部材の平面部に対向して取り付けられた電磁石と、
この電磁石が前記金属部材の平面部に接し給電されて吸着固定された状態において前記ブロックと前記テストヘッド間を押圧固定するフックと、
を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査基板の接触端子や電極基板の電極表面に打痕が生じるのを防止し、被検査基板の品質低下や電極基板の短寿命化を改善できるワイヤープローブ用治具を提供する。
【解決手段】複数本のワイヤープローブ３と、これらのワイヤープローブを軸方向へ摺動可能に挿通保持させるために複数のプローブガイド孔が設けられた複数枚の薄板プレート１１１，１１２，１１３を積層して成るプレート積層体１１と、前記プレート積層体１１に設けられ前記各プローブガイド孔にワイヤープローブを挿通した状態で保持させる保持手段１１５Ａと、前記プレート積層体の一方の面側に前記ワイヤープローブと電気的に導通した状態で設けられる電極基板２Ａと、前記プレート積層体の一方の面側と前記電極基板及び又は前記プレート積層体の他方の面側と前記被検査基板との間に設けられる弾性を有する異方向導電性シート１２と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 熱負荷試験時において、プローブカード用セラミック配線基板に設けられた測定端子とＳｉウェハの表面に形成された測定パッドとの位置ずれが小さく、異物付着による外観不良の極めて少ないプローブカード用セラミック配線基板とこれを用いたプローブカードを提供する。
【解決手段】 セラミック焼結体が、該セラミック焼結体中に含まれるＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算およびＳｉをＳｉＯ_２換算した合計量を１００質量部としたときに、前記ＭｎをＭｎ_２Ｏ_３換算で２．０〜４．０質量部、前記ＴｉをＴｉＯ_２換算で４．０〜８．０質量部および前記ＭｏをＭｏＯ_３換算で０．４〜２．１質量部含有する。 （もっと読む）

【課題】製造容易として安価に製造できるだけでなく保守も容易な、接触子と電極との導電接触を確実にすることと、接触子の電気特性を改善するプリント配線板に通電する検査治具及び接触子を提供することを目的とする。
【解決手段】接触子１０は導電性の接触針１１とコイルばね１２とが直列又は重合して配置されて接触子保持体２０に保持され、検査装置に接続される電極４１と被検査端子とに圧接されて導電接触する。コイルばね１２は中継端１２２、ばね定数部１２３、電極端１２１からなり、電極端１２１は端末において，中心方向に曲げられて中心近傍において切断されて電極４１と導電接触することを特徴とし、この接触子１０を保持する接触子保持体２０をコイルばね１２と同軸に電極４１を有する電極部４０に搭載する検査治具１ （もっと読む）

【課題】安定した組立を行うことができ、メンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能で、電気的測定の際に安定した接触抵抗を有し常に正常な測定を行うことができる長寿命のコンタクトブローブを提供する。
【解決手段】導電性のプランジャーと、プランジャーを軸方向に付勢する導電性のスプリングとを備え、プランジャーは嵌合部とボス部とを有しスプリングの一端または両端に配置されておりプランジャーの少なくとも１つがスプリング内に挿通される摺動部を有し、スプリングは粗巻き部と密着巻き部とボス部に係止する大ピッチ部分とを有し、スプリングの密着巻き部はプランジャーの摺動部が接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】平面回路基板の種類によらず同一装置により検査を行うこと。
【解決手段】電気検査装置２は、平面回路基板１に対向可能に配置され、所定の規則により一様に配列された多数のプローブピン３と、多数のプローブピン３を支持すると共に、多数のプローブピン３を平面回路基板１に対して移動させるためのピンボード４と、各プローブピン３に接続され、各プローブピン３からの信号に基づき平面回路基板１の電気的特性を計測するための計測部１２等と、各プローブピン３を、計測部１２等に対して選択的に接続するための接続切替部１５と、電源部１３と、通信部１４と、制御部１１とを備える。平面回路基板１上に形成されたプローブピン３と接触可能な検査点３７Ａ〜３７Ｈの配置は、多数のプローブピン３の配列に整合するように予め配置される。 （もっと読む）

【課題】膜懸垂プローブを針型プローブヘッドのプローブアセンブリの部品として使用できるようにする。
【解決手段】第一表面及びその反対側に第二表面を有し、該第一及び該第二表面のいずれか一方が歪んだ場合に、復元力を作用させることができる弾性膜１７０と、第一端部及び第二端部を有するビーム１６４、該ビーム１６４の該第一端部近傍にある検査対象のデバイスと接触するプローブ先端部１６８、並びに、該ビーム１６４の該第二端部の近傍にあり、該弾性膜１７０の該第一表面から露出しているビーム接触部を具える膜懸垂プローブ１０４とを具え、該ビーム１６４は該弾性膜１７０の該第二表面を変形させるために移動することができることを特徴とするプローブヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換を容易におこなうことができるプローブユニットの提供を目的とする。
【解決手段】プローブユニット１は、プランジャホルダ３０と、プローブホルダ４０を１対備える。プランジャホルダ３０は、複数のプランジャ１０を保持し、プローブホルダ４０は、プランジャ１０の各々に対応するプローブ２０を複数保持する。プローブ２０は、プローブホルダ４０の検査対象対向面４４から検査対象を臨むようにしてプローブホルダ４０に保持される。プローブ２０は、ネジやビスなどで固定されることなく、本体部をプローブ保持孔に挿通した状態で、プローブ収納凹室４５の底面に載置されるため、プローブユニット１は、極めて容易なプローブ交換作業を可能にする。 （もっと読む）