【課題】検査用のプローブに接触するバネ等の導電部をその保持部材に取り付ける際に、導電部に接続されたケーブルに手や物が触れることで導電部が保持部材から簡単に浮き上がってしまうことを防止できる配線検査治具、及びこれを含んだ配線検査装置を提供する。
【解決手段】板状部材２２０の収容室Ｓ１に収容された導電部２２１に接続されるケーブル３が、板状部材２２０の貫通孔Ｐ１を貫通したところで伸縮性を有するシート状部材２５０を突き通る。ケーブル３は、シート状部材２５０を突き通ることによってシート状部材２５０に軽く固定された状態となり、貫通孔Ｐ１から収容室Ｓ１の方向へ押されても容易にその方向へ戻らなくなる。 （もっと読む）

【課題】被検体との低付着性を実現するとともに、長期間に亘って安定な導電性を保つことができ、特に、約８５℃程度の高温での繰返し接触や、大気中で長期間放置された後も、被検体との低付着性を実現すると共に、接触抵抗の上昇を抑制し得、長期間に亘って安定な電気的接触を保つことのできる電気的接点部材を提供する。
【解決手段】電気的接点部材は、被検体に繰返し接触する電気的接点部材であって、被検体と接触する電気的接点部材の表面は、Ｐｄを含有する炭素被膜で構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数のプローブをそれぞれ一定以上の力で付勢する汎用的な構成を備えておりながら、プローブの撓みによる短絡を防止でき、かつ、プローブと検査対象の基板との接触圧が過度に大きくなることを防止できる配線検査治具及び配線検査装置を提供する。
【解決手段】プローブ２を検査対象の基板１０に向かって一定以上の力で付勢する複数の第１付勢部３１１を保持した汎用の検査ヘッド部３０と、複数のプローブ２の尖端を基板１０の表面に案内する専用のプローブ案内部２０を備える。撓みが生じ易いプローブ２（２Ａ）と第１付勢部３１１との間には、第１付勢部３１１の強い付勢力をプローブ案内部２０へ伝えつつプローブ２（２Ａ）を第１付勢部３１１より弱い付勢力で付勢する中間導電部材２３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】ウエハの電気特性検査時にプローブ針の先端に付着する異物に起因する検査精度の低下を抑制する。
【解決手段】ウエハの電気特性検査工程で使用するプローブカード１５Ａは、配線基板３０と、配線基板３０に取り付けられた金属製のプローブ針固定部３１と、プローブ針固定部３１に接合された複数のプローブ針３３とを有している。プローブ針固定部３１には、冷却管２４が挿通されており、この冷却管２４内を流れる冷却液Ｃによって、プローブ針固定部３１に接合されたプローブ針３３が冷却されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】 弾性変形時における針圧や高周波特性を確保しつつ、耐電流性能を向上させることができる電気的接触子を提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ１００は、弾性変形部１とコンタクト部２とからなり、弾性変形部１が、長尺方向の力によって弾性変形する細長い板状体１０Ａ，１０Ｂと、板状体１０Ａ，１０Ｂの長尺方向と交差するワーク対向面１２ｗ上にコンタクト部２が配置され、空隙１０Ｓを介して主面を対向させた状態で板状体１０Ａ，１０Ｂの一端を互いに結合させる針先結合部１２と、板状体１０Ａ，１０Ｂの他端を互いに結合させる針元結合部１１とからなる。板状体１０Ａ，１０Ｂは、第１の導電性金属からなる応力層１０１，１０３と、第１の導電性金属よりも比抵抗が小さい第２の導電性金属からなる電導層１０２とから形成され、第１の導電性金属の機械的強度が第２の導電性金属よりも高い。 （もっと読む）

【課題】バインダ分解ガスを基板の外部に良好に放出することができ、かつ、基板表面に配置される導体配線に安定して通電することのできるウェハ検査用の配線基板が求められている。
【解決手段】上面ならびに中央領域５ａおよび周縁領域５ｂを有する下面を備えた積層体５と、積層体５の下面の周縁領域５ｂに配設された複数の入出力端子９とを具備し、積層体５が、平面透視した場合に、中央領域５ａに位置して下面に開口して複数のセラミック層３の途中まで到る穴部１９および周縁領域５ｂと重なるように内部に位置する中空部２１を備えたウェハ検査用の配線基板１とする。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】サポート部材１４に装着されるプロービング・チップの間隔を調整可能にすると共に、横方向及び同軸方向の追従性を提供する。
【解決手段】可動基盤部材３２は、フレーム３４の上に保持される。基盤部材３２には、ラックの線形な歯６６と、１対の角度付レール７０がある。中間運搬部２６の夫々の底面２９にはスロット７３があり、レール７０と係合する。中間運搬部２６の夫々には支柱５８があり、ピニオン・ギアのあるサム・ホイール６４の回転軸６２を受ける。ピニオン・ギアは、基盤部材３２上の歯６６と係合する。サポート部材１４には、軸方向のスロット３３があり、中間運搬部２６のスロット５０と係合する。サポート部材１４には、圧縮ばね２８があり、サポート部材の同軸方向の追従性を提供する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高騰、および故障の発生を抑えつつ小形化を実現する。
【解決手段】複数のプローブ１２と、各プローブ１２を保持する保持部１１とを備え、保持部１１は、挿通孔１１ｃを有する板状体で構成され、プローブ１２は、先端部２１ｃが保持部１１の下面１１ａから突出するように挿通孔１１ｃに挿通された被覆導線２１で構成されると共に、挿通孔１１ｃの中心軸Ａに沿って移動可能でかつ他の被覆導線２１に対して絶縁された状態で挿通孔１１ｃに充填された弾性材料１３を介して保持部１１に保持されている。 （もっと読む）

【課題】プローブの支持孔を所望の位置に高精度に形成することができるプローブ支持基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のプローブ支持基板の製造方法では、第１の金属薄板１１にプローブ２０より大径の孔１１Ａを複数のプローブ２０の配列パターンに即して複数形成し、複数の大径孔１１Ａの互いに対応する大径孔１１Ａ同士をそれぞれ位置合わせして第１の金属薄板１１を複数枚積層して第１の積層体１２を得る。次いで、第１の積層体１２の主面に第２の金属薄板１３を積層して第２の積層体１４を得た後、第２の積層体１４を加熱、加圧して複数の第１の金属薄板１１と第２の金属薄板１３をそれぞれ互いに接合し、複数のプローブ２０の位置決め孔１３Ａを、複数の大径孔１１Ａに対応させてプローブ２０の外径に即した大きさで第２の金属薄板１３に形成する。 （もっと読む）

【課題】ショートやリークの発生の防止、および円滑なプロービングを実現する。
【解決手段】第１挿通孔３１ａが形成された第１支持部３１および第２挿通孔３２ａが形成された第２支持部３２を有する本体部１１と、先端部２１および基端部２２が第１挿通孔３１ａおよび第２挿通孔３２ａにそれぞれ挿通された状態で本体部１１によって支持されて中央部２３がプロービング時に湾曲可能に構成されると共に中央部２３の直径が第１挿通孔３１ａの直径よりも大径となる厚みで中央部２３の周面に第１絶縁層２４が形成されたプローブピン１２とを備え、プローブピン１２における先端部２１の表面の一部であって回路基板１００の端子１０１に接触する部位を除く予め決め規定された先端領域Ａには、先端領域Ａの直径が第１挿通孔３１ａの直径よりも小径となる厚みで第２絶縁層２５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】プローブとプローブ支持基板との絶縁性を十分に確保すると共に経時的に安定化させることができるプローブ支持基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のプローブ支持基板１０は、プローブ支持基板１０は、複数の金属薄板１１と第１、第２の金属薄板１３、１４が積層され且つ互いに接合された積層体と、積層体の上面に形成されて複数のプローブ２０を積層体から電気的に絶縁する絶縁被膜１６と、を備え、複数の金属薄板１１、１３、１４のうちの第２の金属薄板１３には、プローブ２０のリード部２０Ｃを摺動可能に支持し且つプローブ２０の支持位置を決める位置決め孔１７Ａを有する絶縁性の支持薄板１７が複数個所で一体化して形成されており、且つ、これらの支持薄板１７がその両面に配置された第１、第３の金属薄板１１、１４によって挟持されていると共に位置決め孔１７Ａが貫通孔１０Ａ内に位置している。 （もっと読む）

【課題】プローブカードの熱変形の影響によるプローブのコンタクト位置ずれなどを防止した半導体検査装置を提供すること。
【解決手段】プローブカード１に、発熱体４ａおよび４ｂと、発熱体４ａおよび４ｂによって高温にされたプローブカード１表面の温度を計測する温度センサ６とが設けられる。測定装置７は、発熱体４ａおよび４ｂに電流を印加する電流印加部８と、温度センサ６の電流値を計測することによって、プローブカード１表面の温度を計測する電流計測部９とを含み、電流計測部９によって計測された電流値に応じて、電流印加部８を制御することによりプローブカード１表面の温度を制御する。したがって、プローブカード１の表面温度を一定値に保つことができ、プローブカード１の熱変形の影響によるプローブ２のコンタクト位置ずれなどを防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高騰、および故障の発生を抑えつつ小形化を実現する。
【解決手段】複数のプローブ１２と、各プローブ１２を保持する保持部１１とを備え、保持部１１は、挿通孔１１ｃを有する板状体で構成され、プローブ１２は、先端部２１ｃが挿通孔１１ｃに挿通されて絶縁状態で保持部１１に固定された被覆導線２１と、柱状に形成されると共に基端部２２ａが被覆導線２１における先端部２１ｃの端面２１ｄに電気的に接続された状態で保持部１１の下面１１ａから突出するように被覆導線２１に固定された導電性および弾性を有する先端チップ２２とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 微小な対象物であっても、その対象物に設定された対象点を好適に接続することができるとともに、量産性に優れた接続端子やその製造方法の提供。
【解決手段】 外周表面が非導電性の芯材と、該芯材の外周表面に螺旋状に巻き付けられる導電性の巻導体と、所定箇所に該芯材と該巻導体を覆う絶縁被膜が形成される棒状部材の表面全体にめっきを施す工程と、前記めっきが施された棒状部材から前記絶縁被膜を除去する工程と、前記絶縁被膜が除去された棒状部材の表面に露出する前記巻導体を除去する工程と、前記巻導体が除去された前記棒状部材から前記芯材を除去する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、テスト時に半導体の終端部での放電を防止することが可能な半導体テスト治具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による半導体テスト治具は、プローブピン３と、プローブピン３を平面視で囲むように設けられた絶縁物２とが配設された土台１と、土台１のプローブピン３および絶縁物２が配設された側の面に対向して配置され、土台１側の面上に被検体４を載置することが可能なステージ６とを備え、ステージ６に被検体４を載置して土台１とステージ６とが接近する方向に移動する際、プローブピン３が被検体４に形成された電極と接触すると共に、絶縁物２が被検体４に接触することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易で、壊れにくい電子部品用測定冶具を提供する。
【解決手段】 本発明の電子部品用測定冶具１００は、絶縁基板１と、金属箔２と、ソルダーレジスト膜３と、複数の金属端子７を備え、ソルダーレジスト膜３は、ソルダーレジスト膜非形成部４ａを有し、金属端子７は、単板からなり、測定する電子部品の端子電極が当接する当接部７ａを金属箔２の形成されていない絶縁基板１上に延出させた状態で、金属箔２のソルダーレジスト膜非形成部４ａにはんだ付けされ、金属箔２の厚みＸが、金属端子７の厚みＹに対し、Ｘ≧０．５Ｙの関係になるようにした。 （もっと読む）

【課題】 屈曲部に柔軟性を持たせたバーチカルプローブと、このバーチカルプローブを備えた狭小ピッチ対応のプローブヘッドを提供する。
【解決手段】 プローブヘッド１は、プローブハウジング２と、傾斜して配置されたバーチカルプローブ３とを備え、プローブハウジング２の上面２ａには複数の第１のスルーホール２ｂ、２ｂ…が設けられて、底面２ｆには第２のスルーホール２ｅ、２ｅ…が設けられ、第１のスルーホールおよび第２のスルーホール間に空洞部２ｍが形成され、これらの間にバーチカルプローブが挿着され、プローブ上部３ａおよびプローブ下部３ｂの幅より狭くなった屈曲部３ｅが設けられ、プローブ下部にはプローブ先端３ｄ側に向かって幅３ｇを更に狭くする段差３ｆを備え、段差がプローブハウジングの第２のスルーホールの淵部２ｇに係止され、バーチカルプローブは屈曲方向に変形して上下に伸縮して良好な電気的接続をする。 （もっと読む）

【課題】 狭小な電極パッドが狭ピッチで配置された半導体デバイスの電気的特性試験が可能な電気的接触子ユニットを提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ１ａ（１ｂ）は、一端にコンタクト部１０が形成されたコンタクト軸１１と、コンタクト軸１１から互いに反対方向へ分岐し、ガイド板３（４）に当接する一対のアーム部１２ａ（１２ｂ）とを備えている。このため、コンタクト部１０を検査対象物に接触させることによって受ける圧力を一対のアーム部１２ａ（１２ｂ）に分散させ、弾性変形したアーム部１２ａ（１２ｂ）の反発力のうち、ガイド板３（４）に平行な成分を打ち消すことにより、コンタクト部１０のスクラブ量を抑制することができる。従って、十分なオーバードライブ量と、適度なスクラブ量とを確保し、コンタクト部１０が検査対象物の電極パッドから外れるのを抑制することができる。 （もっと読む）