【課題】均一な厚さで絶縁被覆され、各プローブ間の被膜厚のばらつきが小さく、高温雰囲気でも絶縁膜相互の融着が生じることない電着被膜にて被覆され、且つ、変形することなく先端部の電着被膜部が剥離されているプローブピンを提供する。
【解決手段】分子骨格中にシロキサン骨格を有し、分子中にアニオン性基を有するブロック共重合ポリイミドを含む絶縁体が金属細線１１０の表面に電着塗装されて電着被膜部１３０を形成しており、金属細線１１０の少なくとも一方の端部の電着被膜部１３０が、極性溶媒にて剥離除去されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、一方の可動アーム３２のプローブ支持部３２ａに第１電流プローブＰ１と第１電圧プローブＰ３とを、また、他方の可動アーム３１のプローブ支持部３１ａに第２電流プローブＰ２と第２電圧プローブＰ４とを支持させ、例えば可動アーム３２側にプローブ支持部３１ａ，３２ａの上方に配置されるケーブル支持基板３３を設け、各同軸ケーブルＣの一端側を、それらの外部導体Ｓを所定の導通手段により接続してケーブル支持基板３３に固定するとともに、各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬを、変形可能な電気的中継手段５０を介して対応するプローブＰに接続する。 （もっと読む）

【課題】半田ボールとコンタクトプローブの位置決め誤差がある場合にも、半田ボールと確実に接触するとともに、ある程度の接触面積を確保できる検査用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】本発明に係る検査用コンタクトプローブは、検査対象素子の端子との接触面の内側に鋭角の頂部を有する複数の錐体が形成されているが、錐体の頂部を結ぶ面が凹面を成していてもよく、錐体の数が９以上であることおよび錐体の頂角が６０度以下であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、支持片と、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる前部領域、及び該前部領域から下方へ突出する先端針先を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置されたスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。左右方向に隣り合う少なくとも２つのプローブの前部領域の少なくとも一部は共通のスリットに受け入れられている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４が用いられ、一方の可動アーム３２側に、第１の電流プローブＰ１と第１の電圧プローブＰ３とを、それらの各同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付けるとともに、他方の可動アーム３１側に、第２の電流プローブＰ２と第２の電圧プローブＰ４とを、それらの各同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付け、同軸ケーブルＣ３の外部導体Ｓと同軸ケーブルＣ４の外部導体Ｓとを金属製のコイルバネ５ａを介して互いに電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高い接触安定性を得ることが可能な弾性接触子及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明は、電子部品の外部電極に当接して電気的に接続される弾性腕を備えた弾性接触子において、前記外部電極と接触する前記弾性腕２の先端部５には、外周縁５ａよりも内側の位置に形成された貫通孔７、及び前記貫通孔７の周縁を囲み、前記先端部５の外周縁５ａよりも前記外部電極との対面方向（図示上方）に突出した環状突起部８が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で絶縁被膜の端部の形状を剥離作業を行うことなく全周に渡りバラツキのない形状に容易に調整する。
【解決手段】絶縁被膜１２を形成する電着材料を含む電着液Ｌ内に電極２２を浸すと共に、プローブピン１１をその検出端側１１ａが上方を向くように垂直に挿入し、電極２２とプローブピン１１とに通電する電圧を調整することで、絶縁被膜１２における検出端側１２ａの形状を全周に渡り上方に向かって先細となるテーパ形状から端部の断面が直角となる形状又は端部が他の領域よりも膨らむ形状まで希望の形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で、絶縁被膜プローブピンの絶縁被膜の端部を寸法精度がよく、断面が略直角の形状にする。
【解決手段】絶縁被膜１２を形成する電着材料を含む第１溶媒で形成された電着層Ｌ１の下に第１溶媒よりも比重が大きく電着材料を含まない第２溶媒よりなる下層Ｌ２が配置された溶媒内に電極２２を浸すと共に、プローブピン１１をプローブピン１１の検出端側１１ａが下方を向くように垂直に挿入し、下層Ｌ２と電着層Ｌ１との間の下側境界面Ａ１が安定した後、電極２２とプローブピン１１とに通電し、電着層Ｌ１の範囲に絶縁被膜１２を、絶縁被膜１２の検出端側の端部１２ａが全周に渡って断面が略直角となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する接続基板に備えられ、かつ複数のプローブが接続される複数の導電路の位置精度を高めることにある。
【解決手段】電気的接続装置は、接続基板と、該接続基板の下方に配置された複数のプローブとを含む。前記接続基板は、可撓性を有する第１の基板と、該第１の基板の下方に配置された第１のシート状部材と、該第１のシート状部材を上下方向に貫通する複数の導電路とを備える。前記プローブは前記導電路の下端に接続されている。前記第１のシート状部材は感光性の樹脂を材料とされている。 （もっと読む）

【課題】高いコンタクト確実性及び動作確実性を有しており、これにより電気被検体の検査を誤りなく実施可能な、電気被検体の検査のための電気検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備えており、この導体基板が、第１補強装置と機械的に結合されており、且つそれによって補強されている、電気被検体の検査のための電気検査装置に関する。導体基板（１２）を貫く少なくとも一つのスペーサ（３０）が、コンタクト部間隔変換器（７）と機械的に結合されており、且つ第１補強装置（２６）では傾斜調整手段（３４）を介して保持されることを企図する。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で耐久性が高く、電極間の狭ピッチ化に対応可能な高周波デバイス検査用のコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】電極に接触する第１のプランジャーと、第１のプランジャーと連結する第２のプランジャーとからなり、第１のプランジャーは、電極に接触する先端部と、先端部から延設され、第２のプランジャーと連結する連結部と、フランジ部と、連結部から延出する胴体部とを備え、第２のプランジャーは、一端が開放した有底円筒状の鞘部であって、開放端側筒部と、底側筒部と、底側筒部と開放端側筒との間に配置されるコイル状のバネ部とを含み、長手方向に収縮可能な収縮鞘部と、収縮鞘部と一体に形成され、先端が前記端子に接触する接触部とからなり、第１のプランジャーと第２のプランジャーとは、胴体部を収縮鞘部に収容させつつ連結し、バネ部が収縮した際に、前記胴体部の端部外周が前記底側筒部の内周に接触する。 （もっと読む）

【課題】絶縁体の電気インピーダンスを測定するツールにて、ツールが加える機械的力の量に関係なく判定が可能な力補償プローブを提供する。
【解決手段】力補償プローブ１０は、背面プレート２１および側壁２２を有する支持構造と、物品の電気的測定用のプローブ３０と、プローブ３０を背面プレート２１に支持可能に連結するように配置された弾性基部４０とを備え、プローブ３０は通常は背面プレート２１から離れる方向で側壁２２の遠位側縁部を越えて突出し、支持構造の構成要素が物品に接触するようにしてプローブ３０が電気的測定のために物品に当てられると、所定の負荷が弾性基部４０に一貫して加えられる。 （もっと読む）

【課題】プローブカードのロック／アンロック動作を確実に行なうことができるプローブカード固着ユニットを提供する。
【解決手段】テーパ面を有するクランプヘッド２１０を備えたプローブカード２００を基準部材に固着するプローブカード固着ユニットであって、先端に回転機構１１３を備えたアーム部１１２と、アーム部１１２の回転機構１１３が、クランプヘッド２１０のテーパ面に接触する位置と、クランプヘッド２１０のテーパ面から離れる位置とになるように、アーム部１１２を、基準部材に対して移動させる駆動部１１１とを備えたプローブカード固着ユニット。 （もっと読む）

【課題】プローブのプランジャを案内するガイド孔は、面倒な孔加工を必要とするため、端子又は電極の狭ピッチ化及び多極化に対応するのが困難となっている。
【解決方法】上ブロック１０及び下ブロック１１に形成された円筒状の保持孔１２，１５にプローブ２が装着される。プローブのプランジャ６は、板状のガイド部１９ａと、その先端の接触部１９ｂとを有している。上ブロック１０には下方から有底の保持孔１２が形成されると共に、上面ｓからガイド溝１３が形成される。該ガイド溝１３に、上記ガイド部１９ａが回り止めされ、かつ抜止めされて上下移動自在に案内される。 （もっと読む）

【課題】 ＴＡＢテープ上に形成されている半導体素子の正確な検査とプローブカードの長寿命化を実現することができるプローブカード、半導体検査装置及び半導体検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 テストヘッドに装着されたときにプッシャーに吸着支持されるＴＡＢテープの両側部と対向する位置に、プッシャーを前記テストヘッドに対して接近させたとき、プローブ針の先端部が前記ＴＡＢテープ上の半導体素子の電極と接触するよりも前に前記ＴＡＢテープの両側部と接触し、ＴＡＢテープの両側部をプッシャー側に押圧するＴＡＢテープ押圧体を備えているプローブカード、及び前記ＴＡＢテープ押圧体を備えている半導体検査装置、並びにそのような半導体検査装置を用いて行われる半導体検査方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】導電性と耐久性を兼ね備えた炭素皮膜を、先端が分割された基材に対して形成するようなコンタクトプローブピンにおいて、使用環境が高温になる様な状況下においても、Ｓｎ付着を極力低減し、長期間に亘って安定な電気的接触を保つことのできるコンタクトプローブピンを提供する。
【解決手段】先端が２つ以上の突起に分割され、該突起で被検面に繰り返し接触するコンタクトプローブピンであって、少なくとも前記突起の表面には、金属および／またはその炭化物を含有する炭素皮膜が形成されていると共に、前記突起の頂部における曲率半径が３０μｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】被検査体の電極形状にかかわらず電極の狭ピッチ化に対応でき、しかも、回路基板の製造コストの増大を回避することができるケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具を提供する。
【解決手段】ケルビン検査治具１００は、コンタクトプローブ１０および２０を備え、コンタクトプローブ１０は、半田ボール６１に接触する電極側接触端子１１と、ランド７１に接触するランド側接触端子１２と、を備え、コンタクトプローブ２０は、半田ボール６１に接触する電極側接触端子２１と、ランド７２に接触するランド側接触端子２２と、を備え、コンタクトプローブ１０および２０は、電極側傾斜面１１ａと電極側傾斜面２１ａとが互いに反対側を向くように、かつ、ランド側傾斜面１２ａとランド側傾斜面２２ａとが互いに対向するように配置される。 （もっと読む）

【課題】検査対象体やプローブピンの損傷の発生を回避しつつプロービングの効率を向上させる。
【解決手段】弾性変形可能に構成されたプローブピン１１と、プローブピン１１の基端部１１ａが固定される固定部１２と、プローブピン１１の長さ方向に沿ったプローブピン１１の移動を許容しつつプローブピン１１の先端部１１ｂ側を支持する移動規制部１３と、プローブピン１１の中央部１１ｃを湾曲するように弾性変形させることによって移動規制部１３からの先端部１１ｂの突出量を変化させる変形機構１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スプリングの耐久性の向上を図ったスプリングプローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】スリーブ成形部２１と、スリーブ成形部２１から折曲境界部１１を介して延出したスプリング４と、このスプリング４の先端部分を拡張してなる端子成形部３１とがそれぞれ同一平面上に形成され、各成形部２１、３１がそれぞれ曲げ加工されることで、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に設けられる被検査体接触用の端子３と、筒状スリーブ２に内装されて端子３を付勢するスプリング４とが一体に成形されるスプリングプローブ１であって、スプリング４は、略Ｕ字状の弾性部４２を備えるとともに、弾性部４２が巻回された状態で、筒状スリーブ２に内装される。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスの頻度の少ない構造の電子部品試験方法を提供する。
【解決手段】電子部品の電極部に電気的に接続されるプローブピンを有するベース部と、前記プローブピンと前記電極部との間に配置され、前記プローブピンと前記電極部とを電気的に接続する中間電極と、を有する試験装置を用いた電子部品試験方法であって、前記中間電極を介し、前記電極部と前記プローブピンとを接触させ、前記電子部品における導通部分の抵抗値を測定する工程と、前記抵抗値が、所定の値よりも高かった場合には、前記中間電極を動かす工程と、を有することを特徴とする電子部品試験方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）