【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５により取り出された光の光強度を検出する検出部１１と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部２１及び電圧制御部１５と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部２２と、電圧監視部２２により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部１１により検出された光強度を取得する光強度取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】試料における蛍光成分を含む分光放射輝度率を効率的に測定する。
【解決手段】複数の紫外光源と白色光源を有する測定部704で、まず白色光源を点灯させて、試料の可視光成分の分光放射輝度率を得る。次に測定判定部702が、測定条件データ格納部701から、試料に応じて予め定められた、複数の紫外光源のそれぞれについて点灯するか否かを示す測定条件を取得し、点灯が示された紫外光源を判定する。そして制御部703が測定部704に対し、該点灯すると判定された紫外光源を点灯させるように制御して、試料の蛍光成分の分光放射輝度率を得る。これにより、紫外光源を無駄に点灯することなく、該試料の全分光放射輝度率を効率良く得ることができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。
【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、分光素子４２と、集光光学系４３と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子４２による分光方向に１次元に配列され、少なくとも所定の１次元方向に回転可能な空間光変調素子４４と、空間光変調素子４４で反射された分光光を受光する投影光学系４５と、複数の受光素子４６ａが、少なくとも投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に配列された受光器４６と、を有し、受光器４６の配置位置は、投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に関して投影光学系４５の後側焦点位置である。 （もっと読む）

【課題】 発光材料の評価に好適に用いることが可能な分光測定装置、方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】 試料Ｓが内部に配置され、励起光を入射する入射開口部２１及び試料Ｓからの被測定光を出射する出射開口部２２を有する積分球２０と、被測定光を分光して波長スペクトルを取得する分光分析装置３０と、データ解析装置５０とを備えて分光測定装置１Ａを構成する。解析装置５０は、波長スペクトルにおいて励起光に対応する第１対象領域、及び試料Ｓからの発光に対応する第２対象領域を設定する対象領域設定部と、第１、第２対象領域を用いて波長スペクトルを解析する試料情報解析部とを有し、試料情報解析部は、励起光スペクトルについて、参照波長スペクトルでの励起光ピークを、試料の波長スペクトルでの励起光ピークに合わせ、その状態でスペクトルの減算を行う。 （もっと読む）

【課題】 入射光の偏光方位に偏りがなく、かつ、回折層の偏光依存性が高くても、高い回折効率が得られる透過型回折格子及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 透過型回折格子１０は、偏光変換層２０と、偏光変換層の一面側に配置される第１回折層３０と、偏光変換層の他面側に配置される第２回折層４０と、を有する。第１回折層３０及び第２回折層４０は共に、第１方向Ａに沿って周期Ｐで配列される屈折率変調構造３２，４２を有し、かつ、ＴＥ偏光成分に対する回折効率がＴＭ偏光成分に対する回折効率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】空間的に小さな体積で済み、一体型で、振動にも強く、大きな電圧を必要とせず、持ち運びができる小型の分光器を提供する。
【解決手段】リニアセンサ１は、赤外線に感度のある複数の画素を所定のピッチで直線状に並べた構成の赤外線センサである。ファブリペロ干渉計２は、２枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ１を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。光線平行化装置３は、近赤外光を吸収する所定の厚みのシートにリニアセンサ１を構成する複数の画素の画素ピッチと同じ直径の孔が多数開けられた構成である。光学フィルタ４は、余計な波長の光がファブリペロ干渉計２に入射しないようにする。分光器１０は、人間の指などの被測定対象物７に光源６からの光を透過させることで、様々な情報を非侵襲で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光源の、紫外域を含む分光放射輝度を取得する。
【解決手段】 光源の可視域における分光放射輝度の測定値、および、蛍光物質を含む複数の試料の、光源の光に対する反射光の可視域における分光放射輝度の測定値を入力する。そして、光源の分光放射輝度の測定値、複数の試料の分光放射輝度の測定値、および、複数の試料の二分光放射輝度率から、光源の紫外域における分光放射輝度を算出する。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎの低下を抑制しつつ、各セルにより検出された光のゲインをセル毎に設定することができる光検出装置および観察装置を提供する。
【解決手段】標本Ａからの光を検出して電気信号に変換するセルを複数有するマルチセル光検出器５２と、マルチセル光検出器５２により変換された電気信号を増幅する光検出回路５３とを備え、光検出回路５３が、各セルにより変換された電気信号のそれぞれの増幅率を設定する入力部４４と、入力部４４により設定された増幅率に応じて１画素として積算する電気信号のサンプリング数を決定し、決定したサンプリング数の電気信号を積算するＡＤデータ演算部とを備える光検出装置５０を採用する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の安定性と高い検出感度とを有する分光蛍光光度計を提供する。
【解決手段】 照射部１００と、試料室２０と、光検出器３２とを備える検出部３０と、励起分光器１２を制御することにより、光検出器３２で目的波長領域の光強度を検出させることで、スペクトルを取得する制御部５１とを備える分光蛍光光度計１であって、光検出器３２は、光電子増倍管であり、光電子増倍管３２の陰極に、設定印加電圧値を印加する電圧発生部４３と、光電子増倍管３２の陽極から出力される光強度を示す電荷パルス数をカウントするカウンタ回路４４とを備え、制御部５１は、試料を分析する前に、電圧発生部４３を制御することにより、設定印加電圧値を変更し、各設定印加電圧値におけるそれぞれの電荷パルス数の時間変化を測定し、時間変化に基づいて、試料を分析する際に設定する設定印加電圧値となるプラトー電圧を決定する。 （もっと読む）

【課題】スリット走査に起因する撮像時間の冗長性を解消して、いかなる撮像対象に対しても迅速なスペクトル撮像を可能とするスペクトル撮像装置及びスペクトル撮像方法、及びそれらスペクトル撮像装置、スペクトル撮像方法に用いられるライン光走査機構を提供する。
【解決手段】撮像対象から観測された観測光Ｌをライン状の光に順次変換走査する機構として、変換すべきライン状の光に対応する形状を有してその長手方向に設けられた軸を中心に各別に回動可能な光選択部材１２１ａ〜１２１ｎが観測光Ｌを走査する分解能に対応する数だけ配列されたライン光走査機構１２０を備える。そして、このライン光走査機構１２０を構成する光選択部材１２１ａ〜１２１ｎの選択的な回動に基づいて観測光Ｌを順次ライン状の光に変換走査して分光器１３０に取り込む。 （もっと読む）

【課題】分光器波長正確さを容易に検査する蛍光分光光度計を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光分光光度計は、光源１の光を励起光として分光し試料セル３に照射する励起側分光器２、試料セル３からの光を分光する蛍光側回折格子４１及び該回折格子を回転させる走査手段４２から成る蛍光側分光器４、蛍光側分光器４からの出射光を検出する検出器５、励起側分光器２の設定波長正確さを検査する励起側検査部６を備える。励起側検査部６は、特定波長検査光が蛍光側回折格子４１に入射したときのｎ次、ｎ＋１次回折光をそれぞれ出射させる蛍光側回折格子４１の回転角差と、励起側分光器２の波長を特定波長にし光源１の光を励起側分光器２に入射させ回折格子４１を回転させたときにｎ次とｎ＋１次回折光がそれぞれ得られる蛍光側回折格子４１の回転角差を比較し励起側分光器２の設定波長正確さを検査する。 （もっと読む）

【課題】試料における蛍光の分光放射輝度率を測定するには、特殊な構成からなる測色器を用いる必要があり、さらにかなりの工数がかかっていた。
【解決手段】蛍光物質を含む試料について、白色光源下で一般の測色器を用いて２種類の変角測定を行って分光反射率1402と1403を得る。そして該試料の蛍光波長域外の長波長域において、分光反射率1403に対する分光反射率1402の比率ｎを算出する。そして分光反射率1403に比率ｎを乗じた結果である分光反射率1401と分光反射率1402との差分1404を算出する。この差分1404を比率ｎから１を減じた値で除算することで、当該試料における蛍光の分光反射率すなわち分光放射輝度率が算出される。このように、試料における蛍光の分光放射輝度率を、２回の変角測定を行うのみで効率的に推定することができる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の照射光量に対する分光感度の非線形性を補償する。
【解決手段】太陽電池評価装置１におけるソーラシミュレータ（照明光源）３の光量校正を行う光源評価装置１０において、分光放射計１３によってソーラシミュレータ３の照射光を取込み、その分光放射照度Ｌ（λ）を求める。一方、分光感度測定装置５では、白色バイアス光の強度を複数ｉ段階に変化させ、都度、分光光源から輝線照射を行うＤＳＲ法によって、太陽電池２の分光感度Ｐｉ（λ）＝Ｐ（λ，Ｉｂ）＝Ｐ（λ，∫Ｌ（λ）ｄλ）を求める。そして演算部１４は、２つの分光放射照度Ｓ（λ）および分光放射照度Ｌ（λ）と分光感度Ｐｉ（λ）とから、基準太陽光で規定の短絡電流Ｉｓｔｃとなるときの照射光エネルギーＥｓｓおよび実際にソーラシミュレータ３による照射光エネルギーＥｓｓを求め、両者が一致するようにソーラシミュレータ３の光量をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】励起光及び蛍光の波長組合せを切り替えながら励起光及び蛍光の検出を繰り返す多波長同時検出において、検出信号のＡ／Ｄ変換処理に割り当てる時間を長くすることでノイズ低減を図る。
【解決手段】４波長同時検出において、波長組合せ切り替え前後の励起光波長λEXの差、蛍光波長λEMの差が０でない場合には、それぞれ波長差から回折格子を回動させるモータの駆動時間Ｙ１、Ｙ２を計算し（Ｓ４、Ｓ８）、さらに回折格子が停止するに要する時間を見込み、１波長に割り当てられた切替時間のうちの残りをＡ／Ｄ変換時間Ｚ１、Ｚ２として求める（Ｓ６、Ｓ１０）。励起光の波長が設定された状態でないと蛍光検出は行えないので、Ｚ１＜Ｚ２のときにはＺ２もＺ１に揃え、そのチャンネルのＡ／Ｄ変換時間を決定する。このように決められた時間に基づく積算回数だけＡ／Ｄ変換後のデータを積算して測光値を求めることで、ノイズ低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】幅広い波長範囲で高分解能に分光測定を行うことができるとともに、堅牢でかつ小型化された導波路型の分光光度計を提供する。
【解決手段】被測定光は光入力部１０１で集光され、光ファイバ１０２を介して光分岐回路１０４に入力される。光分岐回路１０４は入力光をそれぞれ異なる波長帯の光を透過する光フィルタが挿入されたＮ本の光導波路に分岐する。１０５はＮ個のアレイ導波路回析格子が積層された多層アレイ導波路回析格子であり、光分岐回路１０４から出力される異なる波長帯のＮ個の光がそれぞれ対応する層のアレイ導波路回析格子に入力される。各層のアレイ導波路回析格子はそれぞれの入力光を分光してＭ本の光導波路に出力し、各層のアレイ導波路回析格子の出力光は受光部１０６で受光される。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】広い波長域で高い光の利用効率を有する、分光検出機能を備えた共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本を走査するガルバノミラー５を備えた共焦点走査型顕微鏡１００は、ＶＰＨグレーティング１を利用して標本からの光を分光し、光検出器１３で検出する。 （もっと読む）