【課題】分光エリプソメータにおいて、高精度なフォーカス調整を実現する。
【解決手段】分光エリプソメータ１では、光源３１からの光が、照明部３の光学系を介して基板９の測定面９１へと傾斜しつつ入射し、受光部４の光学系を介して受光デバイス４２２へと導かれ、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の分光強度に基づいて偏光解析が行われる。また、分光エリプソメータ１のフォーカス調整では、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の所定の波長帯の合計光量に基づいて測定面９１のフォーカス位置が求められる。このように、分光エリプソメータ１では、偏光解析に利用される光学系とフォーカス調整に利用される光学系とを共通とすることにより、温度変化等による光学系の変化の影響を排除し、より高精度なフォーカス調整を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】光学要素およびハウジング内面の反射に起因する迷光を高精度に補正する。
【解決手段】２列のセンサアレイＤＡｓ，ＤＡｒを用いるデュアルチャネルポリクロメータ１０において、外部処理装置ＥＣはスリットＳＬｓからサンプル光Ｉｓを入射させたときのセンサアレイＤＡｒの出力から、入射光の分光分布に依存しない迷光の相対分光（画素）分布（基準迷光分布Ｓ０_ｎ）を求めて演算制御手段ＰＵに記憶させておき、測光時には、前記演算制御手段ＰＵは、前記Ｓ０_ｎと入射光の分光（画素）分布出力に応じて求められた迷光の強度係数（迷光強度係数Ｋｓ，Ｋｒ）とから、被測定光の分光（画素）分布出力に含まれる迷光の分光（画素）分布（迷光分布Ｓｓ_ｎ，Ｓｒ_ｎ）を推定して、被測定光の分光（画素）分布出力Ｉｓ_ｎ，Ｉｒ_ｎをＩｓ’_ｎ，Ｉｒ’_ｎに補正する。したがって、従来のように入射光から直接迷光分布を推定するよりも、高精度に迷光を補正できる。 （もっと読む）

【課題】ＤＬＣ膜の品質管理等に応用可能であり、非破壊でＤＬＣ膜の摩擦係数を推定できるＤＬＣ膜の摩擦係数推定装置及び摩擦係数推定方法を提供する。
【解決手段】レーザーラマン分光法によりＤＬＣ膜のＧバンド又はＤバンドのバンド情報を取得する、レーザーラマン分光装置２（バンド情報取得手段）と、ＤＬＣ膜のレーザーラマン分光法によるＧバンド又はＤバンドのバンド情報と、ＤＬＣ膜の摩擦係数と、が予め関連付けられたデータベースが記憶されたデータベース記憶手段３と、レーザーラマン分光装置２が取得したＤＬＣ膜のバンド情報と、データベースと、に基づいて、ＤＬＣ膜の係数を推定する推定手段４と、を備えたＤＬＣ膜の摩擦係数推定装置１である。 （もっと読む）

【課題】照明光の照明放射分布の不均一性に起因する分光特性値の推定誤差を軽減し、被写体の分光特性の推定精度を向上させること。
【解決手段】照明画像取得制御部１７１は、画像取得部１１０を制御し、照明光を照射した状態で標本無しの背景を撮像した照明画像を取得する。領域分割部１６１は、取得した照明画像を複数の分割領域に分割する。分割領域測定点抽出部１６３は、各分割領域の中から分割領域測定点を抽出する。分光放射特性測定制御部１７３は、分光放射特性測定部１２０の動作を制御して各分割領域測定点における照明の分光放射特性を測定し、分割領域毎の照明の分光放射特性Ｅを決定する。分光特性推定部１６５は、対象標本画像を構成する所定の画素に対応する対象標本点の分光透過率を推定する際に、この所定の画素の属する分割領域の照明の分光放射特性Ｅを用いる。 （もっと読む）

【課題】ユーザが容易に測定精度の管理を行うことのできる分光特性測定装置及び分光特性測定システムを提供する。
【解決手段】制御部は、精度確認スイッチが押されると（♯１１でＹＥＳ）、白色校正板及びキセノンフラッシュランプを用いて波長ずれ量Δλを算出し（♯１２〜♯１７）、工場出荷時に当該分光測色計１に格納された分光反射率特性を前記波長ずれ量Δλだけシフトさせた分光反射率特性を算出する（♯１８）。そして、制御部は、この分光反射率特性（ｃ）と、予め記憶している、マスタ機による測定動作で得られた分光反射率特性（ａ）とを比較し、マスタ機による測定動作で得られた分光反射率特性（ａ）に対する前記分光反射率特性（ｃ）の誤差を算出し（♯１９）、この誤差を表示部に表示させる（♯２０）。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測装置において、計測原理に起因する系統誤差を低減する。
【解決手段】 光源と、偏光子と、第１の移相子と、第２の移相子とを含む投光光学系と、測定対象領域において反射又は透過した光を透過させる検光子と、検光子を透過した光の分光光量を求める手段とを備え、第１の移相子の厚みをD₁、第２の移相子の厚みをD₂としたときに、D₁とD₂との比が、17/7≦D₁/D₂≦7、9/7≦D₁/D₂≦5/3、17/7≦D₂/D₁≦7、9/7≦D₂/D₁≦5/3のいずれかを満たすようにした。 （もっと読む）

【課題】強い発光異方性を示す発光体試料の発光を容易かつ確実に等方化して、その発光体試料の発光量子効率を精度よく測定できる発光量子効率測定装置を提供する。
【解決手段】発光量子効率測定装置は、積分球１の中心を含む平面上の直交する方向に、励起光導入窓２と、分光器へつながる検出プローブ端３とを有する発光量子効率測定装置において、該積分球１の内部であって、中心から該平面に対する垂線上に発光体試料５が配置され、該検出プローブ端３から発光体試料５を見通す位置にバッフル板７が置かれている。 （もっと読む）

【課題】対象物の分光反射率を取得する。
【解決手段】直交関数群にバイアスを付加した分光透過率分布を持つ光学フィルタ群と、バイアスと同じ分光透過率分布を持つ光学フィルタを通して、順次光学フィルタを切り換えて、対象物と、分光反射率が既知の物体とを撮像したときの複数の画像データを取得し、複数の画像データに対して、バイアスと同じ分光透過率を持つ光学フィルタを通して撮像した画像データの画素値を差し引いて複数の差分画像を取得し、複数の差分画像の画素値と、直交関数の自乗の積分値との比を係数とし、直交関数の線形和を計算することで入射光の分光分布と撮像手段の分光感度の積の相対値を推定し、対象物の画像より得られる入射光の分光分布と撮像手段の分光感度の積の相対値から、分光反射率が既知の物体の画像より得られる入射光の分光分布と撮像手段の分光感度の積の相対値を除することで、対象物の分光反射率を取得する。 （もっと読む）

【課題】特に比較的広い帯域幅を有する分光計について、従来のピーク探索法に比べてかなり良好な較正精度を達成する、分光計（特に２次分光計）の波長較正法を提供すること。
【解決手段】本発明の方法は、相関値がそれぞれのシフト段階について計算される、モデルスペクトルおよび較正スペクトルの対応する測定値ブロックの段階的な相対シフトの原理に基づく。それぞれの測定値ブロックについて、相関値が最適値に達するシフト値が決定される。測定値ブロックの位置マーカおよび関連するシフト値からなる値の対は、それぞれの測定値ブロックについて決定される。これらの値の対は、適した割り当て関数へのフィッティングについての設計点を表す。こうして得られた係数は、波長割り当ての係数として直接使用することができるし、あるいは、得られた係数を、たとえば、既存の第１の波長割り当ての係数と置き換えるかまたは既存の第１の波長割り当ての係数に対して補うように、既存の第１の波長割り当ての係数と組み合わせることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ挙動を細かく把握、解析でき、プラズマの安定化技術の向上につながるプラズマ構成元素分析装置を提供する。
【解決手段】プラズマの構成元素を分析するプラズマ構成元素分析装置１であって、プラズマ光を集光する集光レンズ２と、集光レンズ２からの光を２つの光路に分離するスプリッタ４と、一方の光路３ａに設けられ、プラズマ光の実像を撮影する第１の高速度カメラ５と、他方の光路３ｂに設けられ、入力スリットを介したスペクトルを、波長軸および空間軸に関する分光スペクトル画像として撮影する第２の高速度カメラ６と、両高速度カメラ５、６から出力される画像信号を同期化して記憶する制御部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物質の正確な測定値を得ることができ、しかも多数の測定値を容易に且つ迅速に集約して分析することができる比色計を提供する。
【解決手段】比色計10を、比色計本体11、携帯電話機12、解析装置13から構成する。比色
比色計本体11は、台座14の上面に配置された４個のLED15a〜15d及びセル16を備えており、LED15a〜15dのいずれかから出射された光がセル16内に入射するようになっている。携帯電話機12は操作部21、液晶表示画面22、デジタルカメラ23を備えている。解析装置13は、ディスプレイ31、キーボード32、制御装置33を備えている。デジタルカメラ23によって撮影されたセル16からの出射光の画像は表示画面22に表示されると共にその画像データは無線通信回線を介して解析装置13に送信された後、解析装置によって解析されセル16内の試料溶液の吸光度が算出される。 （もっと読む）

【課題】単一の受光素子で多バンドの画像を生成する。
【解決手段】プロジェクタ１４は、画像処理装置１１のパターン制御部２１により生成された複数の２次元配列パターンで発光し、被写体に光を照射する。分光測定部１５は、照射され、被写体１６で反射される光を複数の周波数バンドで分光測定し、スペクトルデータを生成する。伝達率計算部２４は、プロジェクタ１４で発光する複数の２次元配列パターンと、２次元配列パターンに対応して分光測定部１５により測定されたスペクトルデータとに基づいて、各周波数バンドの伝達率を計算する。画像生成部２５は、伝達率計算部２４により計算された伝達率に基づいて、所望とされる周波数バンドの画像を生成する。本発明は、分光画像撮像装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】より少ない工程でセンサ電極および配線パターンを形成でき、配線と光学基板とを干渉させることなく容易に組み立てる。
【解決手段】対向面に反射膜２を有し間隔を空けて対向する２つの光学基板３ａ，３ｂと、該光学基板３ａ，３ｂの間隔を変化させるアクチュエータ３ｃと、光学基板３ａ，３ｂの間隔を検出するための電極部６ａ，６ｂを対向面に有するセンサ６とを備え、少なくとも一方の光学基板３ａ（３ｂ）に、対向面の外周部に設けられ、半径方向外方に向かって他方の光学基板３ｂ（３ａ）から板厚方向に漸次遠ざかる傾斜面５と、該傾斜面５に設けられ、センサ６の電極部６ａ（６ｂ）に接続する配線パターン６ｃ（６ｄ）と、該配線パターン６ｃ（６ｄ）の半径方向外方に配置され電極部６ａ（６ｂ）からの信号を外部に取り出すための配線７を接続する接続パターン６ｅ（６ｆ）とを備える可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型化の実現およびノイズの低減を図り、光学基板間の間隔寸法を精度よく検出して所望の分光特性を達成する。
【解決手段】間隔を空けて対向する第１および第２の光学基板４ａ，４ｂの互いに対向する対向面に設けられた光学コート層３と、第１および第２の光学基板４ａ，４ｂの間隔を変化させるアクチュエータ４ｃと、第１および第２の光学基板４ａ，４ｂの間隔を検出するためのものであって、第１の光学基板４ａに設けられた第１のセンサ部６ａと、第１および第２の光学基板４ａ，４ｂの間隔を検出するためのものであって、第２の光学基板４ｂに、第１のセンサ部６ａに対向するように設けられた第２のセンサ部６ｂとを有し、第１および第２のセンサ電極６ａ，６ｂの個数が異なる可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】プラスチック成型品の回折格子やハウジングからなるポリクロメータの熱的、非熱的な変化に起因する分散幅変化及び一律な波長変化を共に補正する。
【解決手段】入射スリットからの入射光を回折格子により回折して入射スリットの分散像を作成しこの分散像の情報を出力する分光装置と、１つ又は複数の定電流により駆動されるＬＥＤと、分光装置からの出力情報に基づき所定の演算を行うとともにＬＥＤ駆動を制御する演算制御装置とを備え、演算制御装置により以下第１〜第３の演算を行い、該演算結果から分光装置の波長変化を補正する。第１の演算：１つ又は複数の順電圧値及び順電圧初期値を用いてＬＥＤ単色光の波長変化量を算出。第２の演算：少なくとも２つの回折光出力値及び回折光出力初期値を用いて当該２つの回折光の波長変化量を算出。第３の演算：ＬＥＤ単色光の波長変化量及び上記２つの回折光の波長変化量を用いて分光装置の一律の波長変化量及び分散幅変化量を算出。 （もっと読む）

【課題】基となるデータに対して複数の異なるデータ処理を順次実行してゆく形態のデータ処理において、データ処理の種類、その実行順序、パラメータの設定といった事項を試行錯誤の上で決定しなければならない場合に、従来はデータ処理を一つずつ実行しなければならず非効率であった。
【解決手段】各データ処理の処理内容が記憶された処理記憶部と、アイコン配置命令の入力に基づき、一又は複数の処理アイコンを表示部に表示するアイコン表示部と、処理実行命令の入力に基づき、表示部に表示されている処理アイコンの並び順に、前記基データに対してデータ処理を実行する処理実行部と、を含んだシステム構成とする。表示部に表示されている処理アイコンの並び順に応じてデータ処理が実行されるため、逐一データ処理実行の命令を与える必要がなくなる。データ処理の種類を変更したり、順番を入れ替えたりすることも容易に行える。 （もっと読む）

【課題】スペクトルの逐次表示画面に最適なスケールの設定ができなかった。
【解決手段】光を分光制御部４０の試料に入力してスペクトル測定を行う測定手段４１と、測定条件を設定する測定条件記憶手段２６と、測定データをデータ処理するデータ処理手段２０と、処理データを表示する表示手段３０を備える。データ処理手段２０は、測定手段４１から得られたデータを逐次記憶する生データ記憶手段２７と、測定条件記憶装置２６に設定されている表示スケールで生データ記憶手段２７に記憶されている測定データを逐次表示処理する逐次データ表示処理手段２２を有する。また、スペクトル測定結果の最大値と最小値から表示スケールを演算するオートスケール演算手段２４と、演算された表示スケールを用いて測定結果を表示処理する測定結果表示制御手段２４と、オートスケール演算手段２４による表示スケールを次回測定のスケールとして測定条件記憶装置に反映するスケール変更手段２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 スペクトル波形パターンを横軸方向に自動的に分割する領域分割方法を提供することである。
【解決手段】 横軸方向に一定間隔でサンプリングされ、横軸の各座標位置における縦軸方向の高さ情報を有するスペクトル波形パターンデータについて、予め設定した移動平均値パラメータに基づき移動平均値を計算するステップと、スペクトル波形パターンデータと移動平均値との差分値又は差分値の絶対値を計算するステップと、差分値又は差分値の絶対値が、設定した閾値よりも大きな範囲を、ピーク存在範囲と定めるステップと、ピーク存在範囲の各々について代表位置を規定するステップと、代表位置の各々の中間に領域の境界位置を定めるステップとを含むことを特徴とする方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】
発光量測定の際、波長の制約及び光学系に起因する誤差の影響を受けることなく、正確に積分球を補正することを目的とする。
【解決手段】
積分球を有する分光蛍光光度計に関して、ステップ１で積分球の試料設置部に光拡散素子を設置した状態にて、分光スペクトルを測定し、積分球の波長ごとの特性が含まれた蛍光強度を取得後、ステップ２で積分球を同光路上より除き、光拡散素子を同光路上に設置し、前記積分球と同様の条件で、積分球の波長特性を含まない分光スペクトルを取得し、ステップ３は、ステップ１により得られた分光スペクトルとステップ２で得られた分光スペクトルを比演算から積分球の波長特性を求める。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、 光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止することができる。 （もっと読む）