【課題】燃焼電池内の酸素濃度の計測時間を短縮する。
【解決手段】カメラ２２により撮像された蛍光画像を取り込んで酸素濃度分布の演算処理を行なう演算処理部２４が設けられている。演算処理部２４は、演算を行なう演算手段２８のほか、蛍光画像取込み・保持部２６、検量線選択手段３０、マスキング手段３２、検量線保持部３４及びマスクマップ保持部３６を備えている。蛍光画像取込み・保持部２６はカメラ２２の撮像した蛍光画像を取り込み、保持しておくものである。マスキング手段３２は蛍光画像取込み・保持部２６が取り込んだ蛍光画像のうち、酸素濃度の演算処理を行なう必要のない部分を演算対象点から除外するマスキング処理を行なうものである。 （もっと読む）

【課題】基板の洗浄を効果的かつ安定して実施することが可能な洗浄装置、当該洗浄装置に用いられる溶存気体濃度測定装置の校正方法および溶存気体濃度の測定方法を提供する。
【解決手段】この発明に従った校正方法は、液体に溶存する気体の濃度を測定する測定装置を校正する校正方法であって、液体に溶存する気体の濃度を変化させて、液体に超音波を照射したときに生じる発光の強度がピークを示す当該気体の濃度を基準濃度として予め決定する工程（Ｓ１０）を実施する。次に、液体中の気体の濃度を変化させながら液体に超音波を照射することにより、発光の強度がピークを示すときに、校正する対象である測定装置により洗浄液中の窒素の濃度を測定して、当該窒素の濃度の測定値を決定する工程（Ｓ２０）を実施する。測定値と基準濃度とに基づいて、校正する対象である測定装置を校正する工程（Ｓ３０）を実施する。 （もっと読む）

【課題】使用開始時から安定した測定が行える針型センサ３０を提供する。
【解決手段】針型センサ３０は、針本体部３３と、針本体部３３の基端側に設けられたコネクタ部３５と、針本体部３３の先端側に配設され、アナライト濃度を測定する、最外層が遮光層１８であるセンサ部１０と、を有し、遮光層１８が、その周囲の表面の少なくとも一部より凸となっている。 （もっと読む）

【課題】扱いが容易で、センサー物質の濃度や測定光学系に影響することなく、高感度、高精度、簡便に酸素濃度を測定することのできる酸素センサーを提供すること。
【解決手段】支持体および検出層を含む酸素センサーであって、該検出層が、蛍光化合物、りん光化合物およびポリマーを含む酸素センサー。 （もっと読む）

【課題】銑鉄中の硫黄濃度を精度高く、且つ、容易に定量分析すること。
【解決手段】始めに、銑鉄試料６および助燃剤７を磁製ルツボ２１に投入する。次に、加熱炉２内に純酸素ガスを連続的に供給すると共に、コイル２２に交流電流を印加することによって純酸素ガス雰囲気下で銑鉄試料６を燃焼させる。次に、銑鉄試料６の燃焼によって生成された二酸化硫黄を含む分析ガス中のダストおよび水分をそれぞれダストフィルタ３および脱水器４で除去した後に紫外蛍光式ＳＯ_２分析計５に分析ガスを供給することによって蛍光強度値を測定する。そして、最後に、図示しないコンピュータが、予め作成した検量線を用いて測定された蛍光強度値から銑鉄試料６中の硫黄濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 高速撮影カメラの絞り値Ｆや露光時間Ｔや励起光の強度Ｉ等を容易に調整することができる酸素濃度計測装置を提供する。
【解決手段】 酸素消光性を有する蛍光塗料が塗布された測定対象領域に、励起光を照射する光源１５を有する光照射部１０と、測定対象領域に塗布された蛍光塗料面の蛍光強度分布を撮影する撮像装置２１を有する撮像部２０と、蛍光強度分布に基づいて、測定対象領域の酸素濃度分布を計測する制御部４０とを備え、撮像装置２１の絞り値Ｆ及び撮像装置２１の露光時間Ｔを調整することが可能な酸素濃度計測装置１であって、入力操作が行われる入力装置４３と、制御部４０は、入力装置４３で入力された焦点深度ｄ及び測定時間間隔ｔに基づいて、撮像装置２１の絞り値Ｆと撮像装置２１の露光時間Ｔの設定に加え励起光の強度Ｉも設定するようにする。 （もっと読む）

【課題】基板抵抗にかかわらずシリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および面内分布を高精度に評価するための手段を提供すること。
【解決手段】評価対象シリコンウェーハに対して該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第一の面内分布情報を取得すること、上記第一の面内分布情報取得後の評価対象シリコンウェーハに対して熱酸化処理を施した後、該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第二の面内分布情報を取得すること、第一の面内分布情報と、第二の面内分布情報に１未満の補正係数による補正を加えて得られた第三の面内分布情報との差分情報を得ること、および、得られた差分情報に基づき、評価対象シリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および酸素析出物の面内分布からなる群から選ばれる評価項目の評価を行うこと、を含むシリコンウェーハの評価方法。 （もっと読む）

【課題】エンジンの制御装置において、使用する燃料由来の排ガスの性状をオンラインで検出して不具合の発生を未然に防止する。
【解決手段】第１燃料タンクから供給された燃料Ｆを用いてエンジンを駆動させた際に発生する排ガス２０１の一部を分取し、排ガス２０１中にレーザ光１１Ｂを照射することにより発生する第１のラマン散乱光１５Ａにより、排ガス中の粒子状物質や炭化水素を計測するレーザ分析装置１０Ａを設け、レーザ分析装置１０Ａでの分析の結果、排ガス成分の結果より、燃料の良否を燃料判定手段４１により判定し、燃料判定手段５１の判定結果に基づいて前記エンジンを制御装置４２により制御する。 （もっと読む）

【課題】燃焼状態の良否を判定して安定燃焼を継続するガスエンジンシステムを提供する。
【解決手段】ガスエンジン１００の主燃焼室と副室とに燃料ガス１１を供給する燃料ガス供給管１２と、前記燃料ガス供給管１２中の燃料ガス１１にレーザ光を照射して前記燃料ガス１１のガス組成を分析するレーザ分析装置１４と、前記レーザ分析装置１４での分析の結果、燃焼組成に応じて燃焼の良否を判定する燃焼判定手段２０とを具備し、前記燃焼判定手段２０の判定結果に基づいて前記ガスエンジン１００の運転状態を制御手段２５により制御する。 （もっと読む）

【課題】スパーク放電式発光分光分析方法を用い、鋼材中に分散しているアルミナ介在物の粒径分布を従来よりも簡便に測定する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気中で、金属試料と対電極との間で多数回のスパーク放電を起こして発光を分光測定し、放電ごとにO、Al、Feの固有スペクトル線の発光強度を測定して、O/Fe、Al/Fe発光強度比を計算し、O/Fe発光強度比の統計値である標準偏差（σ）および全放電のAl/Fe発光強度比の中央値を求め、O/Fe発光強度比の3σ以上の放電であって、かつ、Al/Fe発光強度比から全放電のAl/Fe発光強度比の中央値を引いた値が正になる放電をアルミナに起因する放電とみなして、前記Al/Fe発光強度比からAl/Fe発光強度比の中央値を引いた値によりアルミナ介在物の粒径を求め、金属試料中に存在するアルミナ介在物の粒径分布を得ることを特徴とする金属中のアルミナ介在物の粒径分布測定方法。 （もっと読む）

【課題】湿度に対する交差感度を低減させた光学的光ルミネセンス酸素プローブを提供する。
【解決手段】湿度に対する交差感度が低減された酸素感受性ルミネセンス要素、及びそれによって構成されたプローブ、並びに、閉空間内の酸素濃度を測定するためのルミネセンス要素及びプローブを製造し利用する方法が提供される。ルミネセンス要素は、酸素感受性光ルミネセンス色素を有するガラスファイバキャリアを含む。色素は、酸素透過性の疎水性ポリマーマトリックス内に組み込まれるのが好ましい。プローブはルミネセンス要素から成り、ルミネセンス要素は構造的サポート層上に積層される。 （もっと読む）

【課題】光ルミネセンス酸素プローブを読み取る分析機器を正確かつ確実に校正するための校正カードおよびその校正カードの使用方法を提供する。
【解決手段】校正カードは、少なくとも（ａ）色素が周囲環境の酸素から隔離されるように密閉閉鎖されたスペース内に保持され、活性化金属空気電池と流体連通状態にある酸素感応性光ルミネセンス色素の第一集合体であって、密閉閉鎖されたスペース中に浸透する酸素が電池により急速に消費される第一集合体と、（ｂ）周囲の環境と流体連通状態にある酸素感応性光ルミネセンス色素の第二集合体であって、その光ルミネセンス色素の第二集合体が環境濃度の酸素に曝露される第二集合体と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検出精度の高い蛍光センサ１０の補正方法を提供する。
【解決手段】実施形態の蛍光センサの補正方法は、励起光Ｅを発生するＬＥＤ素子１２と、蛍光Ｆを発生するインジケータ層１６と、蛍光Ｆに起因する蛍光検出信号に励起光Ｅに起因する励起光検出信号が重畳された検出信号を出力するＰＤ素子１３と、を具備し、温度検出機能および温度調整機能を有する蛍光センサ１０を用いて、第１の温度において第１の検出信号を取得する第１の検出信号取得工程と、第２の温度において第１の検出信号取得工程と同じアナライト量のときの第２の検出信号を取得する第２の検出信号取得工程と、第１の検出信号と第２の検出信号とにもとづいて、蛍光検出信号を算出するための補正係数を算出する補正係数算出工程と、補正係数と温度検出信号とを用いて以降の検出信号を補正する補正工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】検出される信号のＳＮ比を改善するように、（発光分光分析で）輝線の強度を、及び／又は（質量分析で）イオン化収量を増しながら、エッチング速度を高めると同時にエッチングの均質性を増すことが可能な、放電発光分光分析による有機（層）またはポリマー（層）を含む固体試料の分析方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの有機材料層を含む固体試料の放電発光分光分析による測定方法に関し、放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、放電発光ランプに、少なくとも１つの希ガスと酸素とを含む混合気を投入し、酸素の濃度が混合気の１質量％〜１０質量％であるステップと、前記放電発光ランプの電極に無線周波数の放電を行って放電発光プラズマを発生するステップと、前記有機材料層を前記プラズマで照射するステップと、前記プラズマのイオン種及び／又は励起種を示す少なくとも１つの信号を分光分析により測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】安価且つ小型の蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】蛍光検出装置１０は、被検出物５２に対して励起光を照射する照射部と、被検出物５２が発生した蛍光を受光する受光部１６とを備える。励起光を照射する照射部は、励起光を発光する励起用ＬＥＤ１２と、励起光の強度をモニタするモニタＰＤ１５と、モニタＰＤ１５の出力を基に、励起光の強度が一定となるように励起用ＬＥＤ１２をフィードバック制御する制御部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】非接触型で、多種類のガスの濃度をほぼリアルタイムで測定することができる光学式ガスセンサの提供。
【解決手段】測定対象ガスが導入されるガスセルと、ガスセルにレーザー光を照射するレーザー装置と、ガスセルからのラマン散乱光を反射する反射機構と、反射機構により反射された前方および後方ラマン散乱光を集光するための波長選択フィルターを有する受光機構と、前方および／または後方ラマン散乱光に基づき測定対象ガスの濃度を算出する演算部と、を備えたガスセンサであって、検出対象となる一のガスの種別に応じた波長選択フィルターを選択可能に構成されたガスセンサ及びその方法。 （もっと読む）

【課題】照射と同時に発光が計測できるようにしてリアルタイムで計測が可能であり、かつ廃棄物が計測の過程で発生しないようにする。
【解決手段】検査対象である金属表面６にパルス状のレーザー光１１を照射して付着物質をアブレーションし、その後アブレーションによりプラズマ化された物質からの発光１３を計測し、分光することにより、金属表面に付着する微量成分の特定と濃度を求めるようにしている。この計測方法は、狭隘な空間に面している金属表面に付着している微量成分の濃度を計測する場合には、狭隘な空間の外にレーザーと少なくとも分光器を含む濃度計測装置本体を配置し、狭隘な空間に金属表面に沿って挿入される光伝送部を介して金属表面にレーザー光を照射して付着物質をアブレーションすると共にプラズマ化し、プラズマ化された物質からの発光を光伝送部を介して狭隘な空間の外の分光手段に導いて分光すると共に受光素子で発光スペクトルを得るようにしている。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガス中の粒子状物質の計測が可能となるガス中の粒子状物質濃度計測方法及び粒子状物質濃度計測装置を提供する。
【解決手段】粒子状物質濃度計測装置を備えたエンジンシステム２００Ａは、ディーゼルエンジン１００と、前記ディーゼルエンジン１００からの排ガス２０１を排出する排気管２０２と、前記排気管２０２中の排ガス２０１の粒子状物質（粒子状物質（ＰＭ）等）の濃度を計測する粒子状物質濃度計測装置（以下、「濃度計測装置」という）１０とを具備し、ディーゼルエンジン運転中において、常に正確な微粒子状物質の濃度を計測することで、燃料噴射圧、過給圧の変化に応じて、実際にどれくらいの微粒子状物資（ＰＭ）が排出されたかどうかの確認をオンラインで行うことができる。 （もっと読む）

【課題】励起光強度や蛍光物質の濃度、及び周辺環境に影響されることなく、高精度に被測定物質の酸素濃度測定を可能にする。
【解決手段】生体物質中に含まれる４．８ナノ秒以上の蛍光寿命Ｔｆを有する蛍光物質を励起可能な波長を含むパルス励起光Ｌ１を発生させ、パルス励起光Ｌ１を生体物質の所定の位置に照射し、該照射により励起された蛍光物質から生じる蛍光Ｌｆを含む光Ｌ３を受光し、蛍光Ｌｆの強度を時間分解して蛍光Ｌｆの蛍光寿命Ｔｆを算出し、蛍光寿命Ｔｆから生体物質の酸素濃度を測定する。 （もっと読む）