【課題】ホルムアルデヒドガスよりアセトアルデヒドガスを優先的に検知する特性を有するガスセンサ材料、該材料を製造する方法及び該材料を含むガスセンサ等を提供する。
【解決手段】層状構造を持つ無機化合物の層間に、ポリナフチルアミン又はその誘導体、或いは、ポリアミノアントラセン又はその誘導体を主成分とする有機高分子を挿入することによって、その化学センサ特性としてホルムアルデヒドガスよりアセトアルデヒドガスを優先的に検知する特性を有する有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料、導電性有機無機ハイブリッド材料、それらの製造方法、導電性部材及び化学センサ部材。
【効果】該ガスセンサ材料と、従来のアセトアルデヒドよりホルムアルデヒドを優先的に検知するガスセンサ材料を同時利用することで、ホルムアルデヒドとアセトアルデヒドのそれぞれの濃度を判定することが可能な化学センサデバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】従来のヒーターでガス感応膜を高温に保持しガス濃度検出を行うダイヤフラム構造ガスセンサにはヒーター温度を測定する機構が設けられておらず、ヒーター抵抗値が一定範囲内に収まるように、ヒーター構成材料膜厚及びヒーターパターン幅を高精度で作製し、一定電力をヒーターに供給する手法で温度一定化を図っていた。このため、ヒーターパターン形成工程要求精度高であり、作製困難であった。
【解決手段】二種の物質で構成された熱電対の温接点をダイヤフラム上のヒーター近傍に形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成したヒーター温度を測定するサーモパイルを設ける。
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【課題】センサ出力の温度依存性を簡便に低減し得る抵抗型酸素センサを提供する。
【解決手段】本発明による抵抗型酸素センサは、雰囲気ガス中の酸素分圧に応じて抵抗率が変化する酸素濃度検出部１を備えた抵抗型酸素センサであって、それぞれが酸素濃度検出部１に電気的に直列に接続され得る複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃと、酸素濃度検出部１の温度に応じて、酸素濃度検出部１と複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃとの電気的な接続関係を制御する制御部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】感応層と電極との接合強度を高めるようにしたガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサのセンサ素子１は、絶縁基板１０と、この絶縁基板１０上に設けた接着層２０と、この接着層２０上に設けた一対の櫛歯状電極３０、４０と、この一対の櫛歯状電極３０、４０を介し接着層２０上に設けた感応層５０とを備えている。ここで、一対の櫛歯状電極３０、４０は、所定量のウイスカーを含有する電極材料でもって作製され、感応層５０は、所定量のウイスカーを含有する感応材料でもって作製されている。従って、ウイスカーによるアンカー効果が一対の櫛歯状電極３０、４０と感応層５０との間に発揮される。 （もっと読む）

【課題】新規な構成にて水の付着を高感度に検出することができるセンサを提供する。
【解決手段】基板（シリコン基板１、絶縁膜２）の上において、電極材１０，１１を保護膜１２により被覆して構成した一対の電極２０，２１が、当該電極２０，２１が大気に晒される状態で配置され、被水による水の付着に伴う一対の電極２０，２１間の容量の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物半導体としてのＳｎＯ₂を主成分とし、さらに、少なくともＶ₂Ｏ₅と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・チタン合金薄膜からなる水素センサ材料、該材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
【解決手段】マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ材料であって、マグネシウム・チタン合金薄膜の組成が、ＭｇＴｉ_ｘ（０．１＜ｘ＜０．５）であり、上記薄膜の上に、触媒層が形成されているが、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、２０℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する、ことからなる水素センサ材料、上記水素センサ材料からなる水素センサ及び該水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法。
【効果】低温作動型の水素センサを提供できる。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・ニオブ合金薄膜からなる水素センサ材料、該材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
【解決手段】マグネシウム・ニオブ合金薄膜を用いた水素センサ材料であって、マグネシウム・ニオブ合金薄膜の組成が、ＭｇＮｂ_ｘ（０．１＜ｘ＜０．５）であり、上記薄膜の上に、触媒層が形成されているか、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、２０℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する、ことからなる水素センサ材料、上記水素センサ材料からなる水素センサ及び該水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法。
【効果】低温作動型の水素センサを提供できる。 （もっと読む）

【課題】複数の特定ガス成分のうち、ある一つの特定ガス成分を他の特定ガス成分より優先的に検出可能なガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、環境気体中の複数の特定ガス成分の濃度変化を検出する第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂと、内部に第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを収容し、ガス導入口９１が形成されたケース９０と、ガス導入口９１を閉塞するフィルタ膜８０とを備える。
複数の特定ガス成分のうち他に対して検出優先度が求められる特定ガス成分を第１ガス成分とし、第１ガス成分に対応した感ガス膜を第１感ガス膜１１ｂとし、環境気体がガス導入口９１の重心Ｃ０を通過してから各第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂに達するまでの距離を通気最短距離Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３としたとき、通気最短距離Ｄ１は、通気最短距離Ｄ２、Ｄ３よりも短い関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】 常温で動作する金属酸化物半導体ガスセンサーを提供する。
【解決手段】 平板状のセンサー基板１と、該センサー基板１上に形成される電極２，２と、該電極２，２上に形成される、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層３と、を備えるガスセンサーである。酸化テルルナノワイヤーは、金属テルルおよび生成基板を同時に加熱し、生成基板上に成長させる。ナノワイヤーを水またはアルコールに投入して懸濁液を生成し、この懸濁液を、電極を形成したセンサー基板上に滴下して乾燥させることで、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層を備えるガスセンサーが得られる。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物としてＳｎＯ₂とＩｎ₂Ｏ₃の少なくとも２種と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存しても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に確保するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１１０、一対の櫛歯状電極１２０、１３０及び感応層１４０からなるセンサ素子１００を備えている。このセンサ素子１００において、一対の櫛歯状電極１２０、１３０は、母材である金（Ａｕ）及びこの金に添加されたある種の添加材を主成分とする電極材料でもって形成されている。ここで、上記ある種の添加材としては、アルカリ土類金属酸化物、ＲＯ系ガラス或いはＰｂＯ系ガラスが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】高濃度雰囲気中で安定に動作する水素センサーを提供する。
【解決手段】基板２と、該基板２上に形成された希土類金属膜３と、該希土類金属膜３上に形成された保護膜５であって前記保護５膜はセラミックス材料１５中に水素透過性金属粒子１３を分散してなる保護膜５と、前記保護膜上に形成された一対の電極膜と前記保護膜５及び電極膜上に形成された撥水膜４とを有することを特徴とする水素センサー。
希土類金属膜３の厚さが５〜１０００ｎｍであり、保護膜５の厚さが５〜４０ｎｍであり、撥水膜４の厚さが０．０１〜１．５μｍであり、電極膜１６a、１６bの厚さが５〜１０００ｎｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】定電圧源の不安定性や周囲温度の変動等により影響を受けずに、高精度にガスを検出する。
【解決手段】第１のガス検出装置は、ガス検出部と基準信号出力部と差分検出部と加熱制御部とを備える。ガス検出部は、第１の半導体式ガスセンサと、第１の半導体式ガスセンサに電流を流す第１の定電圧電源と、加熱信号を入力して第１の半導体式ガスセンサを加熱する第１の加熱部と、第１の加熱部の温度を検出する第１の温度センサとを有する。基準信号出力部は、基準信号を出力する。差分検出部は、第１の半導体式ガスセンサを流れる電流値を表す感応信号と基準信号との差を検出する。加熱制御部は、差分検出部で差が検出されると第１の加熱部の発熱量を大きくするように加熱信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】センサ／センサアレイを組み立てた後で化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変えるための方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変える方法と、このような方法により製造されるセンサおよびセンサアレイに関する。化学レジスタセンサは、電気的に非導電性のマトリックス中に埋め込まれた複数の導電性粒子又は半導体性粒子を有する感知層を含み、感知層が複数の被酸化性化学官能基を含んでおり、この方法は、上記感知層を酸化反応させる段階を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、路面の変化に左右されることなく、正確、且つ取り扱いが容易な自動車の故障回避装置の提供。
【解決手段】自動車（１）の故障の予兆として発生する気体状物質及び当該気体状物質の濃度を検出するセンサ（３、９）と、警報手段（４）と、制御手段（１０、１０Ｂ）とを有し、該制御手段（１０、１０Ｂ）は、前記センサ（３、９）の検出結果と閾値とを比較して、当該気体状物質濃度が閾値以上である場合には警報を発し、自動車を減速、停止させるべく制御を行う様に構成されている。 （もっと読む）

【課題】素子形状等による感度及びガス検知の応答性への影響を抑制するセンサ装置を提供する。
【解決手段】素子３００をケース２００内に収容して備え特定ガスを検出する装置１００であって、ケース２００は素子３００を収容している凹形状をなす収容部２１１を有するケース本体部２１０と、天板２２１を有すると共に本体部２１０に装着されて収容部を閉塞している内蓋部２２０と、内蓋部２２０を覆って内蓋部の天板の外表面との間に対象ガスを導く間隙を形成している外蓋部２３０とを備え、内蓋部２２０の天板２２１は、収容部２２１内に収容された素子３００に向かって突出して形成されると共に素子３００に近い側の端部に測定対象ガスを導くガス流通口を形成してなる筒状部２２２を備え、その端部に、ガス流通口を閉塞する形態でフィルタ２２４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスである酸化性ガスのＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着させることができるようにして、センサの感度や応答特性の低下を防止し、センサ性能の長期安定を図る。
【解決手段】 ケース２０の内部に、酸化性ガスに感応するガスセンサ素子５０を収容し、ケース２０には同ガスが同センサ素子５０に接触可能のガス導入口２３がある。同ガスを同センサ素子５０に接触させてその濃度を検出する構成のガスセンサ１で、被測定ガスが、ガス吸着フィルタ７１を通過して同センサ素子５０に接触する構成のガスセンサで、ガス吸着フィルタ７１に、挟雑ガス吸着剤として、ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるものを用いた。ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるガス吸着フィルタ７１は、ＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着、除去するから、酸化性ガスの検知感度がよくなる。 （もっと読む）

【課題】測定ガス中に共存する他のガスの影響を受けることなく、窒素酸化物の濃度を測定する方法を提供する。
【解決手段】窒素酸化物およびアンモニアを含む混合ガス中の前記窒素酸化物の濃度を測定する方法である。窒素酸化物およびアンモニアを含む前記混合ガスに基づく電気信号を測定して第１のシグナルを得る工程と、前記混合ガスを金属材料に接触させて、前記窒素酸化物の少なくとも一部をアンモニアに転化する転化工程と、前記窒素酸化物が転化されてなるアンモニアを含む混合ガスに基づく電気信号を測定して第２のシグナルを得る工程と、前記第１のシグナルおよび前記第２のシグナルを用いて、前記混合ガス中の前記窒素酸化物の濃度を換算する工程とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）