【課題】より簡素な構成で雰囲気の相対湿度を検出することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】当該湿度センサ１は、水分を吸着することによって静電容量が変化する感湿膜２３及び該感湿膜２３に覆われてその静電容量の変化を検出するための櫛歯電極２２ａ及び２２ｂを有する感湿部２４と、該感湿部２４の出力信号を処理する回路素子部２５と、ボンディングワイヤ３１と電気的に接続されることで回路素子部２５の出力信号を当該湿度センサ１外に出力するためのパッド２６とを同一の半導体基板２１に備えている。パッド２６は、そのボンディングワイヤ３１との接続部分が、パッド保護膜２７によって覆われて保護されており、パッド保護膜２７は、感湿膜２３の形成材料と同一の材料を用いて感湿膜２３と一体に形成されている。これら感湿膜２３及びパッド保護膜２７によって、半導体基板２１の全上表面が覆われている。 （もっと読む）

【課題】油脂の種類によらず、油脂火災をその発生前に検知することが可能となる油脂火災防止用ガス検知器、並びに、油脂火災防止用ガス検知方法を提供する。
【解決手段】炭素数２〜８のアルカンのうちの少なくとも１つのガス成分に感度を有するセンサ素子３と、そのセンサ素子３の出力情報に基づいて、油脂の温度を推定する油温推定手段１００とを備え、センサ素子３が、酸化物半導体であるタングステン酸化物を主成分として、Ｒｕを０．５％〜５．０％の範囲で含有する１層構造の感ガス体材料より構成される （もっと読む）

【課題】 特定のガス分子の高選択検出を行うことが可能であるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 そこで、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化物を含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内の表面の少なくとも一部が、有機物又は無機酸化物で被覆されているセンサを提供するものである。
また、本発明は、複数のメソ孔を有し、且つ酸化スズを含む半導体膜と、前記半導体膜と電気的に接続している電極とを備え、前記メソ孔内に無機物の粒子が担持されているセンサを提供するものである。 （もっと読む）

燃焼により放出されるガスのためのセンサであって、該センサは、吸着半導体を形成する１又はそれ以上の金属酸化物を含み、吸着されるガスによって電気抵抗が変化し、上記半導体は、触媒化学反応を伴わずにガスを直接吸着するための半導体であり、上記センサは、燃えさかる火災の場合には酸化窒素を検知するように配列され、及び／又はくすぶっている火災の場合には部分的未燃焼ガス、具体的にはアルコール、アルデヒド、ケトン、カルボン酸又はアミンを検知するように構成される。 （もっと読む）

水素に対する感度を高め、干渉ガスに対する交差感度を減少させ、またはセンサの動作温度を低下させるために、添加物を含有したまたはしていない、酸化セリウムをベースにした水素感応性複合検出材料、並びに、支持体、該支持体に付された電極、および電極表面に付された水素感応性複合材料のコーティングを含む、これらの水素感応性複合材料を組み込んだデバイス。該センサは一体型ヒータを有してもよい。該センサは、ヒータが管内に挿入された、管形状を有してもよい。ガスセンサデバイスは、支持体と、該支持体に付された電極と、基準抵抗に及ぼす望ましくない作用、例えば雰囲気温度変化によるものを排除するためのデュアルセンサ素子とを含んでよい。水素感応性複合材料または他のガス感応性材料がデュアル素子ガスセンサデバイスに用いられる。
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【課題】 本発明は、高温、高湿、還元雰囲気においても安定して測定可能な被検ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘガス）を検知する検知器において、この機器に用いられるＮＯｘガス検知素子を提供する。
【解決手段】 膜状の検知部を有する窒素酸化物検知素子であって、金属酸化物からなる膜状検知部と必要に応じて絶縁膜が基板上に設けられ、該膜状検知部の表面にらせん形電極を設けた抵抗変化型ＮＯｘガスセンサー素子であって、該膜状検知部の表面に設けたらせん形電極がＰｔ，Ｐｄ，Ａｕ，Ｎｉからなる成分の少なくともいずれか一つあるいはそれらの混合成分から構成されることを特徴とする窒素酸化物検知素子 （もっと読む）

【課題】非水素成分による有害な影響や水素による劣化を抑制でき、更に、高感度で水素ガスを検出できる水素センサーを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板４と、該セラミックス基板４上に順次形成される下層セラミックス保護膜６及び上層セラミックス保護膜８と、前記上層セラミックス保護膜８及び下層セラミックス保護膜６の間に埋設される水素検知膜１０と、前記上層セラミックス保護膜８の表面であって前記水素検知膜８の両縁部近傍に形成される一対の電極２０ａ、２０bとからなる水素センサー２であって、少なくとも前記上層セラミックス保護膜８がセラミックス材料１６、１８中に水素透過性金属粒子１２、１４を分散させてなる複合材料保護膜で形成されてなる水素センサーとする。 （もっと読む）

【課題】熱ストレスによる割れが生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】基板と、該基板上に形成された希土類金属からなる検知膜と、該検知膜上に形成された保護膜であって前記保護膜はセラミックス材料中に水素透過性金属粒子を分散してなる保護膜と、該保護膜上に離間して形成され該保護膜を介して検知膜と電気的に接続される一対の電極と、を有する水素センサ。前記水素透過性金属粒子は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｂ、Ｖ、Ｔａであり、その好ましい含有量は２０〜７０質量％である。保護膜の電極間方向の抵抗値は１０〜１０００００Ω、検知膜の電極間方向の抵抗値は保護膜の電極間方向の抵抗値より小さい値であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】導電性高分子膜の導電性を低下させた新規な高分子膜およびこの高分子膜を用いた新規な環境成分評価センサを提供する。
【解決手段】高分子膜は、体積固有抵抗が１０^−３〜１０^５Ω・ｃｍの導電性高分子膜の少なくともその片面の一部または全部に、活性エネルギー線照射処理と化学処理との少なくともいずれか一方を施して処理部分の導電性を低下させた膜である。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体薄膜をガス感知膜として有するガスセンサであって、低濃度のＶＯＣ検出感度が高められたガスセンサを提供する。
【解決手段】絶縁基板上に一対の電極が形成されており、更に前記一対の電極を被覆するように前記絶縁基板上に形成された酸化物半導体薄膜を有するガスセンサであって、前記薄膜はディスク状の酸化タングステン粒子（好適には直径が１００〜３００ｎｍであり厚さが２０〜７０ｎｍである）を含有することを特徴とするガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、金属並の電気抵抗率を有し、かつ、熱伝導率が低い酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を提供し、さらにはこの酸化物を利用して、感度の良い抵抗型酸素センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物は、斜方晶系構造のＸ線回折パターンを有するＣａＲｕＯ_３相を含み、数１で示されるＲｕとＣａとの原子数比Ｒが０．５以上１．４以下である。この酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を酸素濃度検出部とすれば抵抗型酸素センサを作製することができる。
（数１）Ｒ＝Ｒｕ／Ｃａ （もっと読む）

【課題】煙草分子のような極小の分子が多く浮遊している雰囲気であれ、高い信頼性をもってその相対湿度を検出することのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）からなる光触媒が多孔質フィルタに吹き付けられてコーティングされている光触媒フィルタ４０を、ケース開口部１１ａに、該ケース開口部１１ａを覆う状態で備えている。また、湿度検出素子２０を内部に収容するケース１１は、ケース開口部１１ａの周縁に凹部１２が形成されており、光触媒フィルタ４０は、ケース１１の凹部１２に対応した凸部４２を有する枠部材４１を有している。光触媒フィルタ４０は、枠部材４１の凸部４２がケース１１の凹部１２に圧入嵌合されることで、ケース１１に固定されている。 （もっと読む）

【課題】検知時の応答時間及び検知後の回復時間が短縮されたセンサ製造方法及びガス検知用センサを提供する。
【解決手段】素子基板上にゾル層を形成し、ゾル中のコロイド微粒子を焼結して微粒子が焼結された検知膜を形成するセンサ製造方法において、例えば、ＺｎＳｂ_２Ｏ_６ ゾルに界面活性剤を加え、得られた混合液中の界面活性剤濃度がＣＭＣ比６〜２０倍となるようにし、上記混合液層を素子基板上に形成した後、該液層中のコロイド微粒子を焼結することを特徴とする、例えば、焼結ＺｎＳｂ_２Ｏ_６を検知膜とするセンサ製造方法および同センサ。 （もっと読む）

【課題】体格の小型化を図ることのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】同一平面に離間して対向配置された一対の電極２２ａ及び２２ｂ並びにこれら一対の電極間を覆う感湿膜２３を有する湿度検出部２４と、該湿度検出部２４の出力信号を処理する回路部２５と、これら湿度検出部２４と回路部２５との間に形成されるダム部材２６と、を同一基板２１上に有する湿度検出素子２０と、ボンディングワイヤ３１を介して回路部２５に電気的に接続され、回路部２５及びボンディングワイヤ３１とともに保護ゲル３２に覆われるリード端子３０と、をケース１０内部に備える。そして、ケース１０内側壁とダム部材２６側壁との間隙に、ケース１０内側壁からダム部材２６の側壁２７に向かって突出し、かつ、ダム部材２６よりも高い壁１１を形成する。 （もっと読む）

本発明は、一般に電子デバイスおよび方法に関する。ある場合において、本発明は導電性ポリマー材料（７０）で覆われた、櫛型微小電極（６０）の一対を備えるセンサデバイスを提供する。櫛型微小電極（６０）は、第１電極（２２）、第２電極（４０）、および疎水性の壁（５０）で囲まれることができる。ある実施形態において、第１電極（２２）と第２電極（４０）とは相補的形状を有する。例えば、ある場合には、第１電極（２２）および第２電極（４０）はそれぞれ実質的に環状構造である。
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【課題】簡易で高精度に複数からの水素ガスの漏洩箇所を発見することのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】水素ガスを検知すると電気抵抗が変化する水素ガス検知センサであって、帯状の絶縁性の基材面端部の長手方向の長辺部に形成される共通電極と、共通電極２と一端が接続され所定の間隔で直線状に配置される所定の小領域の検知膜からなるセンサセル３と、共通電極２と対をなしてセンサセル他端部に形成される検出電極４とを有し、共通電極２にバイアス電圧を印加し、共通電極２とセンサセル３の検出電極４との間の抵抗値変化を検知して該抵抗値変化が検出されるセンサセル３の位置に基づいて水素ガス検知位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡便であり、迅速かつ安価に環境評価を行うことができる環境測定素子および環境測定方法を提供する。
【解決手段】環境測定素子は、基板１、基板１表面に形成された導電体薄膜６、導電体薄膜６に電気接続し、該電気接続の位置が基板１表面上において同一線上にない３つの電圧印加用電極２，３，４を有する。そして、導電体薄膜６の基板１表面上における所定位置の電位を計測する複数の電位計測用電極５を備える。導電体薄膜６は、ガスの種類に応じて反応性が異なる３種類以上の金属を含み、基板１表面上において連続的にその組成が面方向に変化している。このような環境測定素子を環境ガス雰囲気に曝露しその抵抗の変化から、環境に含まれるガス成分の種類あるいはその濃度を判定する。 （もっと読む）

【課題】簡易で高精度に水素ガスの検知位置を検出でき、ガスの漏洩箇所を発見することのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】ガスを検知すると抵抗変化するガス検知センサであって、略帯状に形成された検知膜５と、検知膜５の長手方向の面に接合して積層される抵抗層４と、検知膜５の長手方向の面に接合し、且つ抵抗層４と接合しない側に形成し所定のバイアス電圧を印加するための第１の電極１と、検知膜５と接合しない側の抵抗層４上の長手方向の両端に形成する第２と第３の電極と、を備え、検知膜５のガス検知位置を、抵抗層４を介して第１の電極１と第２及び第３の電極間の導電特性を測定して算出する。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で、高導電性で、より大きな温度安定性及び化学検体に対する感度を有する頑丈なセンサ薄膜組成物と、これらのセンサ薄膜の製造方法の提供。
【解決手段】ポリマー吸収ケミレジスタ（即ち導電性センサ）のようなセンサ内の化学検体を検出するために使用されるセンサ薄膜の組成に関する。センサ薄膜組成物はシロキサンを含むポリマー樹脂と、少なくとも２つの異なる種を含む複数の導電性粒子を有するマトリックスを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】特定の取付穴に取り付け可能で、かつ、応答性を高くできるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガスセンサ１００は、感ガス膜１１１を有するガスセンサ素子１１０と、ガスセンサ素子１１０を支持するセンサ支持体１２０と、これらを収容するケース１５０と、ケース１５０に設けられたガス導入口１５１を閉塞するフィルタ膜１６０とを備える。また、ガスセンサ１００は、外部の取付穴ＴＴＣに取り付けられるセンサ取付部１８０であって、環境気体を導入するための開口部１８１を有するセンサ取付部１８０を備える。更に、ガスセンサ１００は、このセンサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備える。 （もっと読む）