【課題】化学センサを具備する半導体装置の製造コストを低減し、あるいは、複数の測定原理によって精度の高い検出をする。
【解決手段】半導体装置は、第１のセンサ素子及び第２のセンサ素子を具備し、第１のセンサ素子は、第１の導電層と、第１の導電層上に形成された第１の感応膜とを有し、第２のセンサ素子は、第１の導電層とは異なる第２の導電層と、第２の導電層上に形成された第２の感応膜とを有する。センサ素子の製造方法は、センサ素子のうち導電層を半導体基板に又は半導体基板上に形成する工程（ａ）と、感応膜を構成する成分を含む液体を導電層上にインクジェット装置によって吐出して、感応膜を形成する工程（ｂ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】複数のニオイ成分をニオイ成分の沸点が上昇する順にリアルタイムに測定し分析することが可能なニオイ分析装置を提供する
【解決手段】試料セル１６と、試料セル１６に収納された試料の温度を制御する試料温度制御部１３と、試料から発生する複数のニオイ成分を蓄えて保温する保温容器１２と、複数のニオイ成分の揮散を幇助する揮散幇助ガスを供給するガス供給ユニット１４と、複数のニオイ成分を検知するニオイセンサ１１１a，１１１b，・・・１１１eとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて電気絶縁層と感知層との応力変化による影響を回避し、マイクロクラックの発生を抑止するようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層１４と感知層１５ｂとの間に歪超格子と同様に機能する中間バッファ層１６を設け、この中間バッファ層１６により熱衝撃に起因する電気絶縁層１４とガス感知層１５ｂとの応力変化を吸収し、その結果マイクロクラックの発生を抑止するような薄膜ガスセンサ１とした。 （もっと読む）

【課題】低い濃度レベルでもＮＯxガスの定量的評価が可能であり、長い耐用年数を有するガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ガスセンサー（１００）は、ドープ酸素欠陥酸化タングステン並びにＲｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｖ、Ｗ及びこれらの組合せからなる群から選択されるドーパントを含むガス感知層（１１８）、チタン層（１１４）内に位置する１以上の電極（１１２）、並びに応答調節層（１１６）を備える。１以上の電極（１１２）はガス感知層（１１８）と連通しており、ガス感知層（１１８）はＮＯ、ＮＯ₂、ＳＯ_x、Ｏ₂、Ｈ₂Ｏ及びＮＨ₃からなる群から選択される１種以上のガスを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】センサは、ＭがＷ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｓｒ、Ｍｏ及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも１種類の化学元素であり、且つα、β、γが自己無撞着であるとして、一般的化学式ＭαＯβＮγを持つ少なくとも１種類の化合物を含むガス検知層であって、ＮＯ、ＮＯ_２ 、ＳＯ_２ 、Ｏ_２ 、Ｈ_２ Ｏ、ＣＯ、Ｈ_２ 及びＮＨ_３ より成る群から選択された少なくとも１種類のガスを検出することのできるガス検知層と、Ｔｉ、Ｃｒ及びそれらの組合せより成る群から選択された材料を含む接着層の中に配置された少なくとも１つの電極と、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｐｔ及びそれらの組合せより成る群から選択された材料を含む応答修正層とを含む。少なくとも１つの電極はガス検知層と連通状態にある。 （もっと読む）

本発明は、上／下／左／右の４面において、バイオ感知が可能なバイオセンサ及びその製造方法と、このようなバイオセンサが複数に層状で配列されたバイオ感知装置が開示される。具体的に、本発明に係るバイオセンサは、バイオ物質を含む流体が流れる流体通路が形成された支持手段と、該支持手段に形成された前記流体通路において、３次元的に露出するよう前記支持手段の上部に配置され、前記流体通路を介して流入する前記バイオ物質と反応する反応物質が表面処理された感知手段とを備える。また、本発明に係るバイオ感知装置は、複数のバイオセンサを流体通路の方向に配列し、各々のバイオセンサは、相異なる反応物質を利用した化学的な表面処理を介して相異なるバイオ物質を吸着する。このようなバイオセンサ及び感知装置を介して高いバイオ物質に対する高い感知度及び選択性を獲得することができる。
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【課題】 センシング電極部や基板接続用の接続用電極といった電極部が、測定環境下に露出するのを防止し、かつ感湿部の開口度をあげることでセンサの応答性を高め、信頼性の高い湿度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップの一面3側はその全面を測定環境下にさらし、一面5側には半導体膜6を形成後、センシング電極7,8、および該センシング電極からの信号を処理するための信号処理回路部9が形成されている。配線部材11によりターミナル基板1を通し、外部と電気的に接続されている。センシング電極7,8および信号処理回路部9は耐湿性材料よりなる保護膜10により被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】センサー対数線及び安定性の問題により、金属酸化物類型のようなセンサーが拡がっていない点を改善する湿度センサーを提供する。
【解決手段】少なくとも二本の長方形電極は、各々基板上に形成され、各長方形電極には各第一端子及び第二端子がある。また、少なくとも一対の櫛形電極は、それぞれ少なくとも二つの長方形電極の一端と接触する。湿度センサー膜は、親水性のイオン性高分子化合物を具え、且つ少なくとも一対の櫛形電極上に形成する。製造方法に於いて、（ａ）少なくとも二つの長方形電極は各々第一端子及び第二端子を含む。（ｂ）この基板上には少なくとも一対の相互関係はあるが、相互に接触しない櫛形電極を形成し、且つその櫛形電極は基板上の二つの長方形電極の第一端子と接触する。（ｃ）この櫛形電極を湿度センサー材溶液中に浸し、湿度センサー膜を形成する。そのうち、湿度センサー材は親水性のイオン性高分子化合物を具える。 （もっと読む）

【課題】不良品率を低減しつつ、低濃度から高濃度までＣＯを高分解能で検知し、感度の長期安定性を向上させ、製造コストを抑制する。
【解決手段】薄膜状の支持膜１０ｃ，２０ｃと、その外周部またはその両端部を支持するＳｉ基板１０ａ，２０ａと、支持膜１０ｃ，２０ｃの上側に形成された薄膜ヒーター１０ｅ，２０ｅと、薄膜ヒーター１０ｅ，２０ｅを覆う電気絶縁膜１０ｆ，２０ｆと、ドーパントを含むＳｎＯ_２薄膜によって電気絶縁膜１０ｆ，２０ｆ上に形成されたガス感知膜１０ｇ，２０ｇと、ガス感知膜１０ｇ，２０ｇの抵抗を測定する電極１０ｈ，２０ｈと、選択燃焼層１０ｋ，２０ｋとを有する半導体式薄膜ガスセンサチップ１０，２０が複数設けられたガス警報器において、半導体式薄膜ガスセンサチップ１０と半導体式薄膜ガスセンサチップ２０とでガス感知膜１０ｇ，２０ｇの抵抗のガス依存性を異ならせた。 （もっと読む）

【目的】熱応力によってガス感知部や支持薄膜にクラックが発生しない薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【構成】少なくとも、中央に貫通孔有する基板１と、
この基板面上に形成され、少なくとも、薄膜ヒータ３と、薄膜ヒータ３を被覆する層間絶縁膜４と、その上に形成された金属電極５を有する酸化物半導体を主成分とするガス感知膜６からなる構成部品が、貫通孔１１を覆う部分に形成された支持薄膜とからなる薄膜ガスセンサにおいて、支持薄膜には、貫通孔の縁部に沿ってＣ字形のスリット２ｓを形成し、構成部品を有する部分の支持薄膜（センサ部２ｃという）をＣ字形の開口部に当たる支持薄膜（腕部２ｂ）によってのみ支持するようにする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にて電気絶縁層と感知層との応力変化による影響を回避し、マイクロクラックの発生を抑止するようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層１４と感知層１５ｂとの間に部分安定化ジルコニア薄膜中間層などの安定化層１６を設け、この安定化層１６の変形により電気絶縁層１４とガス感知層１５ｂとの応力変化を吸収するような薄膜ガスセンサ１とした。また、他にも電気絶縁層と感知層との間に設けられた安定化層を密着結合させることにより、電気絶縁層とガス感知層との応力変化を回避する薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、複数のガスに対するガス感知層を１チップ化することを目的とする。
【解決手段】 薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板１と、基板の上に設けられた支持層２と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター５と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層６と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第１および第２のガス感知層１０，２０であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第１および第２のガス感知層と、第１のガス感知層と電気的に接触して設けられた第１の電極対１５，１６と、第２のガス感知層と電気的に接触して設けられた第２の電極対２５，２６とを備えるセンサが提供される。 （もっと読む）

【課題】特定物質の濃度を高感度に検出する、単純な構造のバイオセンサーを提供する。
【解決手段】液体試料中の基質または金属イオンを検出するバイオセンサーであって、基板１１上に配置された一対の電極１２と、一対の電極１２間の基板１１上に複数の微粒子１３を配列形成してなる微粒子層１４と、微粒子層１４の表面に固定されるとともに基質に特異的に作用する酵素１５と、一対の電極１２に接続されるとともに、微粒子層１４の電気伝導度を測定する測定器２０とを備えたことを特徴とするバイオセンサー１である。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、電力対昇温効率の高い半導体式ガスセンサを提供すること。
【解決手段】半導体式ガスセンサは、支持部材（ＳＯＩ基板）に梁状に支持されたシリコン単結晶からなるヒータ４と、ヒータ４上に形成されたショットキーダイオードを備えている。ヒータ４には第１及び第２の電極９及び１０が形成されている。ショットキーダイオードは、ヒータ４上に直接的に形成されたＳｉＣ単結晶からなる半導体薄膜部１１と、第３の電極１２から構成される。第２の電極１０はショットキーダイオードの半導体薄膜部１１側の電極としても用いられる。 （もっと読む）

【課題】 十分に品質保証されたガスの製造が可能なオンサイト型ガス製造方法および装置を提供するとともに、これを用いたガス製造販売システムを提供する。
【解決手段】 ガス製造装置は、原料供給装置１、製造装置２、精製装置３、品質保証装置４とがこの順序で直列に配置され、製造したガスが消費装置５に供給可能となっている。まず、原料を原料供給装置１を介して、または原料供給装置１に貯蔵しておき、これを製造装置２に供給する。製造装置２にて発生させたガスは、精製装置３に送られ、不純物を取り除くことにより高純度化を実施する。高純度化されたガスは、品質保証装置４に送られ、ガス中の不純物濃度を分析することにより、必要に応じて分析結果を製造装置２などにフィードバックし、ガスの品質保証を行なう。品質保証されたガスは、ガスの消費装置５に供給される。 （もっと読む）

【課題】低コストで、処理回路と制御回路と変換回路とを一体的に集積することができ、余計なマスクや工程を必要としないガス検知半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガス検知半導体装置１は、シリコン基板２上に形成され、当該シリコン基板２は、ＣＭＯＳ技術互換性のある高温金属からなるヒーター６が埋め込まれた酸化ケイ素絶縁薄膜３を有している。上記高温金属は、タングステンである。上記装置１は少なくとも、絶縁層４によってヒーター６から隔離されるガス感受性層を備える１つの検知領域を有している。最終製造過程工程の１つの工程として、検知領域内に薄い膜を形成するために、基板がエッチバックされる。当該エッチバック工程及びガス感受性層の形成工程を除いて、タングステンヒーター６を含む他のすべての層は、タングステン金属化を用いたＣＭＯＳプロセスが利用される。 （もっと読む）

【課題】 インピーダンス変化式検出素子の加熱により感応膜の付着成分を除去した後、被検出ガス中のアンモニアガス成分に対する当該検出素子の検出出力を設定し、この設定出力に基づき検出素子の検出出力を補正することで、アンモニアガス成分を精度よく検出するようにしたアンモニアガス検出装置及びアンモニアガス検出方法を提供する。
【解決手段】 インピーダンス変化式検出素子７０は、選択還元触媒１４の下流側にて排気ガスに含まれるアンモニアガス成分に感応しプロトンのホッピング伝導を利用して、上記アンモニアガス成分を検出し出力電圧として発生する。マイクロコンピュータは、検出素子７０の加熱処理後、検出素子７０からの出力電圧を零点電圧として設定し、その後の検出素子７０からの出力電圧を上記零点電圧に対する変化率を算出して補正する。 （もっと読む）