弾性表面波の侵入深さは波長に対応する。インパルス活性化温度散乱（ISTS）を利用して、より薄い膜を測定するために、測定波長を約１ミクロンまで減ずることが有利である。測定波長を減ずる１つの方法は、高い開口数を有するレンズを使用して、励起及びプローブレーザを光学システムにおいて、より広い角度で収束させることである。これを行う一方で、増大した光学的/機械的な許容誤差を、特定の波長に対して整合板又は減光フィルターのいずれかを調整することによって、励起レーザパターンとプローブレーザパターン間の位相を微調整することにより低減させることができる。特別に設計されたビーム遮断板を備える光学システムにより発生される望まれない回折次数ビームを遮断することは、長波長性能を維持する上で必要とされる。 （もっと読む）

【課題】 割れや内部酸化の有無による良品、不良品等の検査を高効率、低コストで、また高精度で判別可能な検査対象物判別方法及び装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物７５を打撃する加振手段７１と、打撃によって生じる振動を受信する振動受信手段７２を設ける。また、振動受信手段７２からの信号を周波数解析し、検査対象物７５に固有の周波数分布中の波形データを取得し、これと基準物について周波数解析し取得しておいた基準波形データとの間の周波数差により検査対象物判別を行う解析判別手段７３を設ける。上記波形データは、検査対象物７５の基本波よりも高い周波数側の所定の高次波における波形データを選択することで上記周波数差を大きくとり、判別に用いるしきい値の選択を容易にした。検査に用いる基準波形データを用意しておくだけで、良品、不良品等の様々な検査を共通の手法で実行可能とした。 （もっと読む）

【課題】マイクロメートル程度以下の薄膜に対する膜厚測定を高精度で行い、バックグランド成分を除去する仕組みを持つ装置を提供する。
【解決手段】バックグランド信号の混入防止のため、以下の方法を組み入れた薄膜評価装置とする。（１）周波数の違いを利用し、周波数フィルターでバックグランド成分の元となる光を除去する。（２）光路の違いを利用し、振動検出信号の強度だけがある周期で振動するようにし、その周波数成分を含む信号のみ抽出する。（３）振動検出信号成分とバックグランド成分の位相が９０度ずれるようし、ロックインアンプでバックグランド成分を除去する。（４）振動検出信号の周波数をバックグランド信号の周波数の倍にし、振動検出信号の周波数に合わせて信号検出を行い、バックグランド信号を除去する。 （もっと読む）

有機体から放出されるバイオハーモニック場を検出する装置及び方法。試験対象である有機体に低周波を放出するためのベースオシレータ、及び、試験対象である有機体から受信した電磁的信号を音響キャリアと統合するための調節オシレータを含む。
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【課題】 コンクリート構造物の非破壊検査において、検出波形に含まれるノイズ成分を大幅に削減するとともに、背面損傷や内部損傷による波形変化を明確化する。
【解決手段】 超音波を用いたコンクリート構造物６の非破壊検査方法であって、一部又は全体が浸水したコンクリート構造物６の浸水部分に送信器２及び受信器３を接触させ、送信器２からコンクリート構造物６に横波超音波を入射しつつ、コンクリート構造物６の共振振動を受信器３で検出し、該受信器３の検出波形に基づいて、コンクリート構造物６の背面損傷及び／又は内部損傷を判定する。 （もっと読む）

【課題】 膜材料の端縁部同士や端縁部と中間部などを溶着などによって接ぎ合わせた接合部を検査する膜材料接合部の非破壊検査装置において、溶着がされていない部分だけでなく、溶着が不十分な不良の部分も確実に検出することができるようにする。
【解決手段】 膜材料Ｓと膜材料Ｓとの接合部Ｔ上を摺接しながら揺動し、かつ、相対的に移動する摺動子１と、該摺動子１と膜材料Ｓの接合部Ｔとの摩擦音を採音するマイクロフォン２と、該マイクロフォン２に採音された摩擦音の音圧を周波数解析して表示する解析装置３とが備えられている。前記摺動子１がモータ１１の回転軸に取り付けられて揺動するアーム１２に固定されている。また、モータ１１と前記マイクロフォン２とが前記膜材料Ｓから一定の間隔をもって相対的に移動するベースプレート１０に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ガスの検出を長時間連続して安定に行うガスの検出方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明のガス検出方法は、被測定ガスを振動させて、前記振動によって生じた音響インピーダンスの変化を利用して被測定ガスを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検体に傷を付けることなく被検体の損傷を確実に検出することができる打診具の提供。
【解決手段】この打診具２０は、建築物の壁面の損傷を検査するための道具である。打診具２０は、本体２６と、この本体２６の先端に設けられた打診子２７と、この打診子２７を回転自在に支持する支持機構２８とを備えている。打診子２７は、仮想軸線Ｎの周りに回転自在である。打診子２７は、カボチャの様な形状を呈し、その周面に８本の凸条４３が形成されている。この凸条４３の外周面は滑らかな円弧面に形成されている。凸条４３の外周面の曲率半径は、２ｍｍ〜５ｍｍである。凸条４３同士が隣り合う部位４５は、滑らかな曲面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】外部ノイズの存在下でも、信頼性の高い基板割れ検査を行うことができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明の基板割れ検査方法は、（１）基板１に振動を与えることにより音を発生させ、（２）第１マイクロフォン５ａを用いて少なくとも基板１からの発生音を捉えるのと実質的に同時に第２マイクロフォン５ｂを用いて外部ノイズを捉え、（３）第１及び第２マイクロフォン５ａ，５ｂが捉えた音について音響解析を行うことにより、それぞれの音に対応する第１及び第２パワースペクトルを求め、（４）所定の周波数領域での第１及び第２パワースペクトルのスペクトル強度の差に基づいて基板割れの有無を判断する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】 電圧駆動部３０よりプローブ針Ｐを介して電圧をチップＴＰに印加して、微小構造体の可動部を動かす。微小構造体の可動部の動きに応答して発生する音をマイク３で検出する。そして、マイク３で検出した音を測定部２５で測定し、制御部２０で理想的なチップＴＰで検出される音との比較に基づいて検出チップＴＰの特性を評価する。 （もっと読む）

【課題】外部ノイズの存在下でも、簡易に基板割れを検出する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の基板割れ検出方法は、（１）基板に振動を与えることにより音を発生させ、（２）発生した音をマイクロフォンを用いて捉え、捉えた音について音響解析を行うことにより、パワースペクトルを求め、（３）所定の周波数領域のスペクトル強度に基づいて、基板割れの有無を判断する工程を備え、マイクロフォンは、基板に面した開口部を有する覆いで覆われていることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決すべき課題】 汚損され粗な表面の振動の非接触検出に適し、小型で取り扱いが簡
便で、かつ安価な振動検出手段を提供して、構造物を効率よく検査できる方法、および装
置を実現すること。
【解決手段】 音波を発生して検査対象表面に照射し、対象表面の近傍で音響インテンシ
ティーを測定して、測定された音響インテンシティーに基づいて検査対象の状態を推定す
ることからなる音響式検査方法、そのために用いられる装置。 （もっと読む）

【課題】下水管路や農水管路等を構築している埋設管や陶管などの埋設管の劣化現象の区別を高精度で検査する。
【解決手段】埋設管の劣化状態を管内部から検査する方法において、衝撃弾性波試験を行って検査対象管の伝播波を測定し、この伝播波について周波数スペクトルを解析し、その周波数スペクトルの少なくとも第１周波数区間（例えば０．５〜４ｋＨｚ）のスペクトル面積値と第２周波数区間（例えば０．５〜１０ｋＨｚ）のスペクトル面積値を評価して埋設管の劣化状態の区別を判定する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の良否に関する判定誤差が少なく、微小な欠陥も検知・判定することができる良否判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記目的を達成するための装置は、被検体を流体の噴流によって加振する加振手段と、前記加振手段によって加振された被検体の振動波形を検出する振動センサと、前記振動センサによって検出された振動波形からサンプル波形を切り出す波形切り出し手段と、前記波形切り出し手段によって切り出されたサンプル波形を基に被検体の振動に対する特徴量を算出する特徴量算出手段と、前記特徴量算出手段によって算出された特徴量を被検体の良品サンプルの特徴量を入力して構築した境界学習型ニューラルネットワークに入力して前記被検体の特徴量と良品サンプルの特徴量との差異を求め、当該差異が閾値の範囲内であるかを判定する判定手段と、前記判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下水管路や農水管路等を構築している埋設管や陶管などの埋設管の劣化度合を高精度で検査する。
【解決手段】供試管に外部から加える力とそれによって発生する供試管の変形との関係を示す力−変形関係（例えば荷重−変位曲線）から得られるパラメータと、供試管に衝撃弾性波試験を行うことにより得られる衝撃弾性波試験データ（例えばスペクトル分布の低周波面積比）との相関関係を予め求めておき、検査対象管に対して衝撃弾性波試験を行って検査対象管の衝撃弾性波測定データを採取し、その実測の衝撃弾性波測定データを、前記前記力−変形関係から得られるパラメータと衝撃弾性波試験データとの相関関係を基に評価することにより検査対象管の劣化度合を定量的に把握する。 （もっと読む）

【課題】検査対象である埋設管の管内面に、ラード等の付着物層や脆弱層などが存在する状況であっても、埋設管の劣化状態を精度良く判定する
【解決手段】埋設管の管内部で衝撃弾性波試験を行って埋設管の伝播波を計測し、その伝播波の計測結果から埋設管の劣化状態を検査する方法において、埋設管の伝播波を計測する際に、埋設管内面の計測部分に存在する付着物層や脆弱層など圧密することで、検査の精度を高めて、安定した検査データを取得できるようにする。また、埋設管に対して弾性波を入力する入力機構１１が搭載された入力機構台車１０と、受信機構２１が搭載された受信機構台車２０を備えた検査機器において、入力機構台車１０及び受信機構台車２０に、埋設管内面の計測部分に存在する付着物層や脆弱層などを圧密する手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】接触状態の自由度が高い硬さ評価を実現する。
【解決手段】振動棒１０が被測定物３０に接触して振動する際の共振周波数に基いて、その被測定物３０の硬さを評価する。この際、被測定物３０が振動棒１０にもたらす複素放射インピーダンスについて、その実数軸方向の変化に対してその虚数軸方向の変化が大きいインピーダンス領域で、共振周波数を計測する。例えば、振動棒１０の振動面の半径ａと波長定数ｋとに基いて、ｋａが０．６より小さい領域で共振周波数を計測する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の二度打ちなどによる不要な振動信号の混入を防止して、検査の信頼性を高めることができる非破壊検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象物１の表面１ａに打撃を加えて振動を発生させるハンマ２１と、ハンマ２１を制御する打撃制御装置３と、振動を振動信号として検出する振動センサ７と、ハンマ２１の動きを検出して検出信号を発信する打撃検出センサ２４と、検出信号を受けて所定時間振動信号を取り込む受信信号制御装置４と、受信信号制御装置４が取り込んだ振動信号に基づき検査対象物１の状態を診断する診断表示装置５とを備えた。ハンマの動きに同期して振動信号を取り込むので、検査対象物の二度打ちなどによる不要な振動信号の混入を防止できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エスカレーターのハンドレールの診断に係わり、特に、層状の複合物質で構成され、内部に抗張体を有するハンドレールの内部の層間剥離状況をエスカレーターの稼働状態で診断することを目的とする。
【解決手段】エスカレーター２のハンドレール３劣化診断方法において、ハンドレール３内の構成物質間層間剥離を原因とする空隙３２による異常音響の発生箇所が打撃手段５による打撃を開始してから何回目であるかで場所を特定し、その異常打撃音の継続状態から、劣化箇所進行状況を推定することを特徴とする。前記機能を実現するハンドレール診断装置１として、打撃手段５、音響検出手段６、信号処理部７、記憶部８、演算部９、画像表示部１０で構成する。 （もっと読む）

【課題】埋設管路の相互に接続された各管体に対し衝撃弾性波試験を順次に行い、各試験における受振波の周波数スペクトルを解析・判定して劣化診断を行う場合、管内水量が在っても、その水量に見合った周波数スペクトルの補正によって統一基準で劣化診断を行い得るようにし、水抜き作業の省略による作業の容易化を可能にすることにある。
【解決手段】管内に水量が存在する状態の埋設管の所定の内面箇所にハンマーＡで弾性波を入力し、その入力箇所から所定の間隔を隔てた管内面箇所で振動センサーＢにより伝播弾性波を受振すると共に水位計５で管内水位を測定し、この受振波の周波数スペクトルの強度値を予め求めた管内水位に対する補正係数で補正してその受振波の基準水位に対する周波数スペクトルを求め、この周波数スペクトルを解析して埋設管の劣化診断を行う。 （もっと読む）