【目的】 １往復するのみで性能検査をすることが可能なバックライトパネルの検査装置を提供する。
【構成】 検査領域に配設された、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記被検査体が着脱可能に載置される載置台と、前記載置台を水平方向に移動させるための載置台移動手段と、前記移動手段を操作するための操作部と、前記載置台真上面から撮影するカメラと、前記載置台を斜め上面の左右から撮影する２台のカメラと、前記カメラからの映像に基づいて不良検出する検出部と、前記検出部の検出結果を表示する表示手段とで構成し前記カメラによって被検査体を１往復移動するのみで被検査体の検査が終了するように構成した。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板の気泡起因の突起欠陥と、異物起因の突起欠陥と、表面のうねり(ラフネス)を、正確に判別して、欠陥検査を行う。
【解決手段】検査対象基板とほぼ垂直な方向から光束を照射し、その照射光によって発生した反射光の強弱を光学センサで受光する工程と、この光学センサで検出した信号に基づいて画素ごとの階調分布を算出し、階調の極大値の座標を算出する工程と、前記検出した信号に基づいて画素ごとの２値化処理した画像を作成し、欠陥候補部の形状を認識し、この形状の重心の座標を算出する工程と、前記極大値の座標と前記重心の座標の位置関係によって欠陥の種類を判別する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な特徴を有する対象物を検査するための照明装置と照明方法を提供する。
【解決手段】照明装置は、照明角度を定める角度により特定される照明の立体角を与える照明部を備え、この照明角度は使用者により実行可能な連続する範囲から選択される。この照明装置は更に照明部により照明が行われる対象物を検査する対象物検査部を備える。この照明部は照明光源と、光収束部と、照明角度選択部とを備えてもよく、これらは照明光源と対象物検査部の間の光路に沿って配置される。照明角度選択部には第１と第２の位置があってよく、第１の位置では直接反射光は対物面に向かって伝播し、第２の位置では照明角度選択部により選択された光も対物面から直接反射する光も集光レンズに入射しない。むしろ、第２の位置では、対物面から散乱する光だけが集光レンズに入射する。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の光学軸ズレに起因した僅かな光漏れ欠陥を検出する。
【解決手段】 検査対象フイルム７を挟んで一対の第１，第２偏光板１８，１９が配される。各偏光板１８，１９は、クロスニコル配置とされる。光源部１５は、第１偏光板１８を介して検査対象フイルム７に光を照射し、受光器１６は、検査対象フイルム７，第２偏光板１９を透過した光を受光する。受光器１６は、フイルム面に垂直な法線となすあおり角をθ１とし、検査対象フイルム７の遅相軸と直交するフイルム面上の基準線となす回転角をθ２としたときに、「１５°≦θ１≦３５°」、「２０°≦θ２≦６０°」の条件を満たす位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】長時間を要することなく、被検査体の欠陥を高感度に検出することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の表面の欠陥を検出する検査装置であって、前記被検査体の表面を第１の角度で照明する明視野照明手段と、前記被検査体の表面を前記第１の角度と異なる第２の角度で照明する暗視野照明手段と、前記明視野照明手段の正反射角方向に配置され、前記被検査体の表面からの拡散光を受光するレンズ系と光電変換センサとを有する受光光学系と、前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との差分を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】予め未印刷基板で測定された各部の高さと、実際にはんだが印刷された基板を測定して得られた各部の高さとから、パッド部分の面からのはんだ高さを測定する技術を提供する。
【解決手段】プリント板にはんだを印刷する前の段階で測定手段が該プリント板を走査して測定した高さを基に、はんだ箇所であるパッド部の高さとその周辺のレジスト部の高さとの差を求めるオフセット算出手段３ａと、はんだが印刷された前記プリント板もしくは前記プリント基板と同一形状のプリント板を測定手段が測定して求めた前記はんだ箇所におけるはんだ高さ、その周辺のレジスト部の高さ、及び前記オフセット算出手段が求めた該差を基に、前記パッドからのはんだの高さを算出するはんだ高さ算出手段３ｃとを備えた。 （もっと読む）

【課題】高スループット化を図った欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、回路パターン付きウェハ等の被検査物をｒ−θ（回転）ステージを用いて連続的に回転させながら、被検査物上の多数の領域の各々にストロボ光（パルス光）を照射し、該ストロボ光（パルス光）が照射された各領域内の２次元画像を検出し、該検出された各領域内の２次元画像と参照２次元画像と比較して欠陥検出を行う欠陥検査装置及びその方法である。 （もっと読む）

【課題】目視による検査を行う場合においても、短時間で検査を行うことのでき、しかも、目視によって正確に検査することのできる目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】自動検査装置２によって検査されたプリント基板４を目視で検査する目視検査装置３において、自動検査装置２で撮影された不良箇所の画像とその不良箇所を示すデータを読み出してディスプレイ３４に表示させる。そして、自動検査装置２で撮影された画像によって目視判断できない場合には、HOMEキーを受け付けて、別途新たに第二カメラ３２を用いてプリント基板４の画像を撮影する。そして、その際、基準となるプリント基板４の画像を第三の表示領域３４３に表示させるとともに、リストで選択された不良箇所にマーキングＭを施して表示する。そして、この第三の表示領域３４３に表示された画像に基づいて最終的な目視判断を行う。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置において、被検体を回転、揺動させて目視検査する場合に、検査効率を向上することができるようにする。
【解決手段】目視により平板状のウエハ４の外観検査を行うために、ウエハ４を保持するとともに揺動させるウエハ揺動部３と、ウエハ４を撮像する撮像カメラ１と、撮像カメラ１で撮像したウエハ４の画像を表示するモニタ８と、モニタ８に表示されたウエハ４の画像上で位置情報の入力を行うマウス９ｃと、マウス９ｃにより入力された位置情報に基づいて、モニタ８に表示されたウエハ４の画像の一部を拡大表示するカメラ駆動部を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の検出画像比較による外観検査方法において、検出画像と参照画像の差から欠陥位置を特定する方法では、不安定なオートフォーカスは虚報や欠陥見逃しにつながる大きな問題であった。例えば、折返し直後のチップを比較検査する場合、検出画像と参照画像の走査方向の違いにより画像の差を生じ、画像比較による正確な欠陥判定を行えないことが問題であった。
【解決手段】これを改善するために、帯状画像撮像領域の走査方向前方にオートフォーカス領域を配置し、オートフォーカス領域の画像のコントラスト値から焦点位置を計算し、ステージ高さを制御する。 （もっと読む）

【課題】生産環境の変動に応じて動的に検査ロジックを設定することにより検査精度を向上させる検査制御装置を実現する。
【解決手段】良不良の判別結果を示す最終検査結果を生成するのに検査モジュール２０が用いるメイン検査ロジックＬ１を、複数の検査ロジックの中から選択する検査ロジック選択部３４と、メイン検査ロジックＬ１の最終検査結果と、メイン検査ロジックＬ１と異なる検査ロジックを用いてワークの良不良を判別したときの評価用検査結果とに基づいて、各検査ロジックの検査精度を評価する検査ロジック評価部３３とを備え、検査ロジック選択部３４は、検査ロジック評価部３３の評価結果に基づいて、メイン検査ロジックＬ１を選択する。 （もっと読む）

【課題】高速に動作する物体の検査を行う場合に、特殊なインターフェースを用いたり画像情報量を減らすことなく、撮像された画像を高速に出力させる。
【解決手段】検査対象物を撮像した被検査画像と欠陥のない参照画像を比較することにより欠陥の抽出を行なう場合において、撮像部１１で被検査画像を撮像し、撮像された被検査画像データを１フレーム毎に分割して順次記憶部１４に記憶させ、記憶部１４に記憶された被検査画像データを所定のタイミングで１フレームずつ読み出して、各フレームをそれぞれ別の出力部１５へ出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】安価でスループットの高い検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、繰り返しパターンが形成されたウェハ１０の表面に直線偏光Ｌ１を照射する照明光学系３０と、ウェハ１０を保持するアライメントステージ２０と、ウェハ１０の表面からの反射光の像を撮像する撮像光学系４０と、撮像光学系４０により撮像された画像を記憶する画像記憶部５１と、画像記憶部５１に記憶された画像に所定の画像処理を行って繰り返しパターンの欠陥を検出する画像処理部５２と、画像処理部５２による画像処理の結果を出力する画像出力部５３とを備え、第２偏光板４３の透過軸の方位が第１偏光板３２の透過軸に対して４５度だけ傾くように設定される。 （もっと読む）

【課題】半導体ターゲットのオーバレイなどの特性を測定する装置および方法の提供。
【解決手段】一般に、次数選択された画像化および／または照射が実行され、測定システムを用いてターゲットから画像を収集する。一実施において、調節可能な空間変調は本システムの画像化経路のみに提供される。他の実施において、その空間変調は本システムの照射経路および画像化経路の両方に提供される。特定の実施において、その空間変調は±ｎの回折次数を有する、隣接するグレーティングを画像化するために用いられる。隣接するグレーティングは半導体ウエハの異なる層または同一の層内であってよい。構造物間のオーバレイは通常、グレーティングの対称中心間の距離を測定することによって見出される。この実施形態の場合、ｎ（ｎはゼロではない整数）の所定の選択に対して±ｎの次数のみが選択され、グレーティングはこれらの回折次数を用いてのみ画像化される。 （もっと読む）

【課題】 表面に透明な保護膜が形成された半導体素子の外観検査方法を提供する。
【解決手段】 表面に透明な保護膜１５が形成された光半導体素子１０を撮像した画像データに基づいて、外周領域３１と電極領域３２とを除いて、光半導体素子１０の外観検査領域３３を設定するステップと、外観検査領域３３内の画素信号の平均値を求め、平均値と所定の第１基準値とを比較し、比較結果に応じて第１の欠陥を抽出するステップと、平均値に１より大きい所定の係数を乗じて第２基準値を求め、外観検査領３３域内の画素信号と第２基準値とを比較し、比較結果に応じて第２の欠陥を抽出するステップとを具備する。保護膜１５の膜厚不良部（第１の欠陥）、膜剥離部（第２の欠陥）を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度な刷版検査を行うことのできる検版システムを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための検版システムは、高階調画像データとして刷版の版面画像を取得する撮像装置５０と、前記撮像装置５０によって取得された版面画像データにおける階調に対して予め定められたシャドウとハイライトとの間の階調を切り出し、当該切り出した階調によって濃淡が表される版面画像データを低階調画像データに変換する画像作成コンピュータ１０ａと、前記変換された低階調画像データと、製版時に使用された入稿面の画像データとを比較して両画像データの差分を検出し、当該差分に基づいて刷版の良否を判定する判定コンピュータ１０ｂとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム又はテープ形態の検査対象物の外観を、光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及びその検査方法を提供する。
【解決手段】プリント回路基板を光学的に検査する自動光学検査装置において、プリント回路基板を撮影する撮影ユニットと、プリント回路基板の撮影領域に光を照射する照明ユニットと、プリント回路基板の撮影領域を支持する支持ユニットと、を備え、支持ユニットは、前記プリント回路基板の撮影領域と接触し、照明ユニットの光が透過される透過部を有することを特徴とする自動光学検査装置。 （もっと読む）

【課題】測定時間が増えたり、検査装置が大型化・高コスト化したりすることなく配線パターンの良否を適正に検出できるようにする。
【解決手段】ＴＡＢテープＴの裏面側に鏡面仕上げのドラム３２を配設して表面側から照明光を照射すれば、光透過性絶縁フィルム６０部分では透過した光がドラム３２で反射され間接透過光となって光透過性絶縁フィルム６０を透過して表面側に戻ることから、反射法が主となり、透過法が従となるように、ＴＡＢテープＴの裏面側にドラム３２を配設して表面側から照明光を照射し表面側で検査箇所Ｄの配線パターン像を撮像することで、反射法による利点を活かした配線パターン６１の良否判定を可能にし、かつ、反射法では検出困難な光透過性絶縁フィルム６０上での短絡系の欠陥は間接透過光を利用することで光透過性絶縁フィルム６０よりも暗い暗欠陥として同時に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】自動車の車体のような検査対象物の形状及び色彩に関する表面状態を同時に検査できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１の表面を主走査方向に走査するラインセンサ１２を有し、画像データを出力するカメラ３と、主走査方向と直交する副走査方向にカメラ３と検査対象物１を相対的に移動させる副走査装置と、被検査対象物１の表面の主走査領域Ｌをそれぞれ異なる照明角度で照明するように配置された複数の光源５Ａ、５Ｂ、５Ｃ及び５Ｄを含む照明装置４と、光源を切り替えて選択的に点灯させる光源駆動装置７，８と、光源のそれぞれの点灯毎に、カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して検査対象物の表面状態を示す処理結果を出力する演算処理装置１５と、光源のそれぞれの点灯に対応する処理結果を個別に表示する表示装置１６を有する。 （もっと読む）

【課題】 従来光透過材料内部等のゴミ、キズ、ムラ等の検査を試料からの反射光をＰ偏光及びＳ偏光に分光する偏光プリズムを備えた偏光カメラを用いてＰ偏光およびＳ偏光を２次元のＣＣＤ画像センサで個別に撮像しそのレベル差に基づいて試料の小さなゴミ等を検出していたが直線偏光光源で複数の直線偏光を切り替え制御して被写体に照射し、その反射光によって検出を確実に行う１台の撮像装置で測定できる偏光選択型撮像装置を提供する。
【解決手段】 偏光方向が異なる複数の直線偏光を生成する直線偏光生成手段よりなる直線偏光照明手段と前記直線偏光の被写体への照射による反射光をレンズを介して結像した光学像を光電変換して映像信号を生成する撮像素子及びその駆動手段と該撮像素子から生成された映像信号を比較処理する映像信号処理手段と前記撮像素子の駆動手段に同期して１フレームごとに前記直線偏光生成手段を制御する偏光制御手段を備えている。 （もっと読む）