【課題】ゴムホースを円筒軸を中心として回転させることなく、外周面の凹凸欠陥を検査する。
【解決手段】複数のライン光源５・・５を用いてゴムホースＨの外周面の全ての溝Ｃ・・Ｃに影が生じるように照明を行った状態で、ゴムホースＨの外周面全周の画像を複数のカメラ３・・３で撮影することで、ゴムホースＨを円筒軸を中心として回転させることなく、ゴムホースＨの外周面全周の画像を撮影できるようにする。そして、このようにして撮影した画像データに基づいてゴムホースＨの外周面の溝Ｃの規則性を分析して凹凸欠陥の有無を判定することで、ゴムホースＨの外周面の凹凸欠陥を容易にかつ安定して検査することができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁皮膜被覆帯状体の下層および上層の疵をそれぞれ区別して検出するに際して、従来と比べて簡略な構成により高い検出性能で検査する。
【解決手段】絶縁性不透明皮膜層および絶縁性透明皮膜層からなる絶縁皮膜被覆帯状体１の表面を照明し、撮像部２０で被覆帯状体１の表面を撮像して、疵を検査する。照明装置１０は、絶縁性透明皮膜層の略ブリュースター角で絶縁皮膜被覆帯状体１の幅方向に亘って照明し、撮像部２０は、略正反射角で反射光を撮像するもので、Ｐ偏光フィルターを介して撮像する第１の撮像装置２１と、Ｓ偏光フィルターを介して撮像する第２の撮像装置２２とを幅方向に配置する。さらに、第１の撮像装置２１と第２の撮像装置２２は、各撮像レンズの光軸を所定の距離だけ帯状体１の幅方向で互いに接近する向きにずらせて配置し、第１および第２の撮像装置２１、２２の撮像領域を一致させる。 （もっと読む）

【課題】
極小ブーツの外面に残る傷やひずみを検出して排除するための検査装置を得ることであり、とくに、全数をブーツの全周に亘って形状検査を行うことのできる構造簡単な装置を得ることにある。
【解決手段】
周縁に多数のポケットを設けた搬送円板と、そのポケットに収容される被検査物を支持する支持円板とを、所定の速度差を以って相対移動させつつ、前記ポケットが各撮影位置に達したとき、ポケットの少なくとも2個分づつを上方から撮影し、個々のポケットにある被検査物の外形と標本との形状の相違を検出し、被検査物と標本との形状の相違によって不良品を検出するもの。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ検査装置の色検査の精度を向上させる。
【解決手段】カラーフィルタ検査装置１のデータ処理部１００は、ＲＧＢ毎の選択波長帯域を設定する選択波長帯域設定部１０６と、分光測光装置２５により測定された各画素の分光透過率データに基づいて、各画素の前記選択波長帯域内の分光透過率の代表値を算出する透過率代表値算出部１０３と、各画素の透過率代表値に基づいて、前記カラーフィルタの検査対象領域全体についてのＲＧＢ毎の透過率画像データを各々生成する透過率画像データ生成部１０４と、前記画像データ生成部によりＲＧＢ毎に各々生成された前記透過率画像データを外部に出力する画像データ出力部１０５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池のクラック等の欠陥の検査を一定の判定レベルで簡単に行うことができる検査装置と方法を提供する。
【解決手段】太陽電池を検査する装置(1)は、複数の太陽電池(10a)を有する太陽電池パネル(10)を載置する試料台(25)と、太陽電池に電流を印加する電源(30)と、太陽電池の画像を撮像するCCDカメラ(35)と、CCDカメラによる撮像を制御し、CCDカメラにより撮像した画像を処理する制御演算装置(50)と、CCDカメラを移動するためのカメラ駆動装置とを備える。カメラ駆動装置によりCCDカメラを移動して、太陽電池パネルの各々の太陽電池の画像を撮像する。制御演算装置は、太陽電池の２つの画像から差分画像を作成し、差分画像を所定のしきい値で２値化し、差分２値化画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の透明基板上に形成された繰り返しパターンにおける欠陥を良好に検出できること。
【解決手段】 透明基板５２上に、単位パターンを周期的に配列した繰り返しパターン５１が形成されたフォトマスク５０の、上記繰り返しパターン５１に発生した欠陥を検査するパターン欠陥検査方法において、照明装置１２によって、上記繰り返しパターン５１に所定の入射角で光を照射し、上記繰り返しパターン５１上の所定の観察領域５８において、照射光によって生じる回折光を観察装置１３によって観察することにより、上記繰り返しパターン５１の欠陥の有無を検査し、フォトマスク５０の上記観察領域５８以外の少なくとも一部分を遮光して、透明基板５２内を通過する迷光が観察領域５８内へ入射されないようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】適正な検出条件の設定を容易に決定することが出来る欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置が、検査対象物を撮像して画像データを生成する撮像手段と、撮像手段の生成した画像データと第１の検出条件とに基づいて第１の欠陥の検出処理を実行し、第１の欠陥の検出処理により検出した欠陥の中心位置を検出する第１の欠陥検出手段と、第１の欠陥検出手段の検出した欠陥の中心位置を中心とする予め決められた大きさの画像である欠陥包含領域画像を撮像手段の生成した画像データから抽出する画像抽出手段と、画像抽出手段が抽出した欠陥包含領域画像と第２の検出条件とに基づいて第２の欠陥の検出処理を実行する第２の欠陥検出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された貫通部の角部のカエリの大きさを定量的に把握するとともに、効率的に外観検査を実施することが可能な外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、サプライプレートＰ上に形成された角部Ｋを有する貫通部を検査する装置であって、サプライプレートＰを平面方向に移動させる走査駆動部１０２と、貫通部の画像を取得する画像取得部１０３と、画像を処理し、画像処理データを生成する画像処理部１１１と、角部Ｋの段差を測定し、段差データを取得する段差測定部１０４と、画像処理データおよび段差データをもとに、貫通部の良否を判断する演算処理部としての演算部１１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高価な画像処理装置を用いることなく中子孔の狭窄・閉塞状態の良否判定を短時間で行うことができる中子孔検査方法およびその装置を目的とする。
【解決手段】 内面が微細凹凸粗面で非直線状の中子孔３の開口２から投光器４の検査光を孔内面に照射し、孔内面形状を表した投影光を一つ以上の屈曲孔部４で拡散反射させて孔内面照射用の面光源を一つ以上得、該面光源からの反射光を他方の開口２に臨ませた受光器６により検出し、検出された光量を良否判定器１５で閾値と比較して中子孔３の狭窄・閉塞状態を判定するものとしたから、一方の開口２から他方の開口２までの屈曲孔部形状と孔内面形状に基く光量が反射光として検出され、中子孔の良否判定を簡単且つ短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、簡素な構成により色ムラや明るさの不均一性を低減して被検体の画像を良好に観察することができるようにする。
【解決手段】表面検査装置１を、光源ユニット２と、ウエハ７を照明するための光ファイバ３、照明レンズ４からなる照明手段と、ウエハ７の表面からの表面放射光１２を撮像するラインＣＣＤ１０と、表面放射光１２をラインＣＣＤ１０に導く観察光学系とを有し、観察光学系は、ウエハ７の表面を物体面として、物体面側から直交する２軸方向でパワーが異なる反射面を少なくとも１つ含むことにより物体面側をテレセントリック光学系とする補正光学系６と、補正光学系６により導かれた表面放射光１２をラインＣＣＤ１０に結像する撮像光学系９が配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】保護膜が貼り付けられた状態で、表面の詳細な検査が可能な偏光板の検査方法を提供する。
【解決手段】偏光板の検査方法は、ＣＣＤカメラを用いて偏光板全体にピントを合わせて、ＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄ１を測定する工程を含む。画面上にて画像を分割して、ピントがずれている分割領域Ｒｘを特定する工程を含む。この分割領域Ｒｘにピントを合わせてＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄｘを測定する工程を含む。距離Ｄｘと距離Ｄ１との差により分割領域Ｒｘにおける欠陥の有無を判定する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】光計測を用いてその構造のプロファイルを正確に決定するため、その構造を正確に特徴づけるプロファイルモデルが用いられなければならない。
【解決手段】構造を特徴づけるプロファイルモデルが、そのプロファイルモデルを特徴づける１組のプロファイルパラメータを表示することによって評価される。各プロファイルパラメータは、その値についてある範囲を有する。ある範囲の値を有する各プロファイルパラメータについて、その範囲内でプロファイルパラメータの値を選択する調節ツールが表示されている。光計測ツールを用いて計測された回折信号が表示される。シミュレーションによる回折信号は、プロファイルパラメータ用の調節ツールを用いて選択されたプロファイルパラメータの値に基づいて生成され、そのシミュレーションによる回折信号が表示される。そのシミュレーションによる回折信号は、その計測された回折信号に重ねられる。 （もっと読む）

【課題】自走車ユニットおよびＬＥＤ照明部を有するカメラユニットを備えた自走式管内検査カメラ装置と前記自走式管内検査カメラ装置を制御する制御装置との間を長距離ケーブルで接続した自走式管内検査カメラシステムに於いて、上記ケーブルの芯線からＬＥＤの点灯駆動に専用の電源供給用芯線をなくしてケーブルの小径化、軽量化を図るとともに、ＬＥＤを設定輝度に従い定電流制御して、長期に亘る安定したＬＥＤ照明を可能にした。
【解決手段】撮像部２１と照明部２２のカメラ電源を共通に用いて、照明部２２のＬＥＤを設定輝度に従い定電流制御する。 （もっと読む）

【課題】時間とコストがかからない光学計測システムを提供する。
【解決手段】 光計測モデルを用いて半導体ウエハ上に形成されたパターニングされた構造を検査するシステムは、第１製造クラスタ、計測クラスタ、光計測モデル最適化装置、及びリアルタイムプロファイル推定装置を有する。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】画像取込部21は２次元の画像情報を生成する。DWT処理部22は、離散ウェーブレット変換により、画像サイズが縮小された縮小画像情報を生成する。欠陥検出部25は、縮小画像情報を用いて検査対象物上の欠陥を抽出する。元の画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小する一方で、周波数成分を維持した縮小画像情報を用いて欠陥を抽出するので、コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物体表面等に存在する異物や欠陥により発生する散乱光の強度が照明方向等に依存する場合であっても異物や欠陥の粒径の算出精度を高く維持した上で測定系のダイナミックレンジを拡大可能な表面検査方法を実現する。
【解決手段】等しい波長と等しい仰角と等しい方位角と等しい偏光特性を有し、強度が１００：１だけ異なる２つの照明ビーム３、４によって、被検査物体１００表面を照明する。照明光３、４による散乱・回折・反射光の間の強度比は、被検査物体１００表面や表面近傍に存在する異物や欠陥に由来して発生する散乱光の強度が照明方向または検出方向に依存する異方性を有する場合であっても、それらに依存することなく常に１００：１の一定値であり、異物や欠陥の粒径の算出精度を前記異物や欠陥の異方性や粒径に関らず常に高く維持した上で、測定系のダイナミックレンジを拡大できる。 （もっと読む）

【課題】 問題の設備を、より簡単に特定することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）処理対象基板を処理する複数の製造設備の各々について、該製造設備が処理対象基板の裏面のうち機械的作用または電気的作用を及ぼす領域のパターンを、該製造設備と対応付けて、予め裏面作用パターンとして準備しておく。（ｂ）複数の製造設備の少なくとも一部の設備によって処理された処理対象基板の裏面に発生した欠陥の分布パターンを取得する。（ｃ）工程ｂで取得された欠陥の分布パターンと、予め準備されている裏面作用パターンとを照合することにより、当該欠陥を発生させる原因となった製造設備を特定する。 （もっと読む）

【課題】莢果の品質を適切に判別する。
【解決手段】莢果判別構造では、莢果２２を透過した透過光によって撮像された莢果２２の撮像画像を二値化処理する。さらに、二値化処理された莢果２２の二値化画像において、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率を計算して、莢２４への豆２６の収容状態を判別する。しかも、莢果２２の画素数に対する豆２６の画素数の比率と所定数の閾値との大小関係に基づき、莢果２２が複数の等級の何れであるかを判別する。このため、莢２４への豆２６の収容状態についての莢果２２の品質を適切かつ明瞭に判別できる。 （もっと読む）

【課題】偏光板の無い液晶パネルを検査する方法において、検査装置の偏光板や拡散板に付着した異物と液晶パネルの欠陥とを識別し得る検査方法を提供する。
【解決手段】光源からの光が一対の偏光板を透過するように、液晶パネルの液晶の配向を保持した状態で、撮影手段により、これに向き合う偏光板の出射面を撮影する第１の撮影ステップと、検査装置から液晶パネルを除去し、両偏光板の偏光方向を互いに直角に保持し光源を点灯した状態で、撮影手段に向き合う偏光板の出射面を撮影する第２の撮影ステップと、検査装置から液晶パネルおよび他方の偏光板を除去し、光源を点灯した状態で、撮影手段により該撮影手段に向き合う拡散板の出射面を撮影する第３の撮影ステップと、各撮影により得られた画像に基づいて、液晶パネルの欠陥部位を抽出する抽出ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】光源にパルスレーザを用いて被検査物体の散乱光を検出するときに、Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を光源のパルス発振周期に関係付けて決定しないと、ノイズが増大する。
【解決手段】Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を、（１）光源のパルス発振周期と等しいか整数倍とし光源の発振と同期させる、かまたは、（２）光源のパルス発振周期の半整数倍とする。これにより、Ａ／Ｄ変換器に与えられる散乱光信号中に光源の発光パルスに由来するリップル成分が残留していても、その影響を解消もしくは軽減することができる。 （もっと読む）