【課題】周波数領域で分割された画像を用いて、アライメントと画像補正を統合化した、画像劣化が少なく、設定パラメータも少ない、効果的な画像補正に基づく画像検査装置を提供する。
【解決手段】検査基準画像と被検査画像を比較検査する画像検査装置において、検査基準画像と被検査画像に対して複数の周波数領域に分割した周波数分割画像を作成する画像分割部と、各周波数分割画像について、検査基準画像と被検査画像の２次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、同定されたモデルパラメータに基づいて、モデル画像を生成するモデル画像生成部と、各周波数分割画像について、モデル画像と被検査画像を比較検査する比較処理部と、を備える、画像検査装置。 （もっと読む）

【課題】両面基板のパターンの重なり部分の欠陥を検出する。
【解決手段】両面にパターンの形成されたテープ２２の放射線透過画像のうち、第１の金属パターン１１０を透過した第１透過画像１１０Ａの予め設定した濃度と、第２の金属パターン１１２を透過した第２透過画像１１２Ａの予め設定した濃度と、第１の金属パターン１１０及び第２の金属パターン１１２の両方を透過した合成透過画像１１４Ａの予め設定した濃度とに基づいて、合成透過画像１１４Ａを含む第１の金属パターン１１０と第２の金属パターン１１２の重複領域１１６を設定する。コンピュータは、重複領域１１６について、合成透過画像１１４Ａの予め定めた濃度と異なる領域１２０（断線１１８）を欠陥領域として検出する。 （もっと読む）

【課題】発光波長帯が違う複数の光源を用いて試料照明用の照明光を生じさせ、かつこれら複数の光源から各々生じる各照明光の光路を、試料に至るまでの間に１つの光路に重ねる顕微鏡装置において、照明光の光路を重ねるために生じる光量ロスを低減する。
【解決手段】顕微鏡装置１を、発光波長帯が異なる複数の光源１４ａ〜１４ｃと、複数の光源１４ａ〜１４ｃ毎に設けられこれら光源１４ａ〜１４ｃが生じる光のうち対応する光源が生じた光のみを反射する波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃと、を備えて構成し、これら波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃを、対応する光源の光をそれぞれが反射した反射光の各光路が相互に重なるように位置決めし、波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃで反射する光源１４ａ〜１４ｃの反射光で、試料２を照明する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よく基板の外観検査を行う。
【解決手段】カメラ５２により撮像された基板Ｐの撮像画像を、記憶部６１に記憶された基準画像データと比較して基板の良否を判定する処理をコントロールユニット６０に実行させ、ここで基板Ｐが不良品と判定されたときに、液晶モニタ４に基板Ｐの画像を表示して作業者に基板Ｐを目視判定させ、この目視判定において基板Ｐが良品と判定された場合に、その良品と判定された基板Ｐの撮像画像を上記基準画像データとして記憶部６１に追加記憶させる。 （もっと読む）

【課題】
汎用のカラーカメラを使用してサーモグラフィを実用的に完成し、温度分布可視化撮影表示装置、欠陥検出表示装置を提供する。
【解決手段】
温度分布可視化撮影表示装置あるいは欠陥検出表示装置は、赤外線により発光する発光物質２を表面に塗布した温度分布被写体１と、温度分布被写体１を撮影するカラーカメラ５と、カラーカメラ５で撮影した温度分布に対応するカラー分布像の表示手段７または８とを備えている。必要に応じてフィルタ４が挿入される。 （もっと読む）

【課題】波長２００ｎｍ近傍の次世代マスク検査光源として、小型で低消費電力のマスク検査光源及びそのマスク検査光源を用いたマスク検査装置を提供する。
【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄと、複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれに対応する波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄとを有する深紫外光源１１であって、深紫外光源１１は、半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれから発振されるレーザ光を波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換し、波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換されたレーザ光を合成したレーザ光を出射することを特徴とする深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】周波数領域で分割された画像と基準点の個数分の分解画像を用いて、画像を補正する。
【解決手段】検査基準画像に対して複数の周波数領域に分割して複数の周波数分割画像を作成する画像分割部と、少なくとも１つの周波数分割画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成部と、被検査画像、基準点の個数分の分解画像、及び分解画像を生成しない周波数分割画像の２次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、同定されたパラメータを用いてモデル画像を生成するモデル画像生成部と、を備える、画像補正装置、画像検査装置、及び画像補正方法。 （もっと読む）

【課題】例えば液晶ディスプレイのキャビネットに発生する外観上の欠陥を定量的に評価することが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、検査対象５０を撮像して得られた画像の輝度レベルを示す画像データに基づいて、撮像面に対する輝度レベルを連続曲面として算出し、算出した連続曲面に関する最小曲率値、輝度レベルが所定値の仮想平面と交差する交差領域の面積、交差領域及び連続曲面にて形成される閉空間の体積、交差領域上の最大の線分長等の複数のパラメータを用い、各パラメータに対応する重み係数を夫々のパラメータに乗じて算出した評価値に基づいて、検査対象５０の外観を定量的に検査する。またニューラルネットワーク等の学習法にて重み係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止する。
【解決手段】基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動で基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた基板の検査装置１において、上記基板Ｐに付与される識別情報を認識するカメラ５２と、このカメラ５２を通じて取得された識別情報に基づいて上記基板Ｐの検査履歴を確認するとともに、その基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】検査精度を高める。
【解決手段】液晶パネル１１を検査するのに用いる検査装置３０は、液晶パネル１１を搬送する搬送コンベア３１と、液晶パネル１１の裏側から光を照射する検査用バックライト３２と、液晶パネル１１を撮像するエリアセンサ３３と、エリアセンサ３３に接続されエリアセンサ３３から出力される受光信号を処理する判定部３４とを備える。判定部３４では、撮像により得られたパネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥の有無及びその位置を検出し、その欠陥位置情報を検出したパネル画像Ｐ１〜Ｐ３に対応付けて記憶する。そして、判定部３４では、複数のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報の論理積をとり、その論理積と各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報との差分をとる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の傷の検出を効率良く行うことができる軸受用ころの外観検査装置を提供する。
【解決手段】赤色光源３は、軸受用ころ２の径方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置され、青色光源４は、軸受用ころ２の軸方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置される。このため、軸受用ころ２の軸方向の傷によって乱反射した赤色の光がカラーカメラ５に入射し、軸受用ころ２の周方向の傷によって乱反射した青色の光がカラーカメラ５に入射する。カラーカメラ５はこれらの反射光の様子を１枚のカラー画像として撮像し、画像処理部６はカラー画像の各色を抽出して濃淡画像を生成する。生成された赤色抽出画像及び青色抽出画像から軸方向及び周方向の傷の状態を個別に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】被写体の画像に基づいて欠陥の有無を検査する検査装置で、精度の良い欠陥検査を実現する。
【解決手段】被写体１１の画像に基づいて欠陥の有無を検査する検査装置において、画像取得手段１〜８が被写体１１の画像を取得し、枠設定手段８が画像取得手段により取得された画像に含まれる所定パターン毎に枠を設定し、比較手段８が枠設定手段により設定された２つ以上の異なる枠の画像について、各枠に含まれる所定パターンが一致するように調整した状態で比較し、欠陥検出手段８が比較手段による比較結果に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】カメラで撮像した画像を処理する画像処理装置において、検査処理の高速化を図ると共に、対象物の画像処理の判定データと撮像画像の画像データの整合性を高める。
【解決手段】画像処理装置１は、撮像装置２により撮像された対象物の画像データに画像番号を付加し画像処理部４と画像表示部５に分岐転送する画像分岐部３１と、この画像データの画像検査の判定データに画像番号を付加して画像表示演算部５２に伝送する画像処理演算部４２と、この画像データを表示画像として記憶する表示画像保持部５４とを備える。画像表示演算部５２は、判定データの画像番号と同じ番号の画像データを表示画像保持部５４で検索し、この画像データに判定データを重畳して表示出力を行う。これにより、画像処理と画像表示の並列処理による検査処理の高速化が図れると共に、判定データと撮像画像の画像データとを確実に整合して表示出力することができる。 （もっと読む）

【課題】試料表面からの信号光に対して背景光となる裏面反射光を除去して高感度の計測を可能とする。
【解決手段】投光光学系２は、入射面において、試料５の表面５ａの反射光と裏面５ｂの反射光とが重ならないように、光源１９から出射した光を集光して試料５に入射させ、受光光学系３は、入射面において、試料５の表面５ａと検出器２７の検出面とが結像関係になり、かつ、試料５の像が拡大されて結像されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】実際のフィレットの形状に適した検査基準データを、自動的に設定する。
【解決手段】部品種毎に、その部品種の部品に発生するフィレット形状を複数のタイプに分類し、タイプ毎にしきい値導出ルールなどの検査基準データが登録された検査基準データベースを作成する。このデータベースの各フィレットタイプには、それぞれフィレット形成前のクリームはんだの高さ範囲が対応づけられる。ティーチングの際には、教示対象の部品に対応するランド毎に、ランドウィンドウを設定するとともに、ＣＡＤデータや部品形状データを用いてランドに塗布されるクリームはんだの高さを算出する。さらに、算出されたはんだ高さに対応するフィレットタイプの検査基準データを検査基準データベースから読み出し、ランドウィンドウの設定情報に対応づけて、検査装置のメモリに登録する。 （もっと読む）

【課題】大型の対象物の光沢面の検査に好適なＬＥＤ照明装置を備えた表面検査装置を提供すること。
【解決手段】表面検査装置は、ＬＥＤを使用した照明装置１１、対象物の表面に写り込んだ照明装置１１の発光面を撮影するためのカメラ１２、カメラ１２を任意の位置および方向に移動可能なロボットアーム１０、ロボットアームを予め定められた経路に従って移動させ、カメラによる撮影の指示を繰り返すシーケンサ、カメラにより撮影された画像を取り込み、傷を検出して位置を表示するするコントローラを備える。照明にＬＥＤを使用することにより、発光面の面積が広く、広い面積に渡ってむらが少なく均一で、余分な拡散光が少ない照明が可能となるので、検出精度が向上すると共に検査時間が短縮できる。 （もっと読む）

【目的】参照画像と光学画像との高精度な位置合わせを行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の試料検査装置１００は、光学画像と参照画像との仮の合わせ位置での各画素における画素値の差分の絶対値が閾値Δより小さいかどうかを判定する差分判定部３０８と、差分判定の結果に基づいて求められる最小二乗法による正規行列を用いて位置ずれ量を演算する最小二乗法位置ずれ演算回路３２２と、位置ずれ量分ずらした位置に光学画像と参照画像との合わせ位置を補正する位置補正回路３５０と、光学画像と参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
欠陥検査装置において，膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して，高感度な欠陥検査を実現する。また，多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能な欠陥検査装置を実現する
【解決手段】
同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を，検査対象画像の各画素について，特徴空間にプロットし，特徴空間上のはずれ値を欠陥として検出する画像比較部を備えて構成した。これにより，ウェハ内の膜厚の違いに起因して画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても，正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 視野に収まらない大きな異常を見逃さずに検出できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 物体の表面の一部領域を視野の中に設定して該一部領域の画像を取得する取得手段（Ｓ１,Ｓ２）と、取得した画像に基づき、物体の表面において視野からはみ出す大きさの異常の有無を判断する判断手段（Ｓ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光学素子の曇りを安価に回避できる光源装置および検査装置を提供する。
【解決手段】 放熱を伴って発光する光源１１と、光源からの光を集光する光学素子１３と、光源と光学素子との間に配置され、光源からの光を透過すると共に、光源の放熱を受けて高温化した光学素子を保温する保温部材１２とを備える。 （もっと読む）