【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板検査装置のフットプリントを小さくしながら基板検査の自由度を高める。
【解決手段】
基板（Ｗ）のマクロ検査及びミクロ検査を行うための基板検査装置１において、基板（Ｗ）を保持して移動させ、マクロ検査及びミクロ検査の検査中にも基板（Ｗ）を保持するロボットアーム２ａと、光軸（Ｚ軸）に直交する面内において少なくとも１軸方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に移動可能な顕微鏡５とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものかを特定する。
【解決手段】第１カメラ１２により、被検体５０の成膜表面に生じる突起５２の有無をその成膜表面側から検査する。第１工程で突起５２が検出された場合に、その突起５２の位置において、第２カメラ１６により、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されたときに突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜前に生じたと判断できる。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されなかったときに突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの検査において、ソルダレジストが塗布された部分は画像データの輝度が低くなるため、画像処理を利用した欠陥検査では回路パターンを取得しにくかった。ソルダレジストが塗布された部分の回路パターンを得るためには、照射する光を強くする必要があるが、ソルダレジストを塗布しなかった部分は白飛びになってしまい、ソルダレジストがある部分と無い部分を検査するための検査装置が必要であった。
【解決手段】強い光を照射し、白飛びを起こした部分を画像データから削除して欠陥検査を行い、次に通常の強度の光を照射して白飛びして削除された部分の欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
レビュー装置における混合検査モードでの欠陥検出処理の改良により、誤欠陥検出の防止と、欠陥レビュー作業のスループット向上を得る。
【解決手段】
半導体デバイスが複数個のダイとして形成されるウェハの欠陥を観察するレビュー装置における欠陥の画像取得方法において、ダイに形成される回路パターンのうち、繰返し性を有する複数のパターンのひとつの単位をセルとするとき、該セルの領域内に、外観検査装置から送付された欠陥座標が存在するか否かを判定し、存在する場合は、セルの領域について欠陥検出を行い、存在しない場合は、ダイの領域について欠陥検出を行う。 （もっと読む）

【課題】
欠陥検査装置による検査時間を短縮し、検査能力の向上および生産能力の向上を実現する。
【解決手段】
第１の自動検査により欠陥候補が複数検出された際に、欠陥候補間の距離を計算し、視野サイズや倍率から決められる一定距離以内に存在する欠陥候補をひとつの欠陥候補群としてグルーピングし、一の欠陥候補群に含まれる全ての欠陥候補が一視野に入るように視野位置を決めて第２の検査を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス１００のガラス面／センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス１００を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 （もっと読む）

【課題】 被検物の検査において、良品／不良品の選別の工数を低減すること。
【解決手段】 被検物からの反射光に基づいて、被検物を一括的に撮像する第１撮像部を備え、撮像部により第１の被検物画像を取得する第１取得部と、第１の被検物画像と、予め記憶された第１の参照画像とを比較する第１比較部と、第１比較部による比較結果に基づいて、第１の被検物画像中の欠陥候補領域を検出する検出部と、欠陥候補領域に相当する第２の被検物画像を取得する第２取得部と、第２の被検物画像と、予め記憶された第２の参照画像のうち、欠陥候補領域に相当する領域の第２の参照画像とを比較する第２比較部と、第２比較部による比較結果に基づいて、欠陥候補領域が欠陥領域であるか否かを判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像検査の技術において、省スペース性を維持しながら簡易な構成でアライメントを実現するとともに、検査のスピードと精度を両立すること。
【解決手段】制御手段１は、カメラＣの画像に所定の異常を検出すると、次のように各駆動手段Ｋ１，Ｋ２を制御することにより、拡大レンズＬ５をカメラＣとレンズＬ１の間に挿入する。すなわち、第一の駆動手段Ｋ１によりカメラＣをレンズＬ１からいったん解離させ、この状態で、第二の駆動手段Ｋ２により拡大レンズＬ５を、カメラＣとレンズＬ１間の所定の挿入位置へ進出させ、その後、第一の駆動手段Ｋ１によりカメラＣを拡大レンズＬ５へ進出させる。 （もっと読む）

【課題】異物の位置やサイズによらず、簡易にかつ精度良く欠陥を検出可能な欠陥検出方法の提供。
【解決手段】本発明は、検査画像作成工程Ｓ１と、欠陥候補画像を得るパターンマッチング工程Ｓ２と、欠陥候補画像から欠陥候補のサイズおよび領域を検出する欠陥候補検出工程Ｓ３と、欠陥候補画像に含まれる欠陥候補のサイズに基づいて、基準サイズよりも大きいサイズのフィルタの要否を判定する別サイズフィルタ要否判定工程Ｓ４と、別サイズのフィルタが必要と判定された場合に、基準距離を超えるサイズの欠陥候補のサイズに適したサイズのフィルタを設定する別サイズフィルタ設定工程Ｓ５と、検査画像に基準サイズのフィルタを適用する基準フィルタ処理工程Ｓ６と、検査画像における基準距離を超えるサイズの欠陥候補に対応する領域に別サイズのフィルタを適用する別サイズフィルタ処理工程Ｓ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低解像度カメラによる概要検査で詳細検査を必要とする部品を特定し、特定された部品の詳細検査を行う場合、概要検査範囲内の全部品が特定されるまで詳細検査を開始できないという問題がある。
【解決手段】検査機１００は、複数の検査ヘッド（ヘッド１、ヘッド２）を備え、複数の検査ヘッドで交互に基板を撮像して検査を行う。ヘッド１は低解像度のカメラが装着された検査ヘッドで、大視野で基板を撮像し、低解像度のカメラが装着された検査ヘッドの検査結果に応じて、高解像度のカメラが装着された他の検査ヘッドであるヘッド２が前記検査ヘッドに替わって小視野の詳細な検査を行う。 （もっと読む）

【課題】二次元画像の画質を適切に検査できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１から出力される画像データは、画質検査装置２に入力される。画質検査装置２は、検査対象となる二次元画像の検査領域に対して、窓関数を用いて検査領域の境界における不連続性の影響を抑制するような補正を行う補正手段２１と、補正手段２１により補正された後の画像について、視覚の感度の周波数特性と、検査対象となる二次元画像の周波数成分とを積算することで欠陥強度を算出する欠陥強度算出手段２２と、欠陥強度算出手段２２により算出された欠陥強度に基づいて上記二次元画像の画質を判定する判定手段２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 例えば、測定されたスペクトルが計算されたスペクトルと比較され、スペクトルの計算が、精度の対応する低下を伴わずにより効率的の実行されるリソグラフィプロセスの少なくとも１つのプロセスパラメータを決定する方法を提供することである。
【解決手段】 リソグラフィプロセスでターゲットパターンの構造パラメータを決定する方法で、一連の較正スペクトルが基準パターンから計算される。計算された各スペクトルでスペクトル分析が行われ、スペクトル成分と関連する重みが導出され、ライブラリに記憶され、または反復探索法のベースとして使用される。スペクトルはターゲットパターンから測定され、測定されたスペクトルのスペクトル分析が行われる。構造パラメータを決定するために、主成分の導出された重み係数が測定されたスペクトルの重み係数と比較される。 （もっと読む）

【課題】通常の解像度を有するカメラを用いて検査員に欠陥の視認性が良い検査画像を提供することで、検査品質が向上できる低コストでコンパクトな検査装置を提供することができると共に、検査員が現場で検査することなく、同一の検査員が異なる発電プラントの検査も担当できる検査装置を提供する。
【解決手段】 検査映像を取り込みデジタルデータの画像を出力する画像入力装置１０３と、前記画像入力装置１０３から出力される画像の中から画像の特徴量に基づいて検査に使用する検査画像を選択する画像選択装置１０４と、前記検査画像の解像度よりも高解像度の高解像度画像を前記検査画像から作成する高解像度画像作成装置１０５と、前記検査画像と高解像度画像を表示する画像確認装置１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】確実に欠陥を検出する。
【解決手段】固体撮像装置のカバーガラスの表面にピントを合わせて撮像し、表面画像を得る。同様に、カバーガラスの裏面にピントを合わせて撮像し、裏面画像を得る。表面画像と裏面画像を合成して合成画像６０を作成する。動的閾値法を用いて、合成画像６０の各画素ごとに第１閾値Ｔｈ１を設定する。輝度値が第１閾値Ｔｈ１を超える画像を欠陥候補画像６１，６２，６３として特定する。欠陥候補画像６１，６２，６３の最高輝度値ＭＬ１，ＭＬ２，ＭＬ３に所定の比率を掛け合わせて、第２閾値Ｔｈ２１，Ｔｈ２２，Ｔｈ２３を設定する。輝度値が第２閾値Ｔｈ２１，Ｔｈ２２，Ｔｈ２３未満の画像をボケ画像４３，５１，５２として欠陥候補画像６１，６２，６３から除去する。これにより、合成画像６０には、ブツ欠陥画像４１、許容欠陥画像４２、ヨゴレ欠陥画像５３のみが残り、欠陥を確実に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層からなる照明手段の使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成できると共に、撮像手段のフォーカス位置を最適に設定し、レンズの外観上の欠陥を撮像手段で精度良く撮像して検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明及び該面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、該照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、該撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】実際の欠陥が潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断する、様々なコンピューターに実装された方法が提供される。実際の欠陥が潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断するための、コンピューターに実装された一方法は、グループ内の実際の欠陥の数をグループ内のランダムに発生した欠陥の数と比較するステップを含む。実際の欠陥は、ウエハー上で検出される。グループ内の実際の各欠陥と、グループ内のランダムに発生した各欠陥との、位置近傍のウエハー上の設計の部分は実質的に同じである。方法はさらに、比較するステップの結果に基づいて、グループ内の実際の欠陥は潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断するステップも含む。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥が、どの色の着色画素に発生したかを検査の段階で特定し、色毎に異なる規格を適用した欠陥検査を行うカラーフィルタの外観検査方法を提供する。
【解決手段】予め、着色画素などの良品検査画素の濃度範囲を設定し、被検査体を撮像した際に、各色の着色画素などを判定する検出検査画素の数を設定し、次に、欠陥Ｄ３の位置情報から、その周囲に輪郭部Ｒ３を設け、輪郭検査画素の各濃度を求め前記濃度範囲と対比して濃度範囲毎に集計し、次に、輪郭検査画素の数が検出検査画素の数以上なら、欠陥は当該着色画素と判定し、欠陥のサイズを当該色の許容欠陥のサイズと対比し可否を判定する。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの欠陥検査方法では、処理速度を高めるため、お手本となる基準パターンと被検査物は単純な比較による差異で良不良を判断していた。また、回路パターンは製品の動作に直接関係するため、できるだけ細かな差異を欠陥として判定させていた。しかし、細かな差異は過検出となり、別途目視での再検査が必要となる。
【解決手段】単純な比較による検査で不良と判定された被検査物の欠陥部分の画像を、欠陥の種類毎の分析によって、そもそも欠陥であるか否かと、欠陥であったとしても容認できるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査物品の上面と側面とを同時に撮像でき、被検査物品と撮像手段との距離を長くすることなく、被検査物品の上面を照射する光の強度が十分に得られ、被検査物品の上面を高精度で検査できる物品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物品Ｓの側面Ｓ２からの反射光を反射させる反射手段と、照明手段と、反射手段２０から出射された光および被検査物品Ｓの上面Ｓ１からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段からの映像信号を処理する処理手段とを備え、反射手段が、被検査物品Ｓの上面Ｓ１側から見たときに被検査物品Ｓを取り囲むように配置された複数の反射体２２を備えたものであり、照明手段が、隣り合う反射体の間から被検査物品の少なくとも上面を照射する上面照明手段を備えている外観検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）