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Fターム[2G051AC02]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 調査・分析手法 (2,013) | 多段階調査(例;粗/細) (243)

Fターム[2G051AC02]に分類される特許

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【解決手段】 容器1の底部1bには刻印21が形成され、該刻印を撮影すると検査対象領域32内にはコ字形の黒色部分BAとして表示される。また底部1bに異物が存在した場合、この異物も黒色部分Baとして表示される(A−3)。
予め該黒色部分BAの範囲に含まれるような形状を有する基準形状23を登録するとともに、該基準形状で上記検査対象領域内をサーチし、基準形状の全体が含まれるような位置を検出して、この位置での基準形状23が占めた領域23aを記録する(A−4)。
上記(A−4)の処理を検査対象領域のすべての範囲に対して行い、上記全ての領域23a、23b、23c、23dでの基準形状によって占められる範囲からマスク領域Mを設定する(A−7)。
【効果】 マスクすべき領域に対して適切なマスク領域を設定することができる。 (もっと読む)


【課題】検査する領域の的確な決定を容易とする基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】基板検査装置は,基板のパターンを記憶するパターン記憶部と,前記基板に検査ビームを照射する照射系と,前記基板からの前記検査ビームの透過,反射,または散乱を受け取り,対応する信号を出力する受取部と,互いに並列な複数の走査線に沿って,前記基板上で前記検査ビームを走査する走査部と,前記複数の走査線にそれぞれ対応する複数の領域に前記基板を区分する領域分割部と,前記複数の領域それぞれから,前記パターンの所定の特徴量を抽出する特徴量抽出部と,前記抽出される特徴量に基づき,前記複数の領域から検査する領域を決定する検査領域決定部と,を具備する。 (もっと読む)


【課題】充填し封緘した容器を検査するために手間がかからずコンパクトな構造で確実に検知する装置を提供する。
【解決手段】検査する容器Fをその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置20と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台4に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台3から直接、第二回転台に移すことができる。 (もっと読む)


【課題】欠陥の検出の精度の低下が少なく欠陥の検出に要する時間が短くなる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】被検査画像Aが複数の被検査領域a1〜a12に分割されるとともに、参照画像Bが複数の参照領域b1〜b12に分割され、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対(i=1,2,・・・,12)の各々について被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせが行われた後に被検査領域aiと参照領域biとが比較され欠陥が検出される。第1の群に属する対については、グローバルアライメント及びファインアライメントの両方が実行される。しかし、第1の群に属さず第2の群に属する残余の対については、グローバルアライメントが実行されずファインアライメントのみが実行される。また、グローバルアライメントが実行されない第2の群に属する対には、直前に行われたグローバルアライメントの結果が援用される。 (もっと読む)


【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥検出をすることができる欠陥検方法および欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、被検査物を撮像し、撮像画像データを取得する撮像工程ST1と、エッジ検出工程ST3と、頂点検出工程ST4と、基準検出工程ST6と、欠陥検出工程ST9とを備える。基準検出工程ST6はエッジ追跡方向に沿って順に各頂点のエッジ回転方向を検出した際に、エッジ回転方向の向きが変化する頂点の直前の頂点を基準点として設定し、エッジ追跡方向に沿う基準点間のエッジに対し、後段の基準点におけるエッジ回転方向を基準回転方向として設定し、欠陥検出工程ST9は基準点間のエッジを追跡し、エッジ回転方向が、基準回転方向と異なる点を欠陥点として検出する。 (もっと読む)


【課題】カラーフィルタなどの大型表示デバイスを製造する場合に検査の信頼性を向上し欠陥製品の得意先への流出を防止すること。
【解決手段】表示デバイスの出荷前にマクロ検査機にて目視による最終的な品質検査を行う目視検査システムであって、
各マクロ検査機での検査結果情報を格納する検査結果格納手段と、
各検査結果情報を総合的に判定するための判定条件を格納する判定条件格納手段と、
判定条件格納手段に格納されている判定条件を参照しながら、検査結果格納手段から収集した各検査結果情報を総合的に判定して、判定結果を各マクロ検査機に表示させる検査結果判定手段とを備えることを特徴とする目視検査システム。 (もっと読む)


【課題】比較的簡単な処理で、濃淡値の良品範囲を随時更新して最適化することができる欠陥検査方法および欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置1は、欠陥判定手段13で良品と判定された場合に、当該検査対象物4の撮像画像を設定用画像として設定用画像メモリ14に追加する範囲更新手段10を有している。演算処理器15は、予め設定用画像メモリ14に記憶されている設定用画像から良品範囲を設定するだけでなく、範囲更新手段10により新たな設定用画像が設定用画像メモリ14に保存される度に、各画素ごとの濃淡値の度数分布を求め、当該度数分布結果から良品範囲を再設定する。しかして、欠陥判定手段13で良品と判定される度、範囲更新手段10は、設定用画像を設定用画像メモリ14に追加し、追加された設定用画像を含む複数枚の設定用画像に基づいて良品範囲を自動的に更新させることとなる。 (もっと読む)


【課題】被検査物の表面上に発生する欠陥を、高速に、かつ、高精度に検査することのできる欠陥検査装置及び欠陥検査方法の提供を目的とする。
【解決手段】銅張積層板11に光を照射する光源21と、銅張積層板11からの反射光を受光する撮像手段22と、撮像手段22によって得られた画像から、欠陥候補の抽出処理を行う欠陥候補抽出部33と、抽出された欠陥候補のサイズを計測する欠陥候補サイズ計測部41と、計測された欠陥候補のサイズに応じて、欠陥候補の画像データのスケーリング率を変更するスケーリング率変更部42と、スケーリング率の変更された欠陥候補の画像データにもとづいて、欠陥種の判別及び良否の判定を行う欠陥検査部43とを備えた構成としてある。 (もっと読む)


【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 (もっと読む)


【課題】 被検査基板の広い領域を対象とした検査と狭い領域を対象とした検査とを効率良く運用できる基板検査システムを提供する。
【解決手段】 複数の被検査基板14(1)〜14(n)それぞれに対するマクロ検査を実施して、それぞれの被検査基板の欠陥の有無情報を出力する第1の検査装置11と、第1の検査装置から出力された欠陥の有無情報を被検査基板ごとに記憶する記憶装置12と、被検査基板のマクロ検査の検査範囲よりも狭い所定の部分に対してマクロ検査よりも精密であり微視的な検査を実施する第2の検査装置13とを備える。この第2の検査装置は、記憶装置に記憶された欠陥の有無情報を参照して、複数の被検査基板14(1)〜14(n)のうち、欠陥の無い被検査基板で、検査を実施し、欠陥のある被検査基板では、検査を実施しないものである。 (もっと読む)


【課題】少ない学習用のサンプルで人の判断に近い判定基準を定めることを可能とした官能検査装置及び方法を提供すること。
【解決手段】擬似サンプル特徴量生成部10と、擬似サンプル表示部8と、判定入力部9を備え、良品と不良品の境界付近の擬似サンプル重点的に発生させ、それを検査員が判定し、その結果をパターン認識で学習することにより、パターン認識で有効なサンプルを効率よく取得することができるので、少ないサンプルで人に近い判定が可能な官能検査となる。 (もっと読む)


【課題】製造途中の外観検査とそれに続く致命性検査において、適正な基準で致命性の判定を行うことができるようにした外観検査方法及びそのシステムを提供することにある。
【解決手段】外観クラス分類器(404,406)を学習し、該学習された欠陥種である外観クラス別に、機能検査装置を用いて最終的な機能検査によって判定される機能の良否である機能クラスの対応を教示することにより機能クラス分類器(407,408)を学習して最終的な機能の良否を左右する検査途中の外観的特徴に関する定量的な記述である致命性要因を抽出し、該抽出された前記定量的な記述である致命性要因に基づいて致命性判定条件を決定する学習過程を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】電子回路の外観検査前の設定作業を効率化する。
【解決手段】検査条件設定装置(検査装置1)は、半導体、液晶回路、またはプリント基板などの電子回路を複数搭載する被検査物の外観検査をCADデータ(41)と被検査物画像(43)との対比によって行う前に、当該外観検査の条件を予め設定する。当該装置は、粗画像生成手段(ST21)と、輪郭抽出手段(ST22)と、認識手段(ST23)と、を備える。粗画像生成手段は、上記対比を行うために上記CADデータから生成する模範画像よりも、粗い画素密度の粗画像(45)を、上記CADデータから生成する。輪郭抽出手段は、上記粗画像から、ひとまとまりの個片(61、62等)の輪郭を各々抽出する。認識手段は、上記輪郭から、上記個片のパターンの一致を判定し、1または複数のパターンの個片を認識し、同一パターンのグループごとに上記個片を分類する。 (もっと読む)


【課題】容易に色ムラ検査を実施可能な色ムラ検査方法、および色ムラ検査方法で用いる
検査用画像データ生成装置を提供する。
【解決手段】色ムラ検査方法は、プロジェクタ2に色ムラ検査用画像を表示させる検査画
像表示工程と、プロジェクタ2のRGB/XYZ変換特性を取得する色空間変換特性取得
工程と、色ムラ検査用画像を撮像手段により撮像して、撮像画像データを取得する撮像工
程と、プロジェクタ2のRGB/XYZ変換特性に基づいて、撮像画像データの第二の色
空間形式をプロジェクタ2の第一の色空間形式に変換した変換画像データを生成する色空
間変換工程と、変換画像データをプロジェクタ2により表示させる変換画像表示工程と、
色ムラ検査用変換画像に基づいて、色ムラの検査を実施する色ムラ検査工程と、を備えた
(もっと読む)


【課題】 SEMレビューを、より効率的に行う技術が望まれている。
【解決手段】 記憶装置に、異なる条件で欠陥検出が行われた2種類の欠陥検出データが記憶される。撮像装置が、指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する。制御装置が、欠陥検出データの各々に登録されている欠陥の位置情報に基づいて、同一の欠陥が少なくとも2つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥と認定する。欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を、撮像装置により取得する際に、重複欠陥については、当該重複欠陥の位置の画像を重複して取得しない制御を行う。 (もっと読む)


【課題】粒状物品の種類を判別し検査する際に高度な判別精度を実現することが可能であり、且つ簡便に物品種の判別検査を行うことが可能な粒状物品種検査装置を提供する。
【解決手段】載置板に1乃至複数の被検査物品を載置して上方2方向から被検査物品を撮影する。また、載置板上の被検査物品の重量を計測する。撮影した画像とテンプレート画像との間で2次元画像マッチングを行う。また、撮影した画像からステレオ画像を合成し、テンプレートステレオ画像との間でステレオマッチングを行う。各マッチングで得た物品種候補の組み合わせのうち、総重量が計測された総重量に近似するものを抽出する。そして、抽出された物品種候補の組み合わせのうち、各マッチングにおけるテンプレート画像との距離の加重和が最小のものを選出し、これを物品種として特定する。 (もっと読む)


【課題】 AOI装置にて挙げられた欠陥候補の真偽判定のための手間と時間を可及的に軽減することができる基板の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】 ユーザは、ガイド表示として表示された各欠陥候補に関する特徴情報に基づいて1の欠陥候補を選択し、その欠陥候補の実画像を前記画像表示器の画面上において観察することで、当該選択された欠陥候補が疑似欠陥か真の欠陥かを判別できるようにされており、さらにAOI装置により生成保存される特徴情報には、当該欠陥候補のそれぞれの画像を含む局部領域画像が含まれており、かつ欠陥候補表示手段は、各欠陥候補毎に、その欠陥候補に対応する前記局部領域画像を画像表示器の画面上に表示する。 (もっと読む)


【課題】表面検査装置の検査しきい値およびカメラの設置角度の調整を的確かつ短時間で行なうことができる、表面検査装置の調整方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】検査対象物の表または/および裏面をカメラで撮像し、その全幅全長画像を保存するステップ10と、保存した画像から欠陥確認が可能かどうかの判断を行なうステップ12と、該ステップ12で欠陥確認が可能な場合には、確認された欠陥部と地合部の画像のグレイ値差分が大きいかどうかの判断を行なうステップ14と、該ステップ14でグレイ値差分が小さい場合には、カメラ角度調整を行なうステップ15と、前記ステップ14でグレイ値差分が大きい場合には、しきい値調整を行なうステップ16とを有する。 (もっと読む)


【課題】モノクロの濃淡画像に対する画像処理のみで欠陥を正確に抽出することを可能にした木材の外観検査装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラにより撮像された濃淡画像が、画像処理装置4に入力される。一次候補抽出部11は、複数の検査対象領域に区画されている木材の表面をラインセンサカメラにより撮像した濃淡画像を2値化し、一次欠陥候補領域を抽出する。二次候補抽出部12は、着目する検査対象領域について木目と欠陥とを分離するように設定した第2のしきい値により濃淡画像を2値化し、二次欠陥候補領域を抽出する。欠陥抽出部13は、二次欠陥候補領域を含む検査対象領域において二次欠陥候補領域に含まれる画素の濃淡値と二次欠陥候補領域の周辺の画素の濃淡値との差分を用いて欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】より短時間で欠陥を撮像できる欠陥観察装置および欠陥観察方法を得ること。
【解決手段】この欠陥観察方法は、観察対象物の欠陥および基準マークの位置座標を取得するステップと、欠陥を検出して、この検出された欠陥位置に応じて位置座標を補正する第1の方法で欠陥を撮像するのに必要な第1の時間を算出するステップと、基準マークを検出して、この検出された基準マーク位置に応じて位置座標を補正する第2の方法で欠陥を撮像するのに必要な第2の時間を算出するステップと、第1、第2の時間を比較するステップと、比較結果に応じて、第1または第2の方法で位置座標を補正して欠陥を撮像するステップとを具備する。 (もっと読む)


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