【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】種々の被検査基板を簡単な機構のもとで定置・反転させることができるほか、設置面の省スペース化を実現できる基板外観検査装置用の基板反転機構および該基板反転機構を備えた基板反転搬送手段の提供。
【解決手段】基台１３と、該基台１３上に配置される回転駆動部２３と、該回転駆動部２３がその回転軸２５に備える回転体２６に連結されて該回転体２６の回転方向へと被検査基板Ｐを反転可能に位置固定する一対の基板保持部３３，３３とを備えて装置本体１１側に配置される基板反転機構１２と、該基板反転機構１２における一方の基板保持部３３側に配置される往路側搬送部４２と、他方の基板保持部３３側に配置される復路側搬送部５３とを備えて前置本体１１側に配置される基板搬送機構５３とを組み合わせることで、Ｕターンさせるように被検査基板Ｐを反転搬送させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】設定された精度の検査結果を得るのに要する時間の点で有利な検査装置を提供する。
【解決手段】異物または欠陥としての不具合に関して物体を検査する検査装置は、光を照射された物体からの光を検出し、当該光の強度が閾値を超えた前記物体上の位置を示す信号を出力する検出部と、前記物体上の位置に異物または欠陥としての不具合が存在することを示す情報を出力する制御部と、前記物体上の位置に前記不具合が存在する確率を示す情報を記憶する記憶部と、前記不具合の検査漏れの数に対する上限値を示す情報を入力する操作部と、を備える。前記制御部は、前記検出部に既定回数（少なくとも１回）前記検出を行わせ、推定された総数と前記記憶部に記憶された情報が示す前記確率とに基づいて、決定された全回数から前記既定回数を減じた残り回数の前記検出を前記検出部に行わせる。 （もっと読む）

【課題】従来方法を改良して従来の手動作業によらずに全自動化の装置を提供する。
【解決手段】インフルエンザ用ワクチン及び動物用ワクチンの製造に必要な有精卵を検卵する装置において、無精卵と有精卵の判別及び有精卵内の血管の発育状態を確認する第１次検査部と、前記第１次検査部の情報を受けて無精卵と発育異常卵とを吸引して廃棄卵入れに移動する無精卵及び発育異常卵排出部と、前記無精卵及び発育異常卵排出部の情報を受けかつ空いた部分へ検卵済みの良質の有精卵を自動供給する優良卵供給部と、前記優良卵供給部から供給されてきた有精卵を再度検卵して検卵ミスが無いように再確認して発育鶏卵の検査制度を高める第２次検査部と、前記２次検査終了後に卵を検卵機に戻して次工程に待機させておく卵取出部とから構成される有精卵自動検卵装置の提供。 （もっと読む）

【課題】手動式と自動式と併用した有精卵自動検卵装置を提供する。
【解決手段】第１次検査部でライトアップしたのち該画像処理にて検卵の良否判定を行なった後に不良品を自動的に取り出しかつ卵内血管の発育状態及び活力の確認をして複数卵の発育状態の比較と離れた位置での画像判定を無人化し、第２次検査部で画面表示を手動操作しながら各画面を目視して最終検卵する。また有精卵検査装置において検査用ホイルと照明部と画像撮像部と処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】通常は高速な検査を行いながら、必要に応じて高倍率の画像に基づく高精度な検査を行うことが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、制御部４０は、第１の撮像装置３５にウェハＷの表面全体の像を撮像させ、画像処理部４５で第１の撮像装置３５により撮像されたウェハＷの表面全体の画像において異常を検出した場合に、第１の撮像装置３５よりも高い倍率で撮像可能な第２の撮像装置３６に切り替えてウェハＷの表面における異常が検出された部分の像を撮像させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】印刷物における印刷不良の有無を精度良く高速に検出し、顧客に納品する印刷物への不良品の混入を防止すること。
【解決手段】検品装置１０００は、ＭＦＰ９００にて第１の画像データに基づいて印刷処理された印刷媒体を読み取り第２の画像データを生成し（Ｓ１１０６）、第１の画像データと第２の画像データとを部分的に比較して印刷不良の有無の判定を行う第１の比較判定処理を行い（Ｓ１１０７〜Ｓ１１０９）、これにより印刷不良の有無を判定できた場合（Ｓ１１０８でＹｅｓ又はＳ１１０９でＹｅｓ）、これを判定結果とし、一方、印刷不良の有無を判定できなかった場合（Ｓ１１０８でＮｏ且つＳ１１０９でＮｏ）、第１の比較判定処理で比較していない部分を比較して印刷不良の有無を判定する第２の比較判定処理を行う（Ｓ１１１０〜Ｓ１１１１）。 （もっと読む）

【課題】加工部品や薬剤等の商品の形状や色に関係なく、外観の欠陥を精度良く、かつ経済的に検査し、不良品を除去可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物を表裏区別することなく供給する供給部Ａと、
供給された検査対象物の上側面を撮像して表裏を判定し、上側面が表であるものと裏であるものを仕分けする表裏判定・仕分け部Ｂと、
表を先に検査し、反転させてから裏を検査する第１搬送レーンと、裏を先に検査し、反転させてから表を検査する第２搬送レーンとから構成される検査部Ｃ
とを具備し、各搬送レーンには、多種多様の表面異常が検知できるように複数の検査カメラが設置され、撮像された画像データの画像処理により、不良品であると判断されたものは排出手段にて搬送レーンから排出される。 （もっと読む）

【課題】筒形圧着端子及びカメラを３６０度回転させなくとも、筒形圧着端子と背景との対比による外観検査を可能にすることを目的とする。
【解決手段】筒形圧着端子１１０を支持する支持部２０と、筒形圧着端子１１０を撮像可能で、支持部２０に支持される筒形圧着端子１１０の中心軸周りに等分された角度で配設された複数かつ奇数台のカメラ４０と、支持部２０と複数かつ奇数台のカメラ４０とを、支持部２０に支持される筒形圧着端子１１０の中心軸周りに相対回転可能な回転機構部５０と、を備え、複数かつ奇数台のカメラ４０は、回転機構部５０により支持部２０と複数かつ奇数台のカメラ４０とが相対回転された複数位置で同時に撮像可能である。 （もっと読む）

【課題】有価証券等の印刷物用検査機械の改良に関する。
【解決手段】印刷済みシート（sheet)を供給する供給器１、第一、第二、第三シート検査ユニット、第一、第二移送シリンダを含み、各検査ユニットは、検査シリンダ、照明手段、カメラを含み、第一移送シリンダ１３、各検査シリンダ、ならびに第二移送シリンダ１７は、相互に直接接触した状態で設置され、各検査ユニット、各移送シリンダは、検査が完了したときにのみシートが各検査シリンダから取り出されるように配置され、第一移送シリンダ１３、各検査シリンダ、第二移送シリンダ１７は、シートの入出力位置間でシートの運搬長が所定シート長として最適になるようにジグザグ形態に配置され、かつ各検査シリンダ上のシートの運搬長は検査されるべきシートの長さよりも僅かに長い。 （もっと読む）

【課題】検査対象の位置決めの装置を用いずに，また多量のテンプレートを用いたマッチング処理を行わずに，精度の高い外観検査を実現する。
【解決手段】外観検査制御装置１０において，テンプレート情報記憶部１１には，正規化用リファレンス画像と，検査用リファレンス画像とがあらかじめ登録されている。検査対象画像正規化部１５は，第１段階で，低解像度の検査対象画像と，低解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，検査対象画像を正規化する。検査対象画像正規化部１５は，第２段階で，第１段階で正規化された検査対象画像と，本来の解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，第１段階で正規化された検査対象画像をさらに正規化する。検査部１６は，２段階に正規化された検査対象画像に対して，検査用リファレンス画像を用いた検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
繰り返しパターンの周期に揺らぎを含む物体や、繰り返しパターンに無関係な外乱を含む物体の画像であっても、当該繰り返しパターンにおける個々のパターンの位置を正確に検出できるようにした技術を提供する。
【解決手段】
パターン検出装置は、繰り返しパターンを含む物体の画像を入力し、当該入力された物体における繰り返しパターンの周期を推定し、当該推定された周期で分割された画像に基づいて参照画像を生成する。そして、参照画像と、物体の画像とを比較し、比較の結果に基づいて繰り返しパターンにおける個々のパターンの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いてウェーハ表面のＬＰＤを検出する際に、ウェーハ表面のＬＰＤを高精度で検出することができる、ウェーハ表面のＬＰＤ検出方法を提供する。
【解決手段】レーザー光を発する光源と、該光源からウェーハ表面へ照射したレーザー光がウェーハ表面で散乱・乱反射された光を検出する検出器とを備える、暗視野像の撮影が可能な顕微鏡を用いて、光源から第１の光路を通って検出器へと入射した光を用いてウェーハ表面を検査し、第１の暗視野像を得る工程と、暗視野像の撮影が可能な顕微鏡を用いて、光源から第１の光路とは異なる光路を通って検出器へと入射した光を用いてウェーハ表面を検査し、少なくとも一つの暗視野像を得る工程と、前記第１の暗視野像と、前記少なくとも一つの暗視野像とを用いてＬＰＤを検出する工程とを含むことを特徴とする、ウェーハ表面のＬＰＤ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることのない外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置３０において、帯状ワーク１に送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部３２と、帯状ワーク１に送出方向へ張力を加える第２張力印加部３３と、第１張力印加部３２及び第２張力印加部３３により張力が加えられた帯状ワーク１を平坦化する平坦化部３４と、平坦化部３４にて平坦化された帯状ワーク１の所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部３５と、表面処理装置２０による振動が発生した際に、表面状態検査部３５により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のパターン付き基板検査装置として、正常パターン部からの散乱光の影響による欠陥の誤検出を抑えるために、照明光はＳ偏光ビームであり受光部分はＰ偏光のみ検出する検光機能を備えた検査装置があった。しかしながら、上記従来技術では、かえって欠陥の誤検出が増えることがあることを発明者は確認した。
【解決手段】検査エリアを、検光機能が欠陥の誤検出を抑えられる領域と、抑えることができない領域に弁別し、この２つの領域を違う検査処理で検査を行うことにより、本当に検出が必要である欠陥のみを高感度で検出することが可能である。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板上における測定対象物の測定方法を提供すること。
【解決手段】プリント回路基板上の測定対象物を測定するために、第１照明ユニットを利用して格子パターン光をプリント回路基板に照射して撮影された第１画像を利用してプリント回路基板の３次元高さ情報を取得する。その後、取得された高さ情報を利用してプリント回路基板上に基準高さ以上で突出した第１領域を測定対象物として確定する。その後、第２照明ユニットから発生した光をプリント回路基板に照射して撮影された第２画像を利用して、プリント回路基板のカラー情報を取得する。取得されたプリント回路基板のカラー情報のうち、測定対象物に確定された第１領域の第１カラー情報を基準カラー情報に設定する。その後、基準カラー情報と第１領域以外の領域でのカラー情報とを比較して第１領域以外の領域で測定対象物が形成されているかを判断する。 （もっと読む）

【課題】被検査物のパターンを検査して求めた欠陥を再検査するレビュー動作の時間を短縮できる撮像検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物（１０９）と被検査物（１０９）を撮像走査して欠陥を検出する検査光学系（１０３）をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構（１０７）と、被検査物と欠陥の周辺のみを撮像するレビュー光学系（１０４）をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系（１０３）とレビュー光学系（１０４）をＸ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構（１０５）と、検査光学系移動機構（１０７）とレビュー光学系移動機構（１０５）を運転する制御機構（３００）を有し、制御機構（３００）が、検査光学系（１０３）の撮像走査中にレビュー光学系（１０４）を制御して欠陥の周辺を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥、特に、白抜けの検出能力を向上させて検査することのできるカラーフィルタの外観検査方法、外観検査装置を提供する。
【解決手段】１）透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、２）赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、３）緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、４）青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定すること。 （もっと読む）