【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各自動検査装置に対して迅速に検査開始の開始コマンドを送信できるようにするとともに、検査対象物と検査結果データとの対応関係を特定できるようにする。
【解決手段】複数の自動検査装置２に接続されるマスターコンピューター３と、このマスターコンピューター３と自動検査装置２に接続されるサーバーコンピューター４とを設けてなるシステムにおいて、マスターコンピューター３から各自動検査装置２やサーバーコンピューター４に対して他の自動検査装置２で検査される検査対象物６と区別するための識別情報を送信し、自動検査装置２からサーバーコンピューター４に、前記識別情報に検査結果を付加した検査結果データを送信する。これにより、マスターコンピューター３がサーバーコンピューター４に検査結果データを転送する時間を短縮化して、他の自動検査装置２に開始コマンドを迅速に送信できるようにする。 （もっと読む）

【課題】透過光と反射光の両方を利用して試料上の欠陥を検査し、且つ短波長光学系の検査視野の空間分離に伴う光量損失を抑えて感度の良い検査を行う。
【解決手段】パターンが形成された被測定試料に光を照射して得られるパターン画像を用いてパターン欠陥を検査するパターン欠陥検査装置であって、試料６のパターン面と反対面に波長λの第１の検査光を照射する第１の照射光学系と、第１の検査光の照射による試料６からの透過光を検出する第１の検出センサ１２と、試料６のパターン面に波長λの第２の検査光を照射する第２の照射光学系と、第２の検査光の照射による試料６からの反射光を検出する第２の検出センサ１７と、試料６のパターン面に対する光学的結像面に設けられ、試料６からの透過光と反射光とを、パターンの観察視野内で空間的に分離された視野から得られるように分離する空間分離機構１０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの最終検査における各種の不良項目の検査を、同時かつリアルタイムに高い信頼性の下で行うことが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】板状金属製品の検査装置であって、板状金属製品に照明光を照射する複数種類の照明手段と、板状金属製品を撮像する複数の撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給する供給部と、複数の撮像手段により板状金属製品を撮像して得られた画像データを用いて板状金属製品に存在する不良を検出し良否判定する検査部と、検査部によって良否判定された板状金属製品をその良否により仕分けして排出する排出部と、検査装置全体の動作制御を行う制御部とを備え、各撮像手段が搬送手段と同期を取りつつ各撮像手段の撮像位置に到達した板状金属製品の撮像を行うことを特徴とする板状金属表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】検出された欠陥からシステマティック欠陥を分別する。
【解決手段】欠陥分類定義部２２１は、被検査デバイスにそのとき形成されているレイヤおよびその上層または下層に形成されたレイヤに対応するレイアウト設計データを用いて、被検査デバイスの表面に欠陥を分類する領域を定義する。欠陥分類処理部２２２は、欠陥レビュー装置１０で取得された欠陥からサンプリングしたサンプリング欠陥データ１３３（２３３）について、その欠陥の位置が前記定義された領域のどの領域に含まれるかによって、欠陥を分類する。欠陥集計部２２３は、その分類された欠陥を集計し、各領域の欠陥密度を求め、ある領域の欠陥密度が他の領域の欠陥密度の平均値よりも有意差以上に大きい場合には、システマティック欠陥判定部２２４は、その領域の欠陥をシステマティック欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、欠陥の散乱光像を明確に捉えることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検査装置１においては、ステージ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に透過照明装置５によって光が照射され、ガラス基板Ｓの内部がカメラ６によって撮像される。このとき、ガラス基板Ｓの内部に照射される光の照射方向が変化するように制御装置８によって透過照明装置５が制御される。これにより、内部欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、内部欠陥による散乱光を強くすることができ、その内部欠陥の散乱光像を明確に捉えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パターン画像検出部１１０の特性変動や被検査ウェーハ６の表面特性の個体ばらつきに応じて、欠陥判定のしきい値を自動的に調整する。
【解決手段】画像処理部１２０は、被検査ウェーハ６表面のある領域の検出画像とその領域と同じパターンを有する他の領域の検出画像との差分画像に基づき、欠陥信号を抽出する欠陥信号抽出部２１、前記差分画像の全画素について、その各画素の欠陥信号量を累積して、その頻度分布および分散を算出する欠陥信号累積部２３、その算出した分散を、基準の被検査ウェーハ６から得られた基準の頻度分布の分散と比較して、頻度分布のオフセット量を算出するオフセット算出部２４、あらかじめ設定された基準の欠陥判定しきい値を前記オフセット量により修正し、その修正した欠陥判定しきい値に基づき、前記欠陥画像についての欠陥信号の欠陥判定を行う欠陥判定部２５、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムに生じている欠陥が揮点欠陥を生じさせる欠陥（光学欠陥）であるのか否かを容易に判定できるようにする。
【解決手段】光学フィルム１の一方の面側に配置された偏光板３を介して照明光７で照明しつつ、該光学フィルム１の他方の面側に配置された偏光板２を介して撮像し、該撮像結果に基づいて、光学欠陥の有無を判定する。偏光板２と偏光板３とはクロスニコルに配置される。照明光７として、青から緑の波長帯域内にある単波長光を用い、照明光７による露光時間が最適化されている。 （もっと読む）

【課題】必要性がますます増大している欠陥検出のための効率的な方法及びシステムを提供する。
【解決手段】対象物の初期走査に複数照明経路が対象物を同時に照射し；初期走査中に取得された検出信号に応答して対象物をセグメントにセグメント化し；各セグメントについて、セグメントの主材料及びセグメントの表面粗さレベルから選択された少なくとも１つのパラメータに応答して、セグメントの欠陥検出走査中に、活動状態にされるべき照明経路を選択し；対象物の各セグメントを、対象物の選択された照明経路のみによって照明し；当該照明するステップに応答して、欠陥を示す検出信号を発生する。 （もっと読む）

【課題】検出系からの検出画像信号を補正することにより、照明系、光学系、検出系など構成要素の特性ばらつきによる、複数の検査装置（機体）間での検査感度の機体差を低減する。
【解決手段】被検査対象に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系と、反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサと、光電イメージセンサを分割した複数の領域毎に、それぞれに対応する信号補正部、Ａ／Ｄ変換器および画像生成部から構成されるチャンネルをもつ検出信号伝送部と、検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成して被検査対象表面の画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる。 （もっと読む）

【課題】カメラの撮影時の解像度を変更しながら部品の撮影を行なう外観検査機において、解像度の切り替えタイミングおよびカメラの移動経路を最適化する。
【解決手段】複数の解像度で基板上の部品を撮影し、前記部品の実装状態を検査する外観検査機における検査条件を決定する検査条件決定方法であって、前記部品の撮影時に要求される解像度は予め定められており、前記複数の解像度の各々について、当該解像度で撮影されるべき部品を含むように少なくとも１つの撮影領域を決定する撮影領域決定ステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、前記撮影領域決定ステップで決定された撮影領域を巡回する最短の経路を決定する経路決定ステップ（Ｓ１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】外観検査方法および外観検査装置において、簡単な構成により、比較用データの入力作業を不要とし、計算処理量の削減、処理時間短縮、高速処理、複雑な外観形状への対応、および高精度の外観検査を実現可能とする。
【解決手段】外観検査装置１は、２次元画像Ｇを撮像するカメラ３と、３次元データ計測用のプロジェクタ４と、計算処理部２０とを備え、欠陥候補部検出手段１１は、２次元画像Ｇから欠陥候補部を抽出し、第１の３次元データ生成手段１２は、被検査物体１０の３次元形状データである３次元データＰ１を生成し、第２の３次元データ生成手段１３は、３次元データＰ１から欠陥候補部を除く領域の３次元データＰ２を生成し、第３の３次元データ生成手段１４は、３次元データＰ２における欠陥候補部の値を補間した３次元データＰ３を生成し、欠陥判定手段１５は、３次元データＰ１，Ｐ３の差分値δＺに基づいて欠陥候補部における欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行なうこと。
【解決手段】矩形状の被検査基板を保持する基板ホルダを水平な状態から目視観察する所定の角度に立ち上げ、この状態で被検査基板の上方からマクロ照明光を被検査基板上面に照射し、かつレーザー光源から出射されたレーザー光を光路分割手段によりＸ方向とＹ方向とに分割し、これら分割された各レーザー光をそれぞれＸ方向とＹ方向との各ガイド部材にそれぞれ移動可能に設けられた２つの反射体により被検査基板側に反射し、２つの反射体をそれぞれＸ方向とＹ方向とに移動させ、これら反射体でそれぞれ反射して被検査基板上の欠陥部に各レーザー光を一致させたときの各反射体のＸ方向とＹ方向への各変位量から位置座標検出部によって欠陥部の位置座標を検出する。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置において表面観察及び裏面観察を行う際の視線の移動を抑える。
【解決手段】外観検査装置１は、基板Ｗの表面を観察するための表面検査装置３１と、裏面を検査するための裏面検査装置３２とを備える。制御部８１は、表面検査時の基板Ｗの位置と、裏面検査時の基板Ｗの位置が略同一になるように各検査装置３１，４１の制御を行う。さらに、背面側には、基板Ｗの中心と検査者とを結ぶ線分に対して僅かに傾斜させたミラー６２が設けられている。ミラー６２側に基板Ｗを傾斜させたときに、ミラー６２で折り返した基板Ｗの画像が取得できるように撮像装置６３が設置されている。 （もっと読む）

【課題】判定方法や表示方法などが変更された場合であっても、大きくプログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置で検査する場合であっても大きくプログラムを作り直す必要のないシステムを提供する。
【解決手段】プリント基板３の形成状態を検査する外観検査システム１において、まず、基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、コア処理手段２１は、この基準画像データの読み出しを行う。そして、プリント基板３の形成状態を判定する複数の判定手段２２から基準画像データの読み出し要求があると、判定手段２２ａ、２２ｂは、独自の判定プログラムに基づいて対応基準データを生成し、その対応基準データと被検査画像を用いて形成状態の良否の判定を行う。そして、その判定結果を、コア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。 （もっと読む）

【解決手段】コンピューター実施の方法、コンピューター可読の媒体、検査装置の一つ以上の光学モードをウエハーの層の検査に用いる候補と同定するための装置を提供する。一つの方法は検査装置と検査装置で使用可能な異なった光学モードを用いて得られたウエハーの層の画像の一つ以上の特性を決定することを含む。その方法はまた一つ以上の画像特性に基づいて第一の部分の異なった光学モードをウエハーの層の検査に用いる候補でないと同定することを含む。さらに、その方法は出力がウエハーの層の検査に用いる候補とされる第二の部分の光学モードを含むように画像が得られる異なった光学モードから第一の部分の光学モードを除外することにより出力を生成することを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥を高速かつ容易に検出し、分類する手法を提供する。
【解決手段】欠陥分類装置では、基板上の検査領域の画像データから複数の欠陥要素が特定され、各欠陥要素の代表点の座標値が取得される。欠陥要素ペア決定部５３では各欠陥要素の代表点を母点としてドローネ三角形分割を行い、複数の三角形を構成する各辺の両端点の欠陥要素により構成される欠陥要素ペアが求められる。判定部５２では、同一欠陥に由来する欠陥要素により構成される複数の欠陥要素ペアが取得される。クラスタ生成部５６では、２分探索木の構造を有し、それぞれが同一の欠陥に由来する欠陥要素の集合である複数のクラスタが生成される。そして、各クラスタに含まれる欠陥要素を包含する欠陥画像が抽出されて特徴量が算出され、各クラスタに対応する欠陥が分類される。これにより、欠陥が高速かつ容易に検出され、適切に分類される。 （もっと読む）

【課題】オペレータの負荷を軽減しつつ、不良ダイのマーキング判断を精度良く行う。
【解決手段】基板検査システムでは、ダイ２が複数配置されたウェハ１の表面を目視により概略的に検査して表面不良箇所を検査するマクロ検査部２０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果に基づき、前記ウェハ１の表面を第１の撮像装置４２により詳細に検査して表面不良箇所を検査するミクロ検査部４０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果と前記ミクロ検査部４０の表面検査結果とを所定のダイレイアウト上に記憶するシステムＰＣ５０内の記憶装置と、前記記憶装置の記憶結果と、前記ウェハ１に対する他の欠陥検査装置６２による欠陥検査結果と、前記ウェハ１に対する電気特性の不良箇所の測定結果とを解析して重ね合わせて前記不良箇所に対するマーキングデータ及び／又はインクレスデータを出力するデータ解析装置６３とを有している。 （もっと読む）

【課題】周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができるようにする。
【解決手段】ワークロール７ａの外周長を基にした長さで切り出された複数の画像データを加算して得られた加算平均画像データ４３ａ〜４３ｃの中から、ワークロール７ａの実際の外周長に合った加算平均画像データ４３を選択することを、複数のコイルについて行い記憶しておく。そして、疵検査対象の加算平均画像データ４３が求められると、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の平均画像データＩ₀と、それら加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の固有画像Ｊ_iとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ４３（Ｉ_n）を線形結合して、周期性のある外乱ノイズを抽出し、抽出した外乱のノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】色の再現性に幅（ばらつき、色ムラおよび／または色あせ）のあるシート状物品における汚れ、破れ、形状不良等の欠陥検査において、模様を欠陥と判定せず、かつ、黒汚れ、非黒よごれおよび破れの判別が可能な検査方法および装置の提供。
【解決手段】複数の異なる色領域を有する検査板と、ＲＧＢ成分からなる複数のラインを撮像可能なカラーカメラとを提供し、検査板上を通過させたシート状物品のＲＧＢ画像データを取得し、Ｒ成分画像、Ｇ成分画像およびＢ成分画像を合成した合成画像を取得し、当該合成画像において変色領域を検出し、変色領域の色が予め記憶した欠陥種別の設定パラメータの範囲に属するかにより欠陥種別を判定することを特徴とするシート状物品の検査方法およびその装置。 （もっと読む）