【課題】検査経路を搬送される容器に照射した光が容器壁部を漏光するのを検出して、容器に生じた小孔を検査する場合に、容器の胴部及び底部の両方を同時に検出可能な容器検査方法及び容器検出装置を提供すること。
【解決手段】容器Ｗを保持して周回するとともに搬送する小孔検査検出回転体と、前記容器Ｗの開口部Ｗ１側を支持するとともに遮光する開口部側支持体と、前記容器Ｗの底部Ｗ２側を支持して前記容器Ｗを前記開口部側支持体に押し付ける押圧部材４０と、前記容器Ｗに光を照射する光源と、前記開口部Ｗ１が遮光された容器内部に配置された光センサ５１Ａを有し前記光源が照射した光の漏光を前記容器Ｗの内部で検出する光検出部とを備えた容器検査装置であって、前記押圧部材４０の前記容器Ｗの底部Ｗ２と当接する部分には、光透過性を有する当接部材４１を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度な白目不良の検査を行なうことができる、半田付け検査方法及び半田付け検査装置を提供する。
【解決手段】ランドは半田で覆われているが、チップ部品の電極と半田にフィレットが形成されておらず、接合が取れていない状態の白目不良を検出する半田付け検査方法であって、基板の表面に垂直な方向から基板の半田部を撮像し、撮像された画像に基づいて白目不良候補を抽出し、抽出された白目不良候補の３次元形状測定を行い、３次元形状測定された形状から抽出された特徴量に基づいて白目不良を検出する検出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体のセル内の隔壁の欠陥を検出することが可能なハニカム構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体１００を検査対象とし、ハニカム構造体１００の一方の端面１１を、一方の端面１１との角度θが０°より大きく９０°より小さくなる方向から、撮像装置２１で撮像して、ハニカム構造体１００のセル内の隔壁の欠陥を検査するハニカム構造体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】撮像した検査対象の画像が、検査領域から外れた場合であっても、検査対象の位置合わせにかかる検索時間を短縮して、検査時間の増大を抑制することができる位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラムを提供すること。
【解決手段】検査測定のための基板画像を撮像する撮像部と、検査測定を行う測定箇所が設定された高倍レシピ画像、および高倍レシピ画像と比して広範囲な視野領域を有する低倍レシピ画像を記憶する記憶部と、高倍レシピ画像と同等の倍率の検査画像の低倍レシピ画像内の位置を検索する検索部と、検索の結果、検査画像の視野領域内から測定箇所が外れている場合、検査画像および測定箇所の位置を含む位置情報を算出する算出部と、算出部が算出した位置情報をもとに、検査画像の視野領域内に測定箇所が入るように撮像部を移動した後、検査画像を撮像させる制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】広範囲領域でのスポット溶接の有無、およびスポット溶接位置の検査を可能とするスポット溶接検査方法および装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接を施した溶接母材に対して斜光を照射する第１の投光機と、上方から溶接母材の画像を取得する撮像機と、第１の投光機および撮像機を搭載し、溶接母材に対する位置調整可能な走査装置と、撮像機からの画像情報を処理する処理装置から構成され、処理装置は、撮像機から得られた３階層レベルの輝度の第１の画像から、中間輝度レベルと中間輝度レベル以外の輝度の２階層レベルの輝度で構成された第２の画像を得、中間輝度レベル以外の輝度の部分をスポット溶接のエッジ部分とする第１の手段、第１の手段によるエッジ部分からスポット溶接の中心位置を決定する第２の手段を備える。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に形成される欠陥で、欠陥単独では面積的に許容レベルの欠陥の中から異常と見なすべき欠陥を抽出するための判定ロジック及び該判定ロジックを備える自動欠陥検査装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、フィルムの搬送機構と、搬送されるフィルムの表面を撮像する撮像機構と、前記撮像データに基づいてフィルム上の異常部分を抽出しその面積を算出する画像処理機構と、を有する自動欠陥検査装置であって、画像処理機構は、予め設定された面積より大きな面積を有する異常部分を欠陥として判定する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を超えた場合に欠陥として判定する機構と、を有することを特徴とする自動欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】画像処理による擬似的な解像度の向上を実現し、検査対象であるワークに存在する欠陥を高精度に検出可能な欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷにおける欠陥の有無を画像処理によって検査する欠陥検査工程Ｓ１であって、基準位置にてワークＷを撮像し、基準画像を作成するステップＳ１１と、基準位置からＸ方向、Ｙ方向、又はＸＹ方向に１／Ｎ（Ｎは２以上の整数）画素ずつずれた位置にてそれぞれワークＷを撮像し、基準画像に対して画素をずらした複数のシフト画像を作成するステップＳ１２と、基準画像、及び複数のシフト画像の各画素の位置に応じて、基準画像の各画素の間に、複数のシフト画像の各画素を補完するように配置して、基準画像のＮ^２倍の解像度を有する判定画像を作成するステップＳ１３と、判定画像に基づいて、ワークＷにおける欠陥の有無を判定するステップＳ１４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】被選別物を選別する精度の向上を図ることができる選別装置を得る。
【解決手段】選別装置１において、一体型検出装置９の第１検出部は、あらかじめ設定された第１検出領域７を被選別物２，３が通過することにより、被選別物２，３の状態を検出する。第１ガス噴射装置１０は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを、第１検出部による検出結果に応じて、第１噴射ノズル１０ａから選択的に噴射することにより、第１検出領域７を通過した被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。第２ガス噴射装置１２は、除去すべき被選別物３を吹き飛ばすためのガスを第２噴射ノズル１２ａから選択的に噴射することにより、第１噴射ノズル１０ａの位置を通った被選別物のうち、一部の被選別物を除去する。 （もっと読む）

【課題】バンプ検査のスループットを向上することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡から入射されたウェハの表面の像をセンスし、ウェハ１の表面の第１の検査画像データを取得する第１の受光センサ６と、顕微鏡から入射された像に対してウェハ１の表面に形成されたバンプの上部の基準位置にピントを補正し、顕微鏡から入射されたバンプの像をセンスし、バンプの第２の検査画像データを取得する第２の受光センサ７とを備え、第１の受光センサ６により取得された第１の検査画像データと、予め取得された第１の基準画像データとを比較し、この比較結果に基づいてウェハの表面の欠陥を検出する第１の画像処理ユニット８と、第２の受光センサ７により取得された第２の検査画像データと、予め取得された第２の基準画像データとを比較し、この比較結果に基づいてバンプの不良を検出する第２の画像処理ユニット９とを備える。 （もっと読む）

【課題】穴欠陥の検出の確実性を高めることができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する
【解決手段】被検査物１０の穴欠陥を画像処理で検査する表面検査装置１であって、被検査物１０を撮像する撮像手段２と、撮像手段２が撮像した撮像画像を２値化する２値化手段と、被検査物１０の穴欠陥の有無を判定する判定手段とを備えており、２値化手段は、設定に応じて変化する各輝度値を基準として２値化画像を算出し、判定手段は、異なる輝度値で２値化した複数の２値化画像に基いて穴欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド先端部に接触センサを搭載し欠陥との接触によりこれを検出する方法によっては、欠陥検出時に欠陥を引きずりウエハ表面に傷をつける可能性がある。
【解決手段】
試料の表面に照明光を照射するプリスキャン照射工程と、散乱光を検出するプリスキャン検出工程と、該散乱光に基づき該試料の表面に存在する所定の欠陥の情報を得るプリスキャン欠陥情報収集工程と、を備えるプリスキャン欠陥検査工程と、該試料の表面と近接場ヘッドとの距離を調整して該試料の表面を照射する近接場照射工程と、近接場光応答を検出する近接場検出工程と、該近接場光に基づき所定の欠陥の情報を得る近接場欠陥情報収集工程と、を備える近接場欠陥検査工程と、該所定の欠陥の情報をマージして該試料の表面に存在する欠陥を検査するマージ工程と、を有する試料の表面の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】検査完了までに要する時間の増加を抑制しつつ詳細な欠陥レビュー検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板ＷをＸ方向へ搬送する基板搬送ユニット２２と、Ｘ方向へ搬送中の基板Ｗにおける欠陥を検出するラインスキャンカメラ１５、ラインスキャンカメラ駆動部１１５、欠陥検出部１２１および制御部１０１と、検出された欠陥の画像を同搬送中に取得するレビューカメラ１９、レビューカメラ駆動部１１９および制御部１０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】溶接部表面の溶接欠陥を短時間かつ定量的に検査可能である溶接表面の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物であるワーク１の溶接部６表面に発生した溶接欠陥２を検査するための溶接表面の欠陥検査方法であって、画像撮像手段であるカメラ３により前記ワーク１の溶接部６表面の画像を撮像し、当該撮像された画像の濃淡判別を行って、前記溶接部６表面における溶接欠陥２の位置を検出する溶接欠陥検出工程と、前記溶接部６表面の同一位置にある溶接欠陥２に対して複数のレーザ変位計４ａ、４ｂを用いて変位量を測定する変位量測定工程と、を有する。 （もっと読む）

【目的】焦点位置の異なる検査画像を取得することでマスクの高精度な欠陥検出を実現するマスク欠陥検査装置を提供する。
【構成】光源と、光源から出射された光を第１および第２の検査光に分岐してマスクの同一面の異なる領域に照射する照明光学系と、マスクに照射された第１および第２の検査光を、第１および第２の像として同一像面に結像する結像光学系と、第１の像と第２の像を、それぞれ拡大する第１および第２の拡大光学系と、第１および第２の拡大光学系で拡大された第１および第２の像をそれぞれ撮像する第１および第２の画像センサと、第１および第２の画像センサで撮像された第１および第２の像の画像である、第１および第２の検査画像と、基準画像とを比較して前記マスクの欠陥を検出する比較部と、を備え、第１の拡大光学系の像面に対する焦点位置と、第２の拡大光学系の像面に対する焦点位置とを所定の量だけずらす機構を有することを特徴とするマスク欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインに新たな製品種別が追加された場合であっても、比較的容易にしきい値を決定することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 ウエハの表面にレーザビームを入射させて、該表面からの散乱光の強度分布に基づいて欠陥を検出し、検出された欠陥に起因する散乱光の強度と判定しきい値とを比較して、比較結果に基づいて欠陥が計数される。まず、（ａ）第１の工程の処理が終了した第１の製品種別のウエハの欠陥検査要求があると、該第１の製品種別の該第１の工程に関連付けられた判定しきい値が既に登録されているか否かを判定する。（ｂ）工程ａで、判定しきい値が既に登録されていると判定された場合には、既に登録されている判定しきい値に基づいて欠陥を計数し、まだ登録されていないと判定された場合には、新に判定しきい値を決定して欠陥を計数するとともに、新に決定された判定しきい値を、第１の製品種別の第１の工程に関連付けて登録する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】研削砥石や研磨砥石を用いて面取り加工が施されたガラス板等の端面の微細な凹凸の程度、すなわち表面粗さの検査を行うことが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】搬送ライン上を搬送される光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面の表面状態を検査する端面検査方法において、固定配置された撮像手段を用いて、当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面全域をカバーする複数ショット分の画像を連続撮像するステップと、前記連続撮像された複数ショット分の画像を、前記面取り加工が施された端面の表面粗さに相関するデータとして記憶装置に保存するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板の外観検査における誤判定を防止するとともに、外観検査の作業効率を向上することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】セラミック基板を個別に収容するためのトレイと、セラミック基板をトレイを背景にして撮像した第１の画像を得るための第１の撮像装置と、トレイに振動を加えるための振動装置と、振動装置により振動が加えられた後に，セラミック基板をトレイを背景にして撮像した第２の画像を得るための第２の撮像装置と、第１及び第２の画像を演算処理するための画像処理部とを有し、第１の画像の画像処理時に検出された暗色系領域の発見エリアに関する位置座標データと、第２の画像の画像処理時に検出された暗色系領域の発見エリアに関する位置座標データとが一致した場合にそのセラミック基板は不良品と確定されることを特徴とする外観検査装置による。 （もっと読む）

【課題】効率よく短時間で、かつ高精度で検査することが可能な微細部品外観自動検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の微細部品外観自動検査装置は、外観検査前の微細部品が収容された供給トレイ、外観検査で良と判定された微細部品が収容される収納トレイ、検査対象の微細部品がセットされるインデックステーブル、検査対象の微細部品を前記供給トレイから前記インデックステーブルへと移動する供給ノズル、前記微細部品を前記供給トレイから前記インデックステーブルへと移動する途中で前記微細部品の裏面を撮影する裏面撮像カメラ、前記インデックステーブルにセットされた前記微細部品の表面を撮影する表面撮像カメラ、前記裏面撮像カメラおよび前記表面撮像カメラによって得られた画像情報と予め入力された前記微細部品の基準データとを比較して微細部品の外観検査の良否の判定を行う外観検査データ処理装置、および外観検査で良と判定された微細部品を前記インデックステーブルから前記収納トレイへと移動する収納ノズルを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物及びスライダの損傷を回避して、微小な欠陥を検出することが可能な平滑面検査装置を提供する。
【解決手段】測定対象物３を支持するステージ２６と、ステージ２６を回転させるスピンドル４と、測定対象物３に光を照射する光源５と、測定対象物３からの散乱光を信号化する光検出部８と、散乱光７を第１の欠陥の情報に変換する信号処理部１１と、第１の欠陥の情報を記憶する第１のメモリ部１２とを有する第１のパートと、第１の欠陥よりも小さい第２の欠陥を検出し、接触センサが搭載されたスライダ９と、スライダ９を浮上させるロード・アンロード機構と、第１のメモリ部１２に記憶された第１の欠陥の情報に基づいて、ロード・アンロード機構２２を制御するスライダ制御部１４と、接触センサ信号処理部１６で変換された第２の欠陥の情報を記憶する第２のメモリ部１７とを有する第２のパートとを備える。 （もっと読む）