【課題】箱詰めされる物品の種類、形状、重量などを問わず、物品や仕切板の欠落など、種々の箱詰め不良を非接触で検出することを可能とする。
【解決手段】複数個のガラスびん１が整列された状態で箱詰めされる箱詰め物１２の箱詰め状態を検査する。準備工程では適正な箱詰め状態の箱詰め物１２を撮像して得られる基準画像について各ガラスびん１が整列配置される位置に検査領域をそれぞれ設定して、各検査領域内の基準画像についての濃度分布に関する情報を抽出することにより検査領域毎の基準となる情報を取得する。検査工程では検査対象の箱詰め物１２を撮像して得られる検査対象画像について各ガラスびんが整列配置される位置に検査領域をそれぞれ設定して、各検査領域内の検査対象画像についての濃度分布に関する検査情報を抽出した後、各検査情報を前記基準となる情報と対比して箱詰め状態の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】ロールが設置されていない位置に存在する材料に光を照射して材料の表面を検査する際に、検査対象から除外するマスク範囲を適切に設定する。
【解決手段】ロール７が設置されていない位置に存在する材料８−１，８−２に帯状光を照射して材料８−１，８−２の表面を検査する際に、しきい値設定手段５１は、撮像領域における画素位置毎の反射光の強度から、全体の強度の平均値Ａを算出し、平均値Ａに基づいて、強度の高い画素位置における平均値Ｂを算出すると共に、強度の低い画素位置における平均値Ｃを算出し、これらの平均値Ｂ，Ｃの中点値Ｄに基づいてしきい値αを設定する。マスク範囲設定手段５２は、撮像領域における画素位置毎の反射光の強度としきい値αとを比較し、ｘ軸上で隣り合う画素位置において、反射光の強度がしきい値αを上回ってまたは下回って変化する画素位置を特定し、特定した画素位置からマスク範囲を設定する。 （もっと読む）

【課題】検査の定量性を確保するとともに、作業効率を改善するフォトマスク洗浄システムを提供する。
【解決手段】フォトマスクを洗浄する洗浄装置と、フォトマスクに付着している異物を検出する異物検出手段を有し洗浄装置により洗浄されたフォトマスクを検査する検査装置と、検査装置による検査結果に基づいてフォトマスクに異物が付着している箇所を再生部位として指示する指示手段を有し当該フォトマスクを再生する再生装置と、洗浄装置、検査装置および再生装置との間でフォトマスクを運搬する運搬装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】原子力容器の外観検査のためのシステムおよび装置を提供する。
【解決手段】システムは、原子力容器１０１の中の領域へ移動可能である、潜水可能に遠隔作動される車両（ＳＲＯＶ）システム１０５を含む。ＳＲＯＶシステム１０５は、原子力容器コンポーネントの外観検査のための操縦可能な検査カメラ組立体を含み、検査カメラ組立体は、ＳＲＯＶシステム１０５に関連して操縦可能である。また、システムは、原子力容器の中の領域から離れた領域に配置された制御システム１１５も含む。制御システム１１５は、ＳＲＯＶシステム１０５の移動および検査カメラ組立体の操縦を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】表面に微小凹凸を有する加工品においても、バリ等の欠陥を正確に識別できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、検査台上に固定された被検査体１０を撮影するＣＣＤカメラ２、ＣＣＤカメラ２で撮影した画像を取り込んで記憶し、記憶した画像を解析する画像解析装置３、ＣＣＤカメラ２の同軸上に配置された落斜照明４、被検査体１０にエアを吹き付けるエアブロー装置５を有している。加工品１０にエアを吹き付けながら撮影したエアブロー中画像と、前記加工品１０にエアを吹き付けずに撮影したエア無し画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスの洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄条件の調査に有用な光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段２と、潜傷付与手段２により付与された潜傷の形状を測定する第１の形状測定手段３と、第１の形状測定手段３により潜傷の形状を測定された光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、潜傷を拡大させる洗浄手段４と、洗浄手段４による洗浄後に、潜傷の形状を測定する第２の形状測定手段５と、第１の形状測定手段３及び第２の形状測定手段５で得られた結果から光学ガラスの洗浄前後の潜傷の状態を対比する対比手段６と、を有する光学ガラスの潜傷評価装置１。 （もっと読む）

【課題】マスク基板のレジストパターンを短波長、高出力光源を使用する検査装置を用いて検査するとアウトガスが発生し、検査装置の光学系の性能を劣化させる要因となるため、検査装置の性能を劣化させることなくレジストパターン検査を行う装置を提供する。
【解決手段】レジスト検査装置のマスク固定ホルダー１９にマスク基板７を固定する事によりレジスト７ａ面、支持体２１、透光性保護部材２２により密閉空間３１を作り、さらに透光性保護部材２２の支持体２１に設けた通気穴２３、２４を通して不活性ガス２７を密閉空間３１に供給、排気する。これにより、レジスト７ａへの光２９の照射により発生するアウトガス２８を密閉空間３１外に強制的に排出させ検査装置の劣化を防ぐと共に、マスク製造途中工程でのレジスト欠陥検査を可能とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線を用い、空間分解能数ミクロン以下で液体ナトリウム中の可視化が行えるようにする。
【解決手段】フッ化マグネシウム窓２８を備えナトリウム中に浸漬可能な紫外線照射・検出装置１０、及びナトリウムバウンダリ外に設置される画像化装置１２を具備し、紫外線照射・検出装置は、ナトリウムバウンダリ外から供給される外部エネルギーにより波長１００〜１３０ｎｍの真空紫外線を発生し、その紫外線をフッ化マグネシウム窓を通して液体ナトリウム中の被検査体に向けて照射する紫外線発生部２２と、該被検査体からの反射・散乱光をフッ化マグネシウム窓を通して検出し可視光へ変換する紫外線検出部２４を備えた構造とする。紫外線検出部２４で得られた光信号は、多チャンネル光ファイバケーブル１４によって前記画像化装置へ送られ、可視化できる状態となる。 （もっと読む）

【課題】傷部の検出精度を向上させた高温自動探傷装置を提供する。
【解決手段】被検査体２を搬送する搬送工程３と、この搬送工程３の中途部に設け、被検査体２を高周波誘導過熱コイル内に通過させて、被検査体２の表層部に渦電流を流して加熱し、表層部に温度変化を与える加熱工程４と、この加熱工程４により加熱後の表層部を検出装置７で探傷するとともに、検出装置７から取得した画像を画像処理することで表層部の傷部の有無を判定する探傷工程５とを備え、探傷工程５は、加熱工程４の前側に、表層部上のスケールを除去するデスケール装置１０および渦電流を流す前の表層部の傷部を探傷する検出装置６を、それぞれ被検査体２の搬送方向順に設置し、被検査体２を、加熱工程４前後の両検出装置６，７から得た、渦電流を流す前後の表層部の画像を解析することにより、表層部の探傷を行う。 （もっと読む）

【課題】金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】検査面２に対面するように反射板３を配置し、反射板３の検査面２に面する側（反射面４）については拡散反射率ｋが７０％以上であり、検査面２を撮像する撮像装置６を配置し、照明用の光源５を配置して光源５から反射面４に光を照射しつつ、撮像装置６によって検査面２を撮像する。反射面４の大きさを十分な大きさとすることにより、検査面に幅広い方向から光が均等に入射するので、検査面２の非欠陥部９のいずれの部位についても十分な明度が確保される。そのため、欠陥部８を十分なコントラストで撮像することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に、曲がりや間隙等の異状が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】 小さなサイズの残留物から大きなサイズの残留物まで様々なサイズの残留物を同時に検出することが可能な画像処理を行うことで測定精度を向上させた残留物測定方法を提供する。
【解決手段】
濾過フィルタ上の残留物 (屑や粉等)を撮像し、取得した画像データを分岐させて、分岐した画像データのうち一方の画像データに対して直ちにラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＰ以下として所定サイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、かつ、他方の画像データに対してオープニング処理とクロージング処理のいずれか１種以上の処理を行ってからラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＱ以上とし当該ＱとＰはＱ＜Ｐの関係とすることで、前記所定サイズよりも大きなサイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、引き続き、これら特徴抽出された画像処理領域同士を結合した後に再度のラベリング処理を行う。 （もっと読む）

原石の画像を取得し、前記画像の定量的な解析を行い、原石の特性の尺度を得るシステムである。当該システムは、原石を観測位置に支持するサポート構造を有する。照射構造は、原石を照射するように配置される。照射構造は、観測位置に向かうように配向された、複数の指向性光源を有し、サポート構造および照射システムは、回転軸の周りを、相互に対して回転可能であり、原石は、複数の回転位置の各々において、1または2以上の指向性光源によって照射され、回転軸は、原石の選定されたファセットに対して垂直である。回転位置の各々での原石の画像を取得するため、原石に向かって画像化装置が配向され、この画像化装置は、回転軸に平行なまたは前記回転軸に一致する画像化軸を有する。個々の光源からの個々のファセットによる反射に対応する画像において、スパークル領域を同定し、該スパークル領域の特性に基づいて、原石の定量的尺度を提供する画像プロセッサが提供される。

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【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】検査する領域の的確な決定を容易とする基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】基板検査装置は，基板のパターンを記憶するパターン記憶部と，前記基板に検査ビームを照射する照射系と，前記基板からの前記検査ビームの透過，反射，または散乱を受け取り，対応する信号を出力する受取部と，互いに並列な複数の走査線に沿って，前記基板上で前記検査ビームを走査する走査部と，前記複数の走査線にそれぞれ対応する複数の領域に前記基板を区分する領域分割部と，前記複数の領域それぞれから，前記パターンの所定の特徴量を抽出する特徴量抽出部と，前記抽出される特徴量に基づき，前記複数の領域から検査する領域を決定する検査領域決定部と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】ケース１５内の検出ユニット１４内に設けられたウエハチャック７に載置されたウエハ１を高速回転することにより検査する表面検査装置において、ＦＦＵ３により検出ユニット１４内のウエハ１周辺に清浄な空気を供給し、ウエハチャック７の下方に設けた排気口により検出ユニット１４内の空気を排出することにより、ウエハチャック７の下方に設けられ回転機構４によって、ウエハチャック７及びウエハ１が高速回転する場合に、その周辺に生じる乱流を層流にする。 （もっと読む）

【課題】ロール表面の凹凸がベルト状被検査体上にノイズとして表れることを防ぎ、高感度な検出を行う表面検査装置を提供する。
【解決手段】ベルト状の被検査体である感光体ベルト１を張架する駆動ロール２と従動ロール３と、感光体ベルト１の表面に照射光を出射する光源６と、照射光による感光体ベルト１表面からの反射光を受光するラインセンサ８と、を備えた表面欠陥検査装置において、感光体ベルト１を裏面から押圧して感光体ベルト１に張力を付与するアイドルロール対２１を備え、アイドルロール対２１による張力付与位置を、ラインセンサ８の受光視野Ｖを挟むように近接配置した。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、液晶表示パネルの表面をエア圧により押圧するためのエアが噴出されるエア噴出口が長手方向に複数配置されたエア噴出バーを、液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させることにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】フィルム表面に発生した微細欠陥までも高感度に検出することができる。
【解決手段】投光機２２から透明フィルム１２面に照射された検査光２０がフィルム表面で反射する反射散乱光を受光機２４で検出し、検出結果に基づいてフィルム表面の微細傷１４を検査するフィルム欠陥検査方法において、透明フィルム１２を、その長さ方向及び幅方向に引っ張ってフィルムの平面性を保持しながら、投光機２２を微細傷１４の発生方向と略平行に配置した状態で検査光２０をフィルム表面に照射すると共に、受光機２４を微細傷１４の発生方向と略平行に配置した状態で反射散乱光を受光する。 （もっと読む）