【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】少ない数の入力画像により高精度に画像検査を行うことができ、かつデータ処理の負担を低減することのできる画像検査装置を提供する。
【解決手段】基準空間の算出に利用する基準画像を複数の分割基準画像に分割する第１分割部１０４と、分割基準画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、画像検査の対象となる被検査画像の良否判定に利用する閾値を決定する閾値決定部１１０と、被検査画像を、複数の分割被検査画像に分割する第２分割部１２４と、分割被検査画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、代表値を決定する代表値決定部１２８と、代表値が閾値よりも大きい場合に、被検査画像に異常があると判定する良否判定部１３０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】 板状ガラスをマスクブランク用ガラス基板の形状に加工する１次形状加工工程と、前記ガラス基板の一端面を鏡面研磨し、波長２００ｎｍ以下の検査光を導入して内部欠陥から発生する蛍光の有無を検査し、蛍光が検出されないガラス基板を選定する欠陥検査工程と、前記選定されたガラス基板を研削および研磨を行う２次形状加工工程とを有し、前記欠陥検査工程における前記ガラス基板内の内部欠陥から蛍光が発生するのに必要な強度の検査光が届く領域の両主表面間方向の幅は、２次形状加工工程後のガラス基板の両主表面間の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物に存在する緩やかな凹凸の傾斜の測定が可能な凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】走査初期において、凸欠陥２０１の左斜面からの反射光を反射光強度測定器１０８に入射する方向に反射させることにより、この部分で凸欠陥２０１が明るく見える。さらに走査して、反射強度測定器１０８が凸欠陥２０１の右斜面を通過すると、右斜面からの反射光は、２０７に示すように反射光強度測定器１０８からより遠ざかる方向に反射するので、この部分では凸欠陥が暗く見える。この一連の走査を組み合わせることにより、反射光強度測定器１０８において、凸欠陥２０１は中心より上部分の反射光強度が大きく、中心より下部分の反射光強度が小さくなって検出される。 （もっと読む）

【課題】防湿剤が適切に塗布されているかどうかを検査する基板検査装置を提供する。
【解決手段】紫外線が照射されることにより蛍光を発する蛍光剤を含む防湿剤の塗布されたプリント基板を検査する基板検査装置１であって、プリント基板に紫外線を斜めに照射する紫外線照射部１１と、プリント基板の画像を撮影する撮影部１３と、防湿剤の塗布されるべき領域を示す基準情報が記憶される基準情報記憶部１５と、撮影部１３が撮影した、紫外線照射部１１からの紫外線が照射されたプリント基板の画像から、蛍光領域の画像を取得する蛍光領域画像取得部１４と、取得された蛍光領域の画像の輝度を所定のしきい値と比較した結果と基準情報とを用いて、防湿剤の塗布されるべき領域に防湿剤が塗布されているかどうか判断する判断部１６と、その判断結果を出力する判断結果出力部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シート状透明体の欠陥検査方法において、凹凸を主とした形状欠陥を確実に検出する光学的検査方法を提供する。
【解決手段】シート状透明体の欠陥検査方法であって、検査対象のシート状透明体を光学反射体上に配置する工程、光学反射体上に配置されたシート状透明体に光を照射する工程、光が照射されたシート状透明体からの反射光を受光して反射像を得る工程、該反射像より欠陥を検出する工程、を有する。前記光学反射体の可視域における平均反射率が６０％以上である。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージの表面の汚れ等が欠陥として検出されることを抑制するために浮上ステージに溝部を設けた光学検査装置において、被検査基板の浮上精度を向上させることができる光学検査装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する被検査基板１を浮上させる浮上ステージ２と、浮上ステージ２上に浮上している被検査基板１を搬送する搬送機構３と、浮上ステージ２上に浮上搬送されている被検査基板１の表面に照明光を照射する照明光学系４と、照明光学系４が照射した照明光の被検査基板１からの反射光を捉える撮像光学系５と、を備え、被検査基板１を透過した照明光学系４からの照明光が照射される浮上ステージ２上の領域に対応して、両端に壁面６ａを有する溝部６が浮上ステージ２に形成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の観察に際して、試料の動きを制限し、向きを調整するための特段の操作や処理を必要とせず、また、試料に対して従来よりも広い角度からの観察を簡便に行なうための試料の観察システム、及び試料の観察方法の提供。
【解決手段】重力によって上下方向が規定される試料の試料観察システムであって、前記試料を含む液体を保持するための貫通した空孔を少なくとも１つ有する試料ホルダと、前記試料を観察するための観察手段と、前記試料ホルダと前記観察手段との相対角度が固定された状態で、前記試料に作用する重力の方向に対する前記観察手段の角度を変化させるための角度調節手段とを少なくとも含むことを特徴とする試料観察システム。 （もっと読む）

【課題】長尺でロール状の多孔質電極基材の連続移送時において、多種類の外観欠陥を高精度で且つ効率的に自動的に連続検査が可能な外観欠陥の自動検査方法とその検査結果及び欠陥位置を直ちに確定できる多孔質電極基材の巻体を提供する。
【解決手段】多孔質電極基材(1) の表面に検査光を照射し、その透過光、正反射光及び散乱光を撮像し、それらの撮像データを画像処理部(4) にて解析し、その欠陥の種類、存在位置を記録媒体に記録しつつ連続して巻き取る。巻き取られた巻体に、前記外観欠陥自動検査による検査結果を記録した記録媒体が添付される。 （もっと読む）

【課題】タイヤの例えば内面や外面の外観検査において、効率よくタイヤを撮像することにより検査にかかる処理時間を短縮し、かつ、撮像された画像を精度よく合成することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】周方向に相対的に位置ずれして配置され、かつ互いにタイヤの幅方向に撮像位置がそれぞれ異なるように設定された複数のカメラ１１〜１３により撮像して得られるタイヤの内周面の各撮像画像を合成して検査するタイヤの検査装置において、タイヤが複数のカメラ１１〜１３と相対的に周方向に回転されて、撮像動作が全カメラ１１〜１３で行われるときに、全カメラ１１〜１３の撮像画像中に同一時刻でマーカを入れて、全カメラ１１〜１３が撮像した撮像画像を合成するときに、このマーカを各撮像画像の基準位置として用いて、カメラ１１〜１３間の周方向の相対的位置ずれ量に見合うように撮像画像を位置合わせして合成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 記録紙の繊維配向方向と光照射方向との関係次第では、同じ記録紙であっても、異なる判別結果になってしまう恐れがある
【解決手段】 画像を形成する記録紙の表面状態を検出する画像形成装置であって、第１光束と第２光束を出射する光源と、前記第１光束に照射された状態の記録紙表面の第１画像、及び、前記第２光束に照射された状態の記録紙表面の第２画像を撮像する撮像器と、を有し、前記第１光束の中心の光線を含む直線と前記第２光束の中心の光線を含む直線とを夫々記録紙表面に投影すると交差しており、前記第１画像及び、前記第２画像に基づいて記録紙表面の凹凸に関する情報を検出することを特徴とする画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ光入射角が異なっても適確な溶接品質の評価が可能なレーザ溶接品質評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】入射角が可変のレーザ光Ａを被溶接物Ｗに照射して行ったレーザ溶接の品質評価において、レーザ光照射位置及びその周辺のレーザ反射光Ｂの分布情報を取得する反射光分布情報取得回路１０と、被溶接物Ｗに対する入射角情報を取得する入射角情報取得回路１１と、反射光分布情報取得回路１０からのレーザ反射光分布情報を入射角情報取得回路１１からの入射角情報に対応付けて解析した結果と予め取得しておいた入射角情報毎のレーザ反射光分布情報の解析結果群とに基づいて溶接品質を判定する溶接品質判定回路１３とを設ける。レーザ光入射角に応じてレーザ反射光分布情報を解析し、変化する溶融金属及びキーホールの形成状態（溶接品質）をレーザ入射角毎に評価可能とした。 （もっと読む）

【課題】内面の模写に関する可能性が拡大されて工作物内の空所の内面を模写する装置を提供すること。
【解決手段】工作物６の空所の内面４を模写する装置２は、画像撮影器１０と後方配置された評価装置とに画像伝送接続していて全面視界を備える光学システム８を有する。この装置２は更に内面４の光学システム８により把握された模写領域を照明する光源１８を備える照明配列手段１６を備えている。この発明によると、照明配列手段１６は光学システム８に対して、模写領域の第一軸方向部分が明視野照明で、同時に模写領域の第二軸方向部分が暗視野照明で照射できるように、配置されて且つその照明配列手段の光線路が選択されている。 （もっと読む）

【課題】透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム。
【解決手段】本願発明のシステムは、複数の検出チャネルを備え、その各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、該サブストレートと該照明コンポーネントと複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの間の相対運動を生成するための移送モジュールと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも２つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供しその検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。ここで、複数の検出チャネルの少なくとも２つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントである。本願発明によって記述される方法とシステムは、実際の欠陥を検査されたサブストレートをクリーニングする必要がない疑似欠陥から識別することができる。 （もっと読む）

【課題】表面が研磨されたウエハ等の基板の表面、特に基板のエッジ部分の欠陥を検査するための効率的な照明を行う検査用照明装置を提供すること。
【解決手段】照射光に対してウエハ等の基板を相対的に移動させることにより、検査対象部を走査しながら検査する検査装置の検査用照明装置において、照明用光源からの照射光のうち、基板の相対移動方向（走査方向）の照射光を基板表面に集光するように反射させるために、断面が放物線（または楕円）等の曲線形状の反射面を有する反射部材を備えており、光源からの光を基板表面の検査領域上に集光するように反射させることにより、照射光を有効に被検査対象部に照射する。これにより、光源からの走査方向の光を検査部に集光して、効率的な照明を行うことにより、検査部からの散乱光を増やしてより正確な検査を可能とする。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１,１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９,１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】熱延終了直後のコイル状に巻いた熱延鋼帯側面の欠陥を検知し、次工程である酸洗ラインへの通板可否を判定し、不可の場合は鋼帯をそのまま展開可能なラインで展開・検査を行う、熱延鋼帯の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】熱延終了直後のコイル状熱延鋼帯の側面を撮像する、コイル状熱延鋼帯の側面撮像ステップと、撮像した画像の画像処理を行い側面欠陥の検出ならびに欠陥発生位置の同定を行う側面欠陥の検出ステップと、次工程への通板可能かどうかの判定を行う通板可否判定ステップと、通板不可と判定すれば、判定対象コイル状熱延鋼帯および前記側面欠陥の検出ステップで得た欠陥情報を検査可能ラインへ搬送・伝送する検査可能ラインへの搬送・伝送ステップと、前記検査可能ラインで搬送されたコイル状熱延鋼帯を展開・検査する、展開・検査ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】記録材の繊維配向方向の影響を受けることなく、精度良く記録材を判別することが可能な記録材表面検出装置、及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】記録材Ｐの表面状態を検出する記録材表面検出装置４０であって、光を照射する照射用ＬＥＤ４２、光照射領域を表面画像として撮像するＣＭＯＳエリアセンサ４３Ａ、４３Ｂ、記録材Ｐの表面の凹凸状態に関する情報を検出する駆動・演算部４０Ｃ、を有し、ＣＭＯＳエリアセンサ４３Ａ、４３Ｂは、第１光照射領域と第２光照射領域とをそれぞれ撮像しており、照射用ＬＥＤ４２が記録材Ｐに光を照射している状態において、照射用ＬＥＤ４２と第１光照射領域とを結ぶ直線を記録材Ｐに投影した直線と、照射用ＬＥＤ４２と第２光照射領域とを結ぶ直線を記録材Ｐに投影した直線とが交差する。 （もっと読む）

【課題】充填し封緘した容器を検査するために手間がかからずコンパクトな構造で確実に検知する装置を提供する。
【解決手段】検査する容器Ｆをその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置２０と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台４に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台３から直接、第二回転台に移すことができる。 （もっと読む）