【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】 物体の欠陥を検出するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 物体２０を透過する波長の光５０を照射することによって物体２０を局部的に照明するステップ１０と、直接透過した照射光の部分４８の検出を少なくとも部分的に回避しつつ、かつ１回反射した照射光５０の部分５３ａ、５３ｂの検出を少なくとも部分的に回避しつつ、複数回反射した照射光５０の部分を検出するステップ１２と、検出した照射光５０の部分の強度の差を評価することによって欠陥２２を識別するステップ１４とを備える、物体２０の欠陥２２を検出するための方法ならびにこの方法を実施するための装置。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】地合ノイズによって誤検出を生じることのない、リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】対象物を照射するリング照明装置であって、リング状の光出射部と対象物の中間に、前記光出射部と同心円状で、かつ、前記光出射部より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板を備え、対象物に前記光出射部からの直接光が照射されないようにする。 （もっと読む）

【課題】反射性表面を有する対象物をほぼ自動的に迅速に検査する方法および装置を提案する。
【解決手段】一方向（４６）に分配した多数の表面点（５４，５８，６２）を備える対象物（２６）の表面（２８）を光学的に検査するための装置は、明暗パターン（１６ａ，１６ｂ）を生成するパターン生成器（１２）と、それぞれ１つの表面部分（５２，５６，６０）のみを示す画像（ａ〜ｆ）を撮影するカメラ（３２）と、カメラに対して所定方向（４６）に対象物を移動させ、表面点を連続的に検出する加工物収容部（２０）と、パターン生成器、加工物収容部およびカメラを制御し、明暗パターンと共に表面点を撮影する制御・評価ユニット（３４）とを備える。関連した時系列で、パターン生成器は異なる明暗パターンを準備し、カメラは常に同じ表面点に向けられ、明暗パターンは同じ周期（２４）の強度分布（２２）を備え、配列の３つの明暗パターンは、異なる位相位置で配置された同じ強度分布を有する。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】高スループットかつ高感度の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】広帯域波長の照明を用いて結像性能を向上させることが有効である。そこで、従来の屈折型光学系より広帯域波長の照明が使用可能な反射型光学系を用い、更に良好な収差状態を得られるレンズ外周部の円弧形状のスリット状視野にする。しかしこの方式は、受光面での各検出画素寸法の違いによる明るさの差と、センサの出力配列を視野内の位置座標に対応付けることが課題である。課題を解決するために、明るさの差及び座標を画素位置に応じて個別に補正する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】基板１を搭載するステージ１０に、基板１の下面を支持するブロック１２を検査光の走査方向と直交する方向に所定の間隔で複数設けて、ブロック１２間に検査光の走査方向の溝を形成する。ステージ１０と、投光系及び受光系を有する光学系とを互いに逆方向に移動し、ステージ１０の移動と光学系の移動とを並行して行いながら、断面の長さＬがブロック１２の間隔より短い帯状の検査光を投光系からステージ１０に搭載された基板１のブロック１２で支持されていない部分へ検査光の走査方向に沿って斜めに照射して、検査光による基板１の走査を行う。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材３６のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】実際の光学系を用いてゴーストを検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】発光ダイオードＬＥＤと絞りＡＰをＸ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に移動させ、撮像素子ＣＣＤをＺ軸方向に移動させながら、ゴーストの検査を行うことで、ゴーストが発生する、光学系ＯＰＳに対する、発光ダイオードＬＥＤ、絞りＡＰ、撮像素子ＣＣＤの相対位置がわかる。 （もっと読む）

【解決手段】サンプル表面の粗度によるスペックルノイズを最小限に抑える暗視野検査システムは、ウェハ上に合成集束照射線を生成するための、複数のビーム成形経路を含み得る。各ビーム成形経路は、傾斜角でウェハを照射することができる。複数のビーム成形経路は、リング状照射を形成することができる。このリング状照射は、スペックルの影響を低減することにより、ＳＮＲを改善することができる。対物レンズは、ウェハからの散乱光を捕捉することができ、画像センサーは、対物レンズの出力を受け取ることができる。ウェハの照射が傾斜角で実施されるため、対物レンズは高いＮＡを有し得、このことによって、画像センサーの光学解像度、および結果的に得られる信号レベルが改善される。 （もっと読む）

【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、少なくとも熱線及び紫外光を含む光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光のうち、紫外光を透過し、熱線を吸収する紫外光透過性熱線吸収膜と、前記紫外光透過性熱線吸収膜を保持する波長選択フィルタを有し、所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に前記紫外光を用いた直線偏光を照射する照明部と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出する検出部と、検出部で検出された偏光成分に基づいて、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、照明部または検査部の光路上に、直線偏光または偏光成分を得るための偏光板３４が密閉部材３６により外気に対して密閉された状態で配設される。 （もっと読む）

【課題】
検査対象の偏光特性を有効に利用し、より高い検査感度を得るには、照明の偏光を同じ方向と仰角、波長において、偏光のみが異なる光を照射し、偏光による検査対象からの反射、回折、散乱光の違いを見なければいけない。これを従来技術にて行うと、偏光を切り替えた複数回の測定が必要となり、検査装置の重要なスペックである検査時間の低下を招く。
【解決手段】
照明ビーム断面の微小面積内に複数の偏光状態を変調し、各微小面積からの散乱光をセンサの各画素に、個別かつ同時に結像させて複数偏光照明条件の画像を一括で取得することで、スループットを低下させること無く検査感度向上、分類・サイジング精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】 微細ゴミは通常、物体の凸部外表面より凹部底面や内壁面により多く溜まってしまう。ところが、微細ゴミの検出に不可欠な凹部底面や内壁面に沿った水平接面光照射が可能な照明器具が現在見当たらない。
【解決手段】 作業者が手にした照明器具の観察進入角を問わず、照明器具の先端を被検査面に当てた瞬間に、常に反射ミラーの傾斜角が自動的に仰角θの１／２傾斜角８となる追従機能を持たせることにより、水平接面光の照射が可能となり、底の深い凹部底面や内壁に付着する微細ゴミの検出ができる微細ゴミ観察用照明器具。 （もっと読む）

【課題】欠陥が連続して多発しても検査処理性能の低下を抑え、検査装置自体が処理不能
な状態になることを防ぐ印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】同一絵柄が繰り返し印刷された印刷物の印刷欠陥を検出する印刷物検査装置であって、撮像用トリガ信号を発生する信号発生手段と、撮像用トリガ信号を得て印刷物を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された被検査画像と被検査画像を撮像する以前に撮像された基準画像を比較して印刷欠陥を検出する画像処理手段と、連続して印刷欠陥が多発した場合には欠陥多発と判定する欠陥多発判定手段と、欠陥多発と判定された場合は検査処理を即時に中断する検査処理中断手段と、中断の後検査処理を再開するための検査再開手段と、を備えたことを特徴とする印刷物検査装置。 （もっと読む）

検査装置は、イメージ化ゾーンへ物品の流れを送る供給システムを備える。カメラは、上記ゾーンにおいて上記流れからコンピューター処理用のイメージデータを生成する。コンピューターは、イメージデータから複数エリア内の欠陥を識別し、該欠陥をランク付けするためのパターン認識システムを備える。該システムは複数の欠陥基準に従って動作するようにプログラムされている。コンピューターはまた、ＧＵＩに接続されて、上記イメージデータから識別されたエリアを、複数の欠陥基準のそれぞれにおいて、該エリア内で識別された欠陥のランクに従って配置されたサムネイルとしてＧＵＩ上に表示する。生成されたイメージデータからのエリアは、通常、それぞれの識別された欠陥の周りに、該欠陥を中心として定められる。これらエリア即ちサムネイルは重複可能である。 （もっと読む）

【課題】微小な欠陥であっても適切に撮影することができる半導体装置の製造方法及び半導体装置の管理方法を提供する。
【解決手段】基板の半導体素子が形成される素子形成面の裏側に位置する目盛形成面に物理目盛を形成する（Ｓ１）。前記物理目盛を用いて欠陥検査装置内での第１の座標系を作成する（Ｓ３）。前記欠陥検査装置により前記素子形成面に存在する欠陥を検出する（Ｓ４）。前記第１の座標系における前記欠陥の位置を示す欠陥位置座標を特定する（Ｓ５）。前記物理目盛を用いて欠陥撮影装置内での第２の座標系を作成する（Ｓ７）。前記欠陥撮影装置により前記素子形成面の前記第２の座標系上における前記欠陥位置座標を含む領域の撮影を行う（Ｓ８、Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】筋状凹凸部のうち欠陥となるものだけを検出できる円筒体の表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗの上方に配置される照明光源１１と、円筒体Ｗの上方に照明光源１１に対応して配置されるビームスプリッター１３と、前記ビームスプリッター１３の上方に配置される表面状態認識手段２と、を備え、照明光源１１から照射される照明光Ｌが、ビームスプリッター１３によって反射されて円筒体表面に同軸落射され、その円筒体表面で反射された反射光Ｌｒがビームスプリッター１３を透過して、表面状態認識手段２によって認識されるようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、照明光源１１から照明光Ｌが、円筒体Ｗの軸心方向Ｘの一端側から軸心方向Ｘと平行に他端側に向けて照射されるようにしている。 （もっと読む）

【課題】広範囲の管内照明に於いて、発光型の異なる２種類の照明をカメラの周囲に配置して、前方向の照明と横方向の照明を使い分け、前方、側方のいずれの管内撮影においても常に最適な照度で管内の各部を照明できる信頼性の高い管内検査カメラの照明装置を提供する。
【解決手段】カメラ本体２０を収容した筐体１０に、側周発光型のＬＥＤとリフレクタとを備えた直視用集光照明装置部３１と、ドーム状発光型のＬＥＤと拡散板とを備えた側視用散照明装置部３２とを設けて、集光照明装置部３１を用いて管１の内部を直視撮影し、拡散照明装置部３２を用いて管１の内部を側視撮影する。 （もっと読む）