【課題】印刷後の画像検査の精度を向上する。
【解決手段】画像検査部では、撮像部により印刷画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の印刷方向に並ぶ画素の値が積算され、基準積算値分布が取得される。基準積算値分布には、感度補正部により各積算値を増加または減少させる感度補正が行われる。第２積算部では、検査画像中の印刷方向に並ぶ画素の値が積算され検査積算値分布５２が求められる。比較部では、検査積算値分布５２から感度補正後の基準積算値分布５１が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、基準積算値分布５１に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観異常を検査するに際し、装置の大型化や検査効率の低下を抑制しつつ、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、均一光Ｔ１を照射する第１照射装置２２ａと、スリット光Ｔ２を照射する第２照明装置２２ｂと、カメラと、画像処理装置とを備えている。カメラの撮像素子２３ｂは、均一光Ｔ１の照射領域を撮像する二次元撮像用撮像領域Ｋ１と、スリット光Ｔ２の照射領域を撮像する三次元計測用撮像領域Ｋ２とを有している。画像処理装置は、二次元撮像用撮像領域Ｋ１より得たデータを基に錠剤５の輝度画像を生成し、三次元計測用撮像領域Ｋ２より得たデータを基に錠剤５の形状画像を生成する。そして、輝度画像及び形状画像を基に、錠剤５の外観異常が検査される。 （もっと読む）

【課題】 外観が類似しているブツと塗装後の塵埃とを区別して検査できる欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、入射光が対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいてブツと塗装後の塵埃とを区別する欠陥種別を判定する欠陥判定手段を有することを特徴とする欠陥検査装置に関する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、長尺状の被検査部の外面全周に異常が有るか否かを正確且つ確実に判定することができ、検査精度の向上を図ることができる被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】搬送路２上の検査区間Ｃに搬送されるエナメル線Ａの外面全周を、拡散反射板３が拡散及び反射する光源４からの光で均一に照光する。エナメル線Ａの上側周面Ａａと、反射部６に映り込ませた左右周面Ａｂ，Ａｃとを撮像カメラ５で撮像する際、光透過部７により反射部６が反射する左右周面Ａｂ，Ａｃの光路長Ｌ２を、上側周面Ａａの光路長Ｌ１と同一又は近似する長さに調整する。これにより、エナメル線Ａの上側周面Ａａ及び左右周面Ａｂ，Ａｃの画像を撮像カメラ５により鮮明に撮像することができ、その画像情報に基づいて、エナメル線Ａの外面全周に異常が有るか否かを外観判定装置９で確実且つ正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では、膜種が同じで、膜厚が異なる場合等は再度の実測が必要となり、検査条件を設定するのに時間がかかってしまう。
【解決手段】複数の検出光学系がそれぞれ、検光角を変える光学素子と、前記検光角を制御する検光角制御部と、を有し、処理部は、前記複数の検出光学系毎の、前記検光角と、前記検光角に対応した信号対雑音比と、前記基板の膜種と、前記基板の膜厚との関係を保存したデータベースを有し、前記データベースを更新していく。さらにＳＮＲ閾値を設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面に存在するソーマークなどの線状の凹凸について、短時間かつ容易に検査が可能であり、検査に対する振動の影響を低減できる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面の全域に光源装置２によって斜め方向から光を照射し、ＣＣＤカメラ４で半導体ウェハＷ全体を撮影する。これにより、半導体ウェハＷの各ポイントからの前記照射光の反射光または散乱光の強度を検出する。取得された光の２次元的な強度分布に基づいて、半導体ウェハＷの表面に生成されたソーマークなどの凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】金属試料の検査面をエッチング処理して欠陥を現出させ、撮像装置によって検査面を撮像することにより欠陥を検出するに際し、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくすることにより、欠陥部を明瞭に検出することのできる金属の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】金属試料１の検査面２を一方向に研磨し、金属試料１にエッチング処理を行って金属試料中の欠陥を現出させ、照射光源として線状に連続した光源又は複数の点光源を線状に配置した光源（線状光源４）を用い、線状光源４の線状方向１７と研磨方向１１とを同一の方向とし、線状光源４によって研磨方向１１と直角の方向から検査面２を照射し、撮像装置３によって検査面２を撮像する。これにより、検査面撮像画像における非欠陥部の明度を均一かつ明るくし、欠陥部６を明瞭に検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明フィルムを、重合性モノマーを含有する反応ガスにてプラズマ処理する際、その処理の良否を簡易に観察できるようにする。
【解決手段】プラズマ処理装置１０のノズル１４から重合性モノマーを含有する反応ガスを吹き出して、透明な被処理フィルム９に接触させ、かつ被処理フィルム９に大気圧近傍下で生成したプラズマを照射する。続いて、観察装置２０の照明手段２１から被処理フィルム９に照明光３０を照射し、撮像手段２２にて被処理フィルム９を撮像する。撮像手段２２の受光面２２ａを、照明光３０が直接入射しない位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ単純な装置構成で検査対象の被検査面の凹凸欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置は、照射装置１と、撮像装置２と、処理装置３とを備える。照射装置１は、検査対象Ａの拡散反射性を有する被検査面Ｂに斜め方向から光を照射する。撮像装置２は、照射装置１から被検査面Ｂを通った光が入射する。被検査面Ｂにおいて照射装置１の照射光が直接照射される範囲を直接照射エリアとし、被検査面Ｂにおいて直接照射エリアでの照射光の拡散によって発生する拡散光が照射される範囲を拡散光照射エリアとする。処理装置３は、撮像装置２で撮像された撮像画像において直接照射エリアに第１の検査領域を設けるとともに拡散光照射エリアに第２の検査領域を設定し、第１の検査領域および第２の検査領域の少なくとも一方の輝度情報を用いて、被検査面Ｂの凹凸に関する欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】
光学素子の欠陥を精度よく確認することができる外観検査装置を提供すること
【解決手段】
本発明の外観検査装置は、基板７の欠陥を検出する外観検査装置であって、前記基板７の平面に対してそれぞれ斜めに光を照射するとともに前記基板７を挟んで配置された複数の低倍率カメラ用光源３と、これらの低倍率カメラ用光源３の光軸と交差する方向に光軸を有するとともに、前記低倍率カメラ用光源３から照射されて前記基板７から反射または透過する光を撮像する低倍率カメラ４と、前記基板７の平面に対して垂直に光を照射する高倍率カメラ用光源５と、この高倍率カメラ用光源５の光軸と同一の光軸を有するとともに前記高倍率カメラ用光源５から照射されて前記基板７で反射された光を撮像する高倍率カメラ６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの上端部及び下端部を精度良く撮像し、ワークの上端部、下端部を容易、かつ、精度良く検査することが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内側に鏡面を有し、鏡面底部が凹曲面状となったリフレクターと、鏡面で囲まれるようにリフレクター内に位置する測定対象物と、鏡面に写り込む測定対象物の画像を撮像するカメラと、測定対象物のリフレクター内における位置を決める位置決め手段とを備え、位置決め手段が測定対象物の検査対象部の下端部を鏡面底部よりも上方に位置決めしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン薄膜の表面の状態を光学的に観察して、多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査することを可能にする。
【解決手段】本発明では、表面に多結晶シリコン薄膜が形成された基板に光を照射し、光が照射された多結晶シリコン薄膜の表面から発生する１次回折光の像を撮像し、撮像して得た１次回折光の像の画像を処理して多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査し、画像を処理して検査した１次回折光の像を検査した結果の情報と共に画面上に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定を行うための照射部および受光部がそれぞれ最小個数でありながらも、被検査基板の測定対象物の光学的な測定を精度良く行うことが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】レーザー計測器３３はレーザー光を照射する照射部３３ａと測定対象物１１１で反射された反射光を受光する受光部３３ｂを有し、シャフト３３３の下端に取り付けられている。シャフト３３３にはベルト３３５を介してモータ３３１の回転駆動力が伝達されるように構成されており、レーザー計測器３３はモータ３３１の回転により向きを変更可能に構成されている。これによって、測定対象物１１１から見たレーザー光の入射経路Ｌ１と反射光の反射経路Ｌ２との入受光関係が調整可能になっている。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両の車輪部のディスクを対象とした撮像による検査の技術に係わり、ディスクの表面状態を正確に撮像・検出ができる技術を提供する。
【解決手段】本検査装置において、ディスク１面を照明及び撮像する撮像光学系において、カメラ１１は、被検査面の法線（ｎ）から所定角度（α）傾けた位置に配置され、照明光源１２（１２ａ，１２ｂ）は、ディスク１面の被照明領域（例えば左下）に対して隣の領域（例えば右下）に対応する空間で、カメラ１１の光軸に対して所定角度（γ）及び法線（ｎ）から所定角度（β）の位置に配置される。これにより撮像画像における不要物の映り込み等が抑止される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に適した画像を取得することを目的とする。
【解決手段】被検査物の検査対象領域に照明光を照射し、検査対象領域の基準画像を基準となる基準撮像条件に従って取得し、基準画像をクラスタリング処理して複数のクラスタに分割し、各クラスタが所定の条件に合致するかを判定し、各クラスタが所定の条件に合致しない場合に、所定の条件に合致しないクラスタの撮像条件を変更し、所定の条件に合致しないクラスタの画像を変更された撮像条件に従って取得し、全てのクラスタが所定の条件に合致するまで撮像条件の変更及びクラスタの画像の取得を繰り返し、全てのクラスタが所定の条件に合致すると判定された場合に、所定の条件に合致した各クラスタの画像を合成して検査対象領域の合成画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜を容易に高感度で検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が設けられたウェハを支持するステージと、ステージに支持されたウェハの表面に照明光を照射する照明系と、照明光が照射されたウェハの表面からの反射光を検出する検出部と、検出部により検出された反射光の情報から膜の検査を行う検査部とを備えた検査装置による検査方法であって、目標膜厚および屈折率を設定する設定ステップＳ１０１と、目標膜厚および屈折率から、目標膜厚近傍における膜厚変化に対する反射率変化の特性を複数の波長毎に算出する演算ステップＳ１０２と、膜厚変化に対する反射率変化の特性に基づいて、反射率変化（すなわち感度）が最も大きくなる波長を照明光の波長として決定する決定ステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】表面に細かな凹凸を有する部材であってもその表面の欠陥を検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、被検査対象Ｓに光を照射する投光手段１０と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光する受光部とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０は、一列に並んで配置された複数の発光体１３を有する光源１１と、光源１１と被検査対象Ｓとの間に設けられた、各発光体１３から被検査対象Ｓに照射される光を制限する遮光部材１５を備えており、遮光部材１５は、各発光体１３から放出される光のうち、発光体１３が並んでいる方向において、各発光体１３の光軸から一定の範囲よりも内側の光を遮断し得る複数の遮断部15aを備えている。 （もっと読む）