【課題】基板のずれ及び／又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板１０６の少なくとも２つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも２つのセンサ１４０Ａ、１４０Ｂを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット１１４又は１３０と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象物上に形成されるとともに各光源の並設方向と直交する方向に細長く延びる傷の検知精度を向上することのできる照明装置を提供する。
【解決手段】各レンズ１０，２０を通過した光のうち各ＬＥＤ２の並設方向における所定の照射角度範囲、例えば受入角θ１と等しい１５°の照射角度範囲外の光が各光ファイバー３０に入らず、換言すれば、所定の照射角度範囲外の光が各光ファイバー３０によって遮られるので、各ＬＥＤ２が中央から略５０°の光照射範囲に大部分の光を照射するように構成されており、各レンズ１０，２０を通過した光が各ＬＥＤ２の並設方向にＬＥＤの光照射範囲と同等の角度範囲内の様々な方向に向かって進む場合でも、所定の照射角度範囲である１５°の範囲以外の光が各光ファイバー３０によって遮られ、検査対象物Ｗの上面の所定の照射位置ＡＲに所定の照射角度範囲である１５°内の光だけが照射される。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、高精度化，ウェーハの大口径化や、検査の高機能化（マルチセンサなど）により処理すべきデータは年々、増加し、装置容積に占める信号処理部分の比率が増している。また、高機能化により、装置立ち上げ時の評価検査作業も増えている。その一方で、装置容積、コストの面から小型化が求められている。本発明の目的は、必要最低限の規模で一般検査が可能な装置構成を提供することである。
【解決手段】検出器単位で処理機能を分離することにより、一般検査時に不要な信号処理部を取り外し可能にする。また、パラメータ決定作業に使用される評価機能を備えた信号処理部も接続可能にする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜の端部の高さを精度よく測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】ステージによりウェハを略水平に支持した状態で、高さ検出器によりウェハの平面部の高さ位置を検出するステップＳ１０１と、上ベベル部に位置する膜の端部に合焦させた状態で、撮像部により膜の端部を撮像するステップＳ１０２と、データ処理部により、ステップＳ１０２で撮像した膜の端部の画像に基づいて膜の端部の高さ位置を検出し、ステップＳ１０１で検出した平面部の高さ位置と膜の端部の高さ位置との差から、ウェハの平面部に対する膜の端部の降下量を求めるステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】
ディスク上の欠陥について円周疵か、島状欠陥かの判定を高速に処理することが可能な欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、半径別の欠陥数ヒストグラムデータにおける半径別の欠陥検出量（欠陥検出個数）についての標準偏差値を越える集計トラック領域において、円周疵の検出をする。あるいは角度別の欠陥数ヒストグラムデータにおける角度別の欠陥検出量についての標準偏差値を越える集計角度領域において島状欠陥の検出をする。これにより円周疵あるいは島状欠陥を他の欠陥と分離して欠陥検出処理を段階的に行うことができるので、検出される欠陥数が増加してもデータ処理装置の処理ロードを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】き裂の損傷を精度よく評価し、損傷の度合いをランク分けすること。
【解決手段】被測定物２０に照明光を照射する照明部２１と、照明部２１により照明光が照明された被測定物２０の画像を取得する撮像部２２と、撮像部２２および照明部２１を被測定物２０の表面に沿って移動させる移動部２３と、撮像部２２により取得された画像を画像処理して、き裂を検出するとともに、き裂の性状に関する指標に基づいて被測定物２０の損傷の度合いをランク分けする損傷度合い決定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱延ラインの仕上げ圧延機１１の最終スタンドとダウンコイラ１４前のピンチロール１３との間の、冷却帯１２の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置１５を設置し、その投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射する （もっと読む）

【課題】光線に指向性を与えることで、多くの光量が要求されるライン状撮像体に対し十分な光量を供給して微細欠陥の検出力の向上も図れるライン状照射体および該ライン状照射体を含む被検査基板外観検査用撮像ユニットの提供。
【解決手段】正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３として用いられるライン状照射体１１と、正反射側照射灯３２と暗視野側照射灯３３との間に配置されるライン状撮像体３５とで構成され、正反射側照射灯３２は、射出口２７を搬送方向での下流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けて、暗視野側照射灯３３は、射出口２７を被検査基板搬送方向での上流側から被検査基板Ｐの検査位置Ｓに向けてそれぞれ配置され、ライン状撮像体３５は、搬送方向と直交する垂直軸Ｌから上流側に向けて１５度程度後傾させた位置で受光できるようにその撮像面３５ａを位置させて配置した。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高い線形判別分析の判定結果を距離判別分析に反映させることにより、距離判別分析の閾値決定に対する収斂性を高め、距離判別分析の持つ簡便な判定性能を向上させるとともに、線形判別分析と距離判別分析とを共用することにより、優れた判定精度を実現できる良否判定装置、良否判定方法および良否判定プログラムを提供する。
【解決手段】検査対象から複数のパラメータを取得するパラメータ取得手段と、サンプルデータに基づいて算出した判別関数に検査対象に対応するパラメータを代入して得られる変数と閾値とを比較する線形判別分析手段と、パラメータ空間において良サンプルデータに対応する良クラスターの中心位置から検査対象に対応する要素の位置までの距離と閾値とを比較する距離判別分析手段と、線形判別分析手段および距離判別分析手段のいずれにおいても良のカテゴリーに判別された場合に良判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロータリー式搬送装置やスピン搬送装置等の大掛かりな搬送装置を用いて異物を移動させたり異物を液中に引き込んだりする必要がなく、プルタブ又はプルリングと称される略リング状の部分の背後の液面付近に異物がある場合にも、異物を精度良く検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】口部をプルタブ付キャップ２で密封した容器１内に充填された液体Ｌの液面Ｌｅ又は液面Ｌｅ付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明５によって容器１内を容器底面側から照明し、容器１内の液体Ｌを介して液面Ｌｅを照明し、照明５から容器１内の液体Ｌを介してキャップ２裏面に到達した光をキャップ２裏面で反射させ、反射光により液面Ｌｅを照明し、照明５からの直接光およびキャップ２裏面からの反射光により照明された液面Ｌｅを容器１の下方に配置されたＣＣＤカメラ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】同軸照明を使った撮像照明手段において、明るい画像が撮像素子に取り込まれるようにするとともに、線幅の細くなっている部分を明瞭に撮像できるようにすること。
【解決手段】光源１００から出射した照明光は拡散板１０１を介してハーフミラー（ペリクル）１１０に入射し一部の光が反射されて基板Ｗ（被照明物）を照明する。基板Ｗで反射した光の一部はハーフミラー１１０を通過して撮像手段１２０の撮像素子１２１に入射し、基板Ｗに形成されたパターン像が撮像される。ハーフミラー１１０の、撮像対象（撮像領域）の像が通過する部分の外側であって照明光が入射する側に、被照明物に向かって照明光を全反射する反射部材（ミラー）１３０が取り付けられている。光源１００からの照明光は、上記ハーフミラー１１０で反射するとともに、この反射部材１３０で反射して基板Ｗに照射される。このため、基板Ｗ（被照明物）を明るく照明することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査効率及び検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、これにより照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備えている。画像処理装置２４は、画像信号から得た画像データに基づき、錠剤の輪郭を抽出する輪郭抽出処理と、輪郭上の所定点における接線が当該輪郭上に他の接点を有するか否かを判定する接線判定処理と、所定点における接線が他に接点を有する場合に、当該接線と輪郭により囲まれた欠け領域の面積を算出する欠け面積算出処理と、欠け領域の面積が許容範囲内か否かを判定する良否判定処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用のブレードの表面における、緩やかな凹凸や、極微小なキズ及びムラ、微妙なコントラストを効率的に検出する。
【解決手段】電子写真装置用のブレード１の表面を照明し、ブレード１を照明に直交する方向に搬送しつつ、複数の画素が配列されたラインセンサー１１によって前記表面を撮像する第１ステップと、ラインセンサー１１の１つの画素４が出力する像情報信号に、この１つの画素４と連続する複数の画素４からなる所定領域における各画素がそれぞれ出力する各像情報信号を加算して１つの画素４における加算像情報信号とする加算処理を画素毎に行うことで画像処理する第２ステップと、画像処理された結果に基づいてブレード１の表面状態を判定する第３ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】管の外周面に形成された凹凸形状や凹み形状などの形状的な外観不良を適切に検出できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、管１０の外周面に均一な拡散光を照射する照明装置３と、拡散光の照射により管１０の外周面に形成された陰影の濃淡画像を撮像するカメラ４１とを備えている。またカメラ４１は、その光軸Ｏｃが管１０の軸線Ｏｔに対して斜めに配設されている。管１０は、製造過程において外周面に凹凸形状や凹み形状が形成されることがある。管１０の外周面に均一な拡散光を照射すると、照射面に凹凸形状や凹み形状の陰影の濃淡ができる。管１０の外周面をカメラ４１で撮像すると、拡散光の照射によって形成された陰影の濃淡の鮮明な画像が得られる。 （もっと読む）

【課題】通常選別で使用する選別部を予備選別としても共用することで、色彩選別機のコストアップを抑えて安価に形成し得ると共に選別精度を高めることが可能な色彩選別機を提供する。
【解決手段】光源、光学検出部、及び光学検出部で検出した信号を演算処理し予め設定されている閾値と比較して試料の良否を判定する制御部、エジェクタ等からなる選別部を備えた色彩選別機において、制御部は、選別部を一定時間作動させて試料の予備選別を行うと共に、該予備選別で得られた試料データに基づいて閾値を修正し、この修正した閾値に基づいて選別部を作動させて試料を通常選別することを特徴とする。また制御部は、予備選別で得られた試料データのうち良品データと不良品データの度数分布に基づいて、閾値を修正する。 （もっと読む）

【課題】透明な接着剤の塗布状態を確実に検査し得る塗布接着剤の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｓの粗面に塗布された透明な接着剤Ｌの検査方法であって、基板表面に沿う方向に光を照射して接着剤Ｌに到達させ、少なくとも接着剤によって反射された光を接着剤塗布箇所の上方で受光し、受光した光の強度分布に基づいて基板上の接着剤Ｌの位置情報を取得することを特徴とする塗布接着剤の検査方法及び該方法を実施するための検査装置。 （もっと読む）

【課題】光沢のあり照明光を正反射する被撮像面の正常状態維持領域と加工又は劣化等により非正常状態になった領域を区別することを、手間をかけないで安定的に、所定の精度で、短時間に、低いコストで、且つ自動的に得る方法を提供する。
【解決手段】
カメラの光軸が被撮像面に垂直な方向に対して所定の角度の傾斜を持つようにカメラを配置し、且つカメラの所定の画素範囲に対応する被撮像面上の範囲（撮像範囲）からカメラのレンズの有効径内に入る反射光の内、撮像範囲で正反射された照明光が正反射前に通過するべきトンネル空間（入射光トンネル空間）が照明装置の発光面を貫通するように照明装置を配置し、光沢があり照明光を正反射する被撮像面を撮像する。 （もっと読む）

【課題】欠陥内の輝度変化が大きく二値化によって分断される可能性が高い場合でも、同一の欠陥とみなせる欠陥候補領域を連結することにより欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像を二値化した二値画像を用いて欠陥候補抽出手段１２により欠陥候補領域が抽出される。さらに、ピース３２ごとに設定されるしきい値を用いて二値化した二値画像を用いて欠陥候補再抽出手段１５により欠陥候補領域が再抽出される。欠陥判定手段１６は、再抽出された欠陥候補領域について欠陥を判定する。欠陥判定手段１６により欠陥と判定されなかった欠陥候補領域は、連結評価手段１７により連結可能か否かが評価され、連結可能である欠陥候補領域は連結され、再判定手段１９により欠陥か否かが再判定される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、薬剤容器内の凝集塊や白濁および異物を検出できる薬液混合監査支援システムおよび薬液混合検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の薬液混合監査支援システム１０は、基台部１３と、基台部１３の表面１３ａの一部に設けられた、薬瓶１４ａを配置する薬瓶搭載部１４と、処方箋情報、監査情報および混合調製情報のうちの少なくとも何れかを画面１１ａに表示する情報提示部１１と、を備え、薬剤搭載部１４に配置された少なくともいずれかの薬瓶１４ａに入った薬液を輸液バッグ１２に混合した後に、輸液バッグ１２を情報提示部１１の画面１１ａ上に隣接して配置し、情報提示部１１を照明部として画面１１ａから幾何学パターン１５の照明光を輸液バッグ１２の背後より透過させて照射し、輸液バッグ１２内の異物１６または生成物１７を検査する構成からなる。 （もっと読む）