3Dモデルを生成し、および／またはダイヤモンドのような研磨原石におけるインクルージョンを検出する、方法および機器について示した。原石は、一連の個別の増分で回転される。原石の各回転位置では、原石に平行光が照射され、輪郭画像が記録される。また、原石には、各回転位置で、（更なる回転の前に）拡散光が照射され、拡散画像が記録される。画像は、解析され、原石の表面の3Dモデルが取得される。次に、拡散画像において、特徴物が同定され、これは、後続の拡散画像の間でトラックされる。トラック化特徴物は、原石による光線の反射および屈折を考慮して、原石の3Dモデルに対して配置される。その後、特徴物のいくつかまたは全てがインクルージョンとして同定される。
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【課題】欠陥内の輝度変化が大きく二値化によって分断される可能性が高い場合でも、同一の欠陥とみなせる欠陥候補領域を連結することにより欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像を二値化した二値画像を用いて欠陥候補抽出手段１２により欠陥候補領域が抽出される。さらに、ピース３２ごとに設定されるしきい値を用いて二値化した二値画像を用いて欠陥候補再抽出手段１５により欠陥候補領域が再抽出される。欠陥判定手段１６は、再抽出された欠陥候補領域について欠陥を判定する。欠陥判定手段１６により欠陥と判定されなかった欠陥候補領域は、連結評価手段１７により連結可能か否かが評価され、連結可能である欠陥候補領域は連結され、再判定手段１９により欠陥か否かが再判定される。 （もっと読む）

あるシステム及び方法が、再構築により、基板上のオブジェクトの概略構造を決定する。これは、例えば、リソグラフィ装置のクリティカルディメンション（ＣＤ）又はオーバレイ性能を評価するための微細構造のモデルベースのメトロロジーなどに適用できる。基板上のスタック上の格子などのオブジェクトの概略構造を決定するためにスキャトロメータが使用される。ウェーハ基板は上層と下地層とを有する。基板はスタックオブジェクト上の格子を含む第１のスキャトロメトリターゲット領域を有する。スタック上の格子は上層と下地層とからなる。上層は周期格子のパターンを備える。基板はさらに、上層がない、隣接する第２のスキャトロメトリターゲット領域を有する。第２の領域は、パターン形成されていない下地層のみを有する。 （もっと読む）

【課題】測定値からノイズの影響を除去する。
【解決手段】測定対象物上に複数の測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nを設定し、測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nの並ぶ方向に沿って振動させながら測定ビームを照射する。測定ビームの振幅Ｗの範囲にＭ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈が含まれているとすると、Ｍ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈から得られる２Ｍ個の測定値ｆ₁〜ｆ_2Mから、下記(７ａ）（７ｂ)式、


に従って、フーリエ係数ｂ₁(振幅が測定ビーム径の１／２の場合)、又はｂ₂(振幅が測定ビーム径と等しい場合)を求め各測定点のフーリエ係数ｂ₁又はｂ₂の推移を求め、微小領域の分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスクの両面を同時に検査することを可能にして、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】
磁気ディスクの表面の傷や欠陥を光学的に検出する表面側欠陥検出手段と、磁気ディスクの裏面の傷や欠陥を光学的に検出する裏面側欠陥検出手段とを備えた磁気ディスクの両面欠陥検査装置において、裏面側欠陥検出手段に光路切替え部を設けて、レーザ光源から発射されたレーザを反射してレーザの光路を磁気ディスクの裏面の方向に切替えるとともにフレネルレンズで集光された散乱光を反射して集光された散乱光の光路を第１の光電変換器の方向に切替えるようにして、磁気ディスクの裏面側の狭い空間でも光学的に欠陥を検出することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】表面に膜が形成されたウエハでも安定してアライメントマークと周辺部のコントラストが高い画像データを取得できるようにしたものを提供する。
【解決手段】照明光となる光源と前記光源からの光を物体に照射し、また反射光を集光結像する結像光学系と前記結像光学系の集光点に設置し、物体の画像を取り込むカメラと取り込んだ画像を処理する画像処理機能からなるアライメント測定装置を備えた欠陥検査装置において、画像の取り込みを少なくとも２つの異なる波長帯域の反射光において行い、それぞれの反射光に対応した物体の画像情報を適切に演算処理することによってアライメントマークのコントラストを高めるように構成する。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンの被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を取得すること。
【解決手段】本発明の実施の形態１に係るむら検査装置は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０及び処理・制御部１００を具備している。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０の位置決め動作及び基板搬送動作が可能である。アライメント用撮像部３０は、被検査基板６０の位置決めを実施する。回折光強度測定部兼撮像部４０は、被検査基板６０からの回折光強度を取得し、また、被検査画像取得を実施する。処理・制御部１００の情報処理手段１０１は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０の動作管理及び制御を行う。 （もっと読む）

【課題】管材の内面品質を光学的に自動検査可能な検査装置及び検査方法の提供を目的とし、特に、長尺管材の内面検査に適用するのに有効である。
【解決手段】管材の一方の開口端部側に配置する拡散光源と、管材の他方の開口端部側に焦点可動型ズームレンズを介して配置するカメラを備え、管材の中心軸に対してカメラの光軸が微小な角度で交差するように相対配置し、第１の管材位置にて焦点を連続変化させて得られた管材の第１の内面観察統合画像と、前記第１の管材位置に対して管材を軸廻りに微小回転させた第２の管材位置に対して焦点を連続変化させて得られた管材の第２の内面観察統合画像とを比較解析する傷検出解析手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】暗視野光学式検査装置では、ＴＴＬにおけるリアルタイムでの合焦追従対応が困難である。また、斜め方向からの反射光の位置ズレを検出する方式では、撮像用レンズとの誤差や温度変化等の環境変化および合焦制御ユニットの経時変化によるズレ（オフセット）量を補完することが困難である。さらに検査時の環境等により合焦位置が変化してしまうため、ＴＴＬ開始時においてもある程度の合焦が保たれていなければ、高精度にするためには画像のサンプル数を増やしたりする必要があるため時間がかかってしまう。
【解決手段】ＴＴＬとＳ字カーブ制御を同時積載し、合焦位置認識はＴＴＬ、合焦位置追従動作にはＰＳＤ（ＣＣＤ）方式というように用途を切替えることで、より高精度で短時間の検査を行うことができる。また、ＴＴＬ実行時に前回の合焦位置情報をフィードバックすることにより、ＴＴＬの時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】容器内に充填された液体の液面を移動させることなく液面が静止した状態において、液面と容器内面が接触して盛り上がった箇所にある異物を検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器１内に充填された液体の液面又は液面付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明２によって容器１内を容器底面１ａ側から照明し、照明２から容器１内に入射した光を液面に集光させ、液面に集光した光の一部を液面と容器内面が接触する部位で液面が盛り上がった箇所に入射させ、この入射光を盛り上がった箇所の液面と気体との界面で反射させ、界面で反射した反射光を容器の側方に配置されたＣＣＤカメラ４により撮像する。 （もっと読む）

ワークピース（１０）を検査するための光学検査システムが提供される。システムは、ワークピース（１０）をノンストップで輸送するように構成されたワークピース輸送機構（２６）を含む。照明装置（４５）が、第一のストロボ照明野タイプ及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。照明装置（４５）は、ワークピース（１０）に近い第一端及び第一端とは反対側にあり、第一端から離間した第二端を有するライトパイプを含む。ライトパイプはまた、少なくとも一つの反射性側壁（７０）を有する。第一端は出口アパーチャを有し、第二端は少なくとも一つの第二端アパーチャ（５０）を有して、それらを通してワークピース（１０）の視認を提供する。カメラアレイ（４）が、ワークピース（１０）をデジタル式に画像化するように構成されている。カメラアレイ（４）は、第一の照明野を用いてワークピース（１０）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いてワークピース（１０）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、照明装置（４５）及びカメラアレイ（４）に操作可能に結合され、第一及び第二の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供するように構成されている。
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【課題】本発明は、多重回折格子記録媒体のそれぞれの模様を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法に関する。
【解決手段】多重回折格子記録媒体の裏面側から透過光を照射する透過光照射部と、多重回折格子記録媒体を保持する保持部と、多重回折格子記録媒体の透過光軸方向に設けられ、多重回折格子記録媒体の透過光を偏光する偏光素子と、偏光素子を前記多重回折格子記録媒体の透過光の光軸を中心に所定の角度に回転する偏光素子回転部と、所定の角度に応じて多重回折格子記録媒体の透過光による各模様の読取を行う画像読取部を有する画像撮影部と、画像撮影部により読取られた各模様を演算処理し、あらかじめ記録した基準模様と比較して良否判定を行う画像処理部と、画像処理部により演算処理された模様と、良否判定の結果を表示する出力部を有する。 （もっと読む）

【課題】利便性を維持しつつ、蛍光材料を使った偽変造防止技術の偽変造耐性が向上した情報記録媒体、媒体検証方法、および媒体検査装置を提供する。
【解決手段】情報記録媒体は、基材６と、基材の上に蛍光材料で形成された情報形成層４と、情報形成層を覆って基材上に形成されたオーバーコート層５と、を備え、オーバーコート層は、蛍光材料の励起波長を反射あるいは吸収し、蛍光材料の発光光を透過する特性を有し、基材は、少なくとも蛍光材料の励起波長を透過する特性を有している。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の濃淡画像に微分を行わずにクラックを抽出してノイズの影響を低減し、粗面に生じた微細なクラックであっても精度よく検出することを可能にする。
【解決手段】検査対象物Ｗを撮像装置２により撮像した濃淡画像から２値化手段１１により２値画像を生成する。候補選別手段１３は、２値画像内で黒画素の連結成分のうち細長い形状の連結成分をクラック候補領域として抽出する。候補選別手段により抽出されたクラック候補領域は、クラスタリング手段１４により、慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類される。クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域は、連結処理手段１５により、分類ごとに連結可能性が評価される。判定手段１６は、連結処理手段１５が１つのクラックに属すると判断したクラック候補領域の長さの合計を用いて検査対象物Ｗの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】画像処理手段が、複数の照射手段から照射されるスリット光のずれを自動で検出してタイヤの外観検査を行うことができるタイヤ外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数のスリット光の端部を互いに重ね合わせて直線状にスリット光をタイヤ表面に照射し、このタイヤ表面を撮像して得られた撮像画像を画像処理手段に出力してタイヤ表面の良否を検査するタイヤ外観検査装置であって、画像処理手段が、撮像画像を互いに均等な複数の領域に分割する分割手段と、複数の領域の輝度の標準偏差値を算出し、撮像画像を領域毎の輝度の標準偏差値により表わされたプロファイル画像に変換するプロファイル画像作成手段と、プロファイル画像における複数の領域のうち、閾値以上の輝度の標準偏差値を有する領域が周方向に連続しているかを判定するずれ判定手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】 物体の欠陥を検出するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 物体２０を透過する波長の光５０を照射することによって物体２０を局部的に照明するステップ１０と、直接透過した照射光の部分４８の検出を少なくとも部分的に回避しつつ、かつ１回反射した照射光５０の部分５３ａ、５３ｂの検出を少なくとも部分的に回避しつつ、複数回反射した照射光５０の部分を検出するステップ１２と、検出した照射光５０の部分の強度の差を評価することによって欠陥２２を識別するステップ１４とを備える、物体２０の欠陥２２を検出するための方法ならびにこの方法を実施するための装置。 （もっと読む）

【課題】多数の連続した単繊維の束からなる糸条の欠陥の有無や種類を、糸条の撚りの有無にかかわらずオンラインで把握できかつ糸条の製造工程により製造される糸条パッケージの品質管理を、迅速に行うことができる欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】糸条または背景を照明して糸条と背景に明度差または色相差を生じさせて糸条を撮像し、得られた画像を処理することにより糸条の欠陥を検出する方法であって、（ａ）撮像した画像を明度差または色相差を基に処理し２値化画像を得る、２値化段階、（ｂ）前記２値化画像に細線化処理を行う細線化段階、（ｃ）前記細線化処理した画像上の細線の分岐点を除去し、糸条対応細線と欠陥候補細線とを分離する分離段階、（ｄ）前記欠陥候補細線の特徴量を記憶手段内に予め設定された欠陥特徴量の閾値と比較し、欠陥の該否および／または欠陥の種類の判定を行う判定段階の４段階により画像の処理及び判定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、パウチ型電池内の異物検出装置及び方法に関し、電池ケースの表面を光散乱法を用いて電池内に異物があるか否かを判別する検出装置及び方法に関する。
【解決手段】本発明は、電池ケースの表面に予め設定された入射角度で直線光を照射する光源と、前記電池ケースから反射した反射光を感知するセンサ部と、前記センサ部により感知された反射光を通じて電池内に異物があるか否か及び異物の位置を検出する異物感知部とを含み、電池内に異物があるか否かを迅速かつ正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】異物の粒径を検査面の全領域に亙ってより正確に求める。
【解決手段】異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、前記投光器によって前記表面に投光された光の散乱光の強度を前記表面の２次元座標と関係付けて検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて前記表面に存在する異物の粒径を決定する処理部とを備える。前記検出器により検出された散乱光の強度と異物の粒径との関係は前記表面の２次元座標に応じて異なっている。前記処理部は、前記検出器によって検出された異物の２次元座標に応じて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換するための変換カーブを決定し、前記決定された変換カーブを用いて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換する。 （もっと読む）