【課題】溶接部の溶け分かれの有無を適切に検査可能な溶接部検査装置を提供する。
【解決手段】バスバー２１と端子２２とを溶接にて接合した検査対象物２における溶接部２３に対して、バー照明３２によってバスバー２１側から光を照射した状態、カラーカメラ４により溶接部２３を撮像する。そして、画像処理装置５にて、撮像画像（カラー画像）に対して溶接部（２３）に対応する検査領域を指定すると共に、指定した検査領域から周囲よりも高輝度となる高輝度領域を抽出し、さらに、抽出した高輝度領域に基づいて溶接部２３に溶け分かれが生じているか否かを判定する。この際、高輝度領域が検査領域におけるバスバー２１に対応する領域よりも端子２２に対応する領域側に存在する場合に、溶接部２３に溶け分かれが生じていると判定する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】ラップフィルム等の透明あるいは半透明のフィルムをロール状に小巻にしたフィルム・ロールの内部に発生する巻皺を検査する。
【解決手段】搬送コンベアに保持されたラップフィルム等が小巻されたフィルム・ロールを一定速度で搬送する過程で、ラインセンサにより画像を撮像する構成とし、入射した光がフィルム・ロールの内部で発生した巻皺等によって拡散され、正常であれば暗くなっているはずの部分が皺の影響により明るく映っていないか判断する。対象となる検査領域は、入射光がフィルム・ロールの表面で正反射している輝線の部分ではなく、そこから数画素離れた、隣接する暗くなっている領域に設定する。この領域に通常より明るい画素があれば、それは巻皺の存在を示している可能性があるので、予め設定された閾値と比較し、その画素数の総計がある基準を上回ると、巻皺があると判定し、該フィルム・ロールを不良品とする。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。
【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第１の所定の放出角（α_１）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第１の受信角（β_１）で、第１の放出角（α_１）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第１の測定値を出力するステップと、第２の所定の放出角（α_２）で、検査される表面（９）上に放射を放出するステップと、第２の受信角（β_２）で、第２の放出角（α_２）で放出されて、検査される表面（９）から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第２の測定値を出力するステップと、第１の測定値と第２の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】液漏れ等を生じるおそれのある傷等の凹凸形状を有するボトル缶のみを確実に検出でき、検査の処理時間を短縮できる生産性に優れたボトル缶の口金部検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】主搬送路１０１に沿って連続的に順次搬送されるボトル缶３０の撮像エリアα内のカール部３２に対して白色光Ｗを照射して撮像を行い、得られた白黒検査画像から低輝度領域の有無を検知して低輝度領域が検知されたボトル缶３０ｂを排除する１次検査工程と、１次検査工程によって排除されたボトル缶３０ｂを主搬送路１０１から退避した副搬送路１０２に沿って順次搬送しながら撮像エリアα内のカール部３２に対して、口金部３１の円筒面略接線方向に沿って２色の照明光をそれぞれ異なる方向から照射して撮像を行い、得られたカラー検査画像の各光色の信号強度からカール部３２における凹凸形状の有無を判別し、ボトル缶の良否を判定する２次検査工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はレールに敷設された石（バラスト）の陥没穴を迅速に検出することで、車両の転覆、脱線等の事故を未然に防止するものである。
【解決手段】本発明のレール敷石陥没検出装置は、上記の目的を達成するために、通常運行時の列車の先頭車両の前方に搭載した近赤外線照明により、レールに敷設された石（バラスト）に近赤外光を照射し、その画像を近赤外光のみを通す光学フィルタを通してラインセンサカメラで撮像し、その映像を走査方向に積算することで、バラストと陥没穴を区別し、陥没穴を自動的に検出する。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出する場合に、映り込みの判別を短時間に行うことが出来、さらに大面積の被検査体の検査時間を短縮する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載置して搬送する搬送手段と、基板を照明する第一の照明手段と第二の照明手段と、第一の照明手段の照明角度を変化させる第一の照明角度変化手段と、第二の照明手段の照明角度を変化させる第二の照明角度変化手段と、第一の照明手段によって照明された基板を撮像する第一の撮像手段と、第二の照明手段によって照明された基板を撮像する第二の撮像手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段によって得られた画像を処理する画像処理部と、前記搬送手段と、第一と第二の照明手段と、第一と第二の照明角度変化手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段と、を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ペットボトルの開口部の欠陥の有無を高精度に判定することができる検査装置の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 透明体ボトルの外観検査装置１は、開口部１０１を有する透明体ボトル１００に対し、前記開口部１０１に交差する第１光路から第１の周波数の光を照射可能な第１光源部３と、前記第１光路とは反対方向かつ前記開口部に交差する第２光路から第２の周波数の光を照射可能な第２光源部４と、撮影光軸が前記開口部に直交するように配置され、前記第１光源部及び第２光源部から照射された光を判別してそれぞれ撮像可能なエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記開口部の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の状態によらず、高い検出感度を得るための調整が容易であり、検出感度の劣化要因となる照明光の発生を防ぐことが可能な照明装置、および光学装置を提供すること。
【解決手段】一定の領域１を照明するように構成され、光源として複数のＬＥＤを有し、その複数のＬＥＤと一定の領域１との間に、互いに異なる偏光方向１５、２５、３５をそれぞれ有する複数の偏光子１２、２２、３２を有し、複数のＬＥＤは、それぞれ数個〜十数個のＬＥＤからなる複数のＬＥＤ群１０、２０、３０に分割して駆動することができるように構成され、各ＬＥＤ群の出射光はそれぞれ１つの偏光子のみを通過するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光沢面の角度の情報を光学的に明度と色に変換し、変換後の画像から得られる明度と色から光沢面の角度を抽出することにより、光沢面の外観の検査を容易にする。
【解決手段】光源１は、第１の偏光要素４を通して光沢を有する検査対象７に円偏光を照射する。撮像装置２は、楕円偏光を直線偏光にする第２の偏光要素５を通して検査対象を撮像する。処理装置３は、撮像装置２から撮像した画像から抽出される画素ごとの明度と色との情報を用いて検査対象７の表面の角度に換算する換算部３３と、画素ごとの角度をグループ化することにより同じ角度を有した平面を抽出する面抽出部３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細な傷等を見逃すことなく被検査体の正確な外観検査を行うことができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。また、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させることにした。さらに、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させながら被検査体(2,2')の表面の画像(A₁〜A_n)を複数枚撮影し、複数枚の画像(A₁〜A_n)から前記境界領域の近傍の画像(抽出画像B₁〜B_n)を合成して１枚の検査画像(C)とすることにした。 （もっと読む）

【課題】被検査面の表面性状の影響を軽減して目的とする疵をより精度良く検出可能とする。
【解決手段】被検査面を撮影したカメラ２の撮像画像に基づき上記被検査面に存在する表面欠陥を検出する。上記撮像画像の少なくとも疵検出領域でハレーションが発生するように、上記撮影する被検査面に対し照射装置１から光を照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、ワーク表面の明るさのムラを効果的に抑制し、無影照明等をより好適に行うことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第１光源部と、前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第２光源部と、前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】微小な電子部品であっても、その外形を示すエッジを正確に検出することができる基板の外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】照明パターン選択手段（照明パターン選択部４７）は、複数の方向からの照明光を同時に照射する照明パターン１と、照明パターン１よりも高い輝度で複数の方向からの照明光を別々に照射する照明パターン２と、から照明光照射手段（照明２０）による照明光の照射パターンを選択し、画像取得手段（カメラ１０）は、照明パターン２が選択された場合には、別々に照射された複数の方向別の照明光毎に画像を取得する。このようにして取得した画像には、電子部品の実装面に略平行な面（上面）および実装面に略垂直な面（側面）により形成されるエッジが、電子部品の側面からの拡散光によって電子部品の外形として表され、エッジ検出手段（エッジ検出部４８）はこれらの画像から電子部品の外形を示すエッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像処理を行うことなく、虚報を減らすことで、安定的に欠陥を検出し、かつ生産性が向上する外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像して欠陥を検出する外観検査装置であって、照明・撮像系と、画像処理装置と、欠陥判定統合パーソナルコンピューター（ＰＣ）と、検査対象物を移動（搬送）する搬送部とを備え、前記照明・撮像系において、画像撮像用受光部（カメラ）、レンズ、照明を１系統とし、それらが、同一軸上に２系統以上配置され、移動（搬送）される検査対象物の同一フレームを同一条件で２回以上撮像し、その後、前記検査対象物の撮像画像の処理を画像処理装置で行い、それぞれの系統毎で前記検査対象物の欠陥検出候補を抽出し、その結果を、欠陥判定統合ＰＣに出力し、前記の結果の組み合わせにより、検査対象物の欠陥の有無を判定する、外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】欠陥の捕捉率、及び分類性能を向上させる。
【解決手段】互いに平行な直線群を含む回路パターンが形成された被検査物を載置して走行するステージと、スリット状の光であるスリット状ビームを複数生成し、前記被検査物の表面に第１の照明領域、及び第２の照明領域を形成する照明光学系と、前記第1の照明領域からの第１の光と前記第２の照明領域からの第２の光とを分離し、前記第１の光は第１のイメージセンサで、前記第２の光は第２のイメージセンサで検出する検出光学系と、前記第１のイメージセンサ、及び前記第２のイメージセンサで得られた信号に基づいて欠陥を示す信号を得る処理部と、を成す。 （もっと読む）

【課題】電力関連設備において、漏油やさびのような設備異常の経時変化を判定する。
【解決手段】（ａ）は、漏油やさび等の異常部分５０１に特定の波長の光を照射して、その反射光を撮影した特定波長照合画像である。（ｂ）では、電力関連設備５０３を撮影した可視光照合画像と、拡大縮小変換後の特定波長照合画像とを合成した合成画像を作成する。次に、（ｂ）の合成画像を（ｃ）の基準画像に位置合わせするための画像形状変換パラメータを求める。（ｄ）では、画像形状変換パラメータを用いて（ｂ）の合成画像を画像形状変換し、異常部分５０１ｂの画像を求める。（ｆ）では、（ｅ）に示す過去の異常部分５０５の画像と（ｄ）の異常部分５０１ｂの画像とを重畳した、異常部分の重畳画像を求める。そして、この重畳画像の状態を解析することによって、異常部分の経時変化を判定する。 （もっと読む）