【課題】タービンホイール等のワークの外観検査と共振検査をインラインで連続的に効率よく全数検査する。
【解決手段】所定角度毎に間欠回転させられる回転テーブル４と、回転テーブル４の周方向複数個所に設けられ、ワークＷを載置してこれを所定角度ごとに間欠自転させる回転支持機構８と、回転テーブル４により移送される回転支持機構８の一の停止位置Ａ１で当該回転支持機構８に支持されたワークＷを起振してその振動挙動よりワークＷの共振検査を行う共振検査装置と、回転テーブル４により移送される回転支持機構８の他の停止位置Ａ２，Ａ３で回転支持機構８に支持されたワークＷの外観を撮像してその外観検査を行うＣＣＤカメラ７とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料へのダメージを抑えつつ、偏光検出を利用した欠陥検出感度向上とHaze計測を両立させる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】試料に対し、エネルギの吸収が小さい波長帯域を有するレーザビームを発振する光源と、前記光源から発振されたレーザビーム照射により、欠陥から発生する欠陥散乱光を検出する欠陥検出光学系と、ウエハ表面荒れから発生するラフネス散乱光を検出するHaze検出光学系の二つを独立に備え、前記二つの検出光学系で検出した散乱光に対し独立に偏光検出を行い、前記二つの異なる検出信号に基づき欠陥判定および、Haze計測を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

基板の欠陥を検出するシステム及び方法が提供される。システムは、基板（１２０）の一方の側に配置され、基板（１２０）に拡散光を放射するように適合された第１照明部（１４０）と、基板（１２０）の他方の側に配置され、第１照明部（１４０）により放射されて基板（１２０）を透過した光を検知することによって、基板（１２０）を走査するように適合された第１画像化部（１６０）であって、第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）が第１検出チャネルを構成する第１照明部（１４０）と、基板（１２０）と第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）との間に相対運動を生成するように適合された移送モジュール（１３０）と、を備える。
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【課題】紫外光を含む波長域において高解像な画像を取得可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置の撮像部３５が、ステージに支持されたウェハを撮像するための可視光用撮像素子３８と、ステージに支持されたウェハの表面からの紫外光を受光し、紫外光によるウェハの像を中間像として結像させる対物レンズ３６と、対物レンズ３６により結像した中間像を可視光による中間像に変換する蛍光板４３と、可視光による中間像を可視光用撮像素子３８の撮像面上に結像させる結像レンズ４４とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】柄が装飾された表面に生じた凹凸欠陥を検出可能な樹脂成形品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】一定の指向性を有する光源２１と反射光を撮影するカメラ３１を備える。光源は出射光軸２２方向に主出射光を出射するとともに出射光軸を中心軸として一定の広がり角を有する放射角光を出射するものであり、光源２１と被検査物４１間の光路に遮蔽板２５を配置して光源からの主出射光を遮蔽することにより、被検査物の表面上に放射角光照明領域４６を作り出す。放射角光照明領域４６をカメラ３１で撮影して撮影像を得て、撮影像から凹凸欠陥を検査する外観検査装置である。 （もっと読む）

【課題】印刷物の端部であっても印刷物の状態を適切に確認し得る印刷物品質検査装置及びその光学配置方法を提供することを目的にする。
【解決手段】印刷物１に対してライン状の照射光を照射する照明手段３と、該照明手段３の照射光により印刷物１で反射された反射光を検出して印刷物１の画像情報を取り込む撮影手段とを備える印刷物品質検査装置であって、照明手段３は、印刷物１の横幅Ｗより長いライン状の照射光を生じる光源５と、印刷物１の横幅Ｗより長い全長を有して光源５の照射光を拡散させる拡散板６と、拡散板６からの照射光を印刷物１へ照射し且つ印刷物１からの反射光を透過するビームスプリッタ７とを備え、照射光を印刷物１の横幅Ｗ方向外側から印刷物１の端部１ａへ照射するように構成する。 （もっと読む）

【課題】導体パターンの検査と、導体パターンから露出する絶縁層の上に存在する異物の検査とを、容易かつ同時に実施することのできる、配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース絶縁層２と、その上に形成される導体パターン３とを備える配線回路基板１を用意し、配線回路基板１を、支持台４の上に配置し、光１０を、配線回路基板１の上側から配線回路基板１に向けて照射することにより、パターン反射光７と台反射光８と異物反射光９とを検知して、それらの間のコントラストによって、導体パターン３および異物１１を検査する。この検査工程において、台反射光８の反射率を３０〜７０％に調整し、異物反射光９の反射率を１０％以下に調整する。 （もっと読む）

【課題】
搬送ラインで搬送される容器を確実に検査できる検査装置を提供すると共に、既設のラインを使用可能にする搬送機構を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】
容器の底部を支持し搬送する第１の搬送手段と、第１の搬送手段で搬送される容器のネック部を支持し搬送する第２の搬送手段および第２の搬送手段の搬送経路に容器を検査する検査部を有し、第２の搬送手段の入口部は、第１の搬送手段の上に被さった状態で設置されると共に、第２の搬送手段の入口部は、第１の搬送手段で搬送される容器のネック部を掴めるように配置され、第２の搬送手段は、第１の搬送手段が前記容器を搬送する速度と同期して駆動されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】太陽電池ウェハの表面全体の画像から，前記ソーマークの像のみを的確に抽出することにより，太陽電池ウェハの表面全体の前記ソーマークの形成状態を精緻な空間分解能で高速かつ定量的に検査できるようにすること。
【解決手段】太陽電池ウェハの表面の撮像により得られた入力画像データに対しソーマークの像の長手方向に直交する方向におけるエッジ強調処理を施してエッジ強調画像データを生成し（Ｓ２），そのエッジ強調画像データに対しソーマークの像の長手方向に平行な方向におけるハイパスフィルタリングを施してハイパス画像データを生成し（Ｓ３），エッジ強調画像データからハイパス強調画像データを差し引くことによりソーマークの像が抽出された検査用画像データを生成し（Ｓ４），検査用画像データに基づいてソーマークの形成状態の評価値を算出する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】現像ローラや感光体ドラム、帯電ローラ等の電子写真方式の画像形成装置に使用される円筒形状部材の表面を作業者が円筒形状部材に触れずに検査することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】電子写真方式の画像形成装置に搭載される円筒形状部材の周面に有彩色トナーを付着させた後、有彩色トナーを保持させた状態で円筒形状部材の周面を非接触で検査する円筒形状部材の表面検査方法。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム（１０）が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部１４によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ１８によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部３２によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の微小な内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】主表面である表・裏面と４つの端面との６面を有する薄板状をなしたマスクブランク用ガラス基板の前記いずれかの端面から波長が２００ｎｍ以下の波長の光である検査光を前記ガラス基板内に導入し、前記検査光によって前記ガラス基板の内部欠陥から発生される蛍光を検出し、前記検出した蛍光に基づき前記ガラス基板の前記内部欠陥を検出する際に、前記端面から入射する検査光を、前記ガラス基板の表・裏面に対して２．０°〜４．０°傾くようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短時間で、ノズル孔周囲の不良およびノズル孔内部の異物の有無を一括して検査できるノズルプレートの検査装置等を提供することである。
【解決手段】ノズルプレート２がセットされるセットステージ１２と、ノズルプレート２を移動させる移動テーブル１３と、各ノズル孔３の表面側周囲７および内部を画像認識する認識カメラ１４と、認識カメラ１４のフォーカシング距離を調整するＺテーブル１５と、各ノズル孔３の表面側周囲７を照明する反射照明１６と、各ノズル孔３内部を照明する透過照明１７と、ノズルプレート２の高さを計測するレーザー変位計１８と、制御装置１９と、を備え、制御装置１９は、ノズルプレート２の高さを計測する計測動作と、フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、各ノズル孔３の表面側周囲７の不良を検査する表面検査と、各ノズル孔３の内部の異物の有無を検査する孔内検査と、を連続して実施するものである。 （もっと読む）

【課題】透明平板基板の表裏に存在する微細な異物を光散乱方式により高感度に検出するとともに、異物が表裏のいずれに存在するかを確実に判別することができる異物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】透明平板基板に投光系により検出光を照射し、前記透明平板基板に存在する異物による散乱光を受光系により受光して前記異物の存在を検出する異物検査装置において、前記透明平板基板の表面に前記透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で前記検出光を照射する投光系と、前記表面側に設けられ、前記検出光の照射点を基準として、前記投光系と略対称の位置に設けられ、前記検出光が異物に照射された際の散乱光を受光する第１の受光系と、前記表面側で、前記検出光の照射点のほぼ頭上に設けられ、前記散乱光を受光する第２の受光系とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の微小な凹凸の状態を評価できる表面微小凹凸評価装置および装置を提供する。
【解決手段】投光手段２から測定対象物Ｗの表面Ｗａに対して表面Ｗａの法線Ｘを基準として８３度から８５度の投光角度αで投光し、表面Ｗａで反射された反射光Ｒを受光手段３で、表面Ｗａの法線Ｘを基準として−７３度から−８０度の受光角度βで受光し、受光手段３で受光した反射光Ｒの光強度に基づいて表面Ｗａの微小な凹凸の状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な方法で、棒状回転工具の逃げ面の特徴及び逃げ面内の欠陥の特徴を抽出することが出来る画像を撮像する棒状回転工具の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】検査対象である角度が相互に相違する複数の逃げ面を有する棒状回転工具の刃先に照明装置により照射しつつ撮像し、得られた画像を基に検査対象の棒状回転工具の良否を判定する棒状回転工具の検査方法であって、棒状回転工具の先端部から外周までを同心円状に撮像すると共に、棒状回転工具の刃先と該棒状回転工具の刃先の一部または全部をその周囲から照射する照明装置との距離を変えて、棒状回転工具の特定の角度をなす逃げ面が他の角度をなす逃げ面に対して明暗が相互に逆転する画像が得られる複数の位置で撮像する棒状回転工具の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】表面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】一つの保持装置に設けられている少なくとも二つの放射光源を有する少なくとも一つの放射光装置と、少なくとも一つの絞り装置と、光路において前記絞り装置の手前に設けられており、前記絞り装置を通って進んでゆく放射光を均一にするために用いられている少なくとも一つの散乱装置とを備え、少なくとも一つの放射光源と前記絞り装置との間の光路中に、放射された光を前記絞り装置の単独のスリットに偏向する少なくとも一つの光偏向装置が設けられ、それによって前記放射光源から放射可能とされた放射光が前記絞り装置内の単独のスリットに向けられるように構成されている、測定面を照明するための照明装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】高いスループット及び高感度を維持しながら、複数の照明条件により検査対象物の検査を行なうことが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】照明光学系から領域１０ａと１０ｂとで互いに異なる照明条件の光が照射される。センサ７０とセンサ８０とは、照明条件が互いに異なる領域１０ａ、１０ｂからの反射光について同時に検査を実行する。試料１０の領域１０ａで散乱された光は、検出レンズ４０の対物レンズ４０ａと空間フィルタ１５０と結像レンズ４０ｂとを経て、ビームスプリッタ５０によって反射され、センサ８０にて光電変換される。試料１０の領域１０ｂで散乱された光は、検出レンズ４０の対物レンズ４０ａと空間フィルタ１００と結像レンズ４０ｂとを経て、ビームスプリッタ５０を透過し、収差補正素子６０を経てセンサ７０にて光電変換される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）