【課題】ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】２つの主表面と４つの端面を有する薄板状のマスクブランク用ガラス基板を準備する基板準備工程と、前記いずれかの端面から波長２００ｎｍ以下の検査光を前記ガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、前記検査工程は、ガラス基板内に導入された検査光が両方の主表面の所定領域全体に到達する発散角度を有する発散光を検査光として使用し、前記検査光によって前記ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を検査するものであり、蛍光が検出されないガラス基板を選定してマスクブランク用基板を製造することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】隣接するパターンと比較して、一致しない場合を不良として検出する方法が知られている。この方法を用いることで、拡大倍率の若干の誤差等の偽信号を抑制できる。しかし、この技術を用いるためには、同じパターンが繰り返された繰り返しパターンが要求される。そのため、アドレス番号等個別パターンを有するものには適用できず、上記した技術を用いることができるパターンは限られたものになるという課題があった。
【解決手段】アドレス番号部１３（個別パターン）の情報を隣接するパターンと同形状の遮蔽層２０で覆うことで個別情報を遮蔽し、繰り返しパターン１４とアドレス番号部１３とを合成した新たな繰り返しパターン１４Ａとして扱った。繰り返しパターンは、高速、高精度で欠陥検出が可能である。そのため、個別パターンを内包するパターンに対しても高速、高精度に欠陥検出し得る被検査基板を提供可能とした。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で従来よりもプリフォームの保持及びその保持の解除に要する時間を短縮できるプリフォーム用吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】吸着ヘッド２０の第１収容室２６ａ内にピストン部２２を上下動自在に嵌め合わせるとともにプリフォーム１００内に挿入する突出部２３を連結し、これらピストン部２２及び突出部２３をコイルばね２４で上方に押し付ける。ピストン部２２の下方には、第１減圧室３６が上方には第１減圧室３６より断面積が小さい第２減圧室３７が設けられるとともに、これら減圧室３６、３７が吸着ヘッド２０の軸線ＣＬ上に配置された共通の吸引路４４に接続されている。吸引路４４を介して吸引口２０ｃから空気が吸引されると第１減圧室３６と第２減圧室３７との断面積差に応じて生じた駆動力によりコイルばね２４に抗してピストン部２２及び突出部２３が下降し、下面２１ａから突出部２３のコーン部２３ｃが突出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる透明体の内部に欠陥が存在する場合に、その欠陥がどのくらい深い位置に存在しているかを特定できる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】撮影駆動手段３は、撮影手段２を透明体１７に近づく方向および透明体から遠ざかる方向に移動させる。撮影手段２は、透明体１７に近づく方向または透明体１７から遠ざかる方向に移動している間に複数回撮影を行う。欠陥判定手段１２は、撮影手段２が撮影した画像中の画素の輝度が不均一である場合、その画像を撮影した時の被写界深度内に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】基板上の微小な直線状微小明部を感度良く検査できる。
【解決手段】ラインカメラにより取得した画像データをストライプ方向と平行なｘ方向とは垂直なｙ方向にＲＧＢ各色ごとに加算してＲＧＢ各色別に輝度投影データを得、輝度投影データ中の着目データＤ（ｘ）とその近傍データＤ（ｘ−ｍ）、Ｄ（ｘ＋ｍ）を用いて、Ｈ（ｘ）＝（（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ−ｍ））＊（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ＋ｍ））（Ｄ（ｘ）＞Ｄ（ｘ−ｍ）かつＤ（ｘ）＞Ｄ（ｘ＋ｍ）の場合）、Ｈ＝０（前記に該当しない場合）という評価値Ｈ（ｘ）を得て、あらかじめ設定した閾値Ｈｔｈに対してＨ（ｘ）＞Ｈｔｈが成立したときにこの座標ｘを輝度異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】空樽などの略円筒状の外周面を有する容器であっても高い検査性能を達成し得る外観検査装置を提供する。
【解決手段】容器の外観を検査するための装置（２０）において、略円筒状の外周面を有する容器（１）を自転させる回転機構（３）と、自転時に容器（１）の外周面の側方に位置するように固定された少なくとも１つのラインカメラ（５ａおよび５ｂ）とを設け、回転機構（３）により容器（１）を自転させながら、ラインカメラ（５ａおよび５ｂ）で容器（１）の外周面を撮像し、これにより得られた容器（１）の外周面の画像データに基づいて外観検査の合否を判別するように構成する。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部と、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対して光を照射する照明装置と、被検査基材１０を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラ２２と、カラーセンサカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、カラー画像のうちパッド部からの反射率が低く、めっき層からの反射率が高くなる特定波長成分のみを含む画像成分を抽出する成分抽出部３２と、特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部３３と、めっき層の欠けを判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部１１ａ、１１ｂと、パッド部１１ａ、１１ｂと異なる色彩をもつめっき層１２とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対してパッド部１１ａ、１１ｂからの反射率と、めっき層１２からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置２３ａ−２３ｃと、被検査基材１０を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラ２２と、モノクロカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、モノクロカメラ２２からのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部３３と、白黒画像に基づいてめっき層１２の未着を判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】被供試体の内面の計測現場にて簡易迅速に計測が可能で、且つ構造の簡易な管内面観察装置を提供する。
【解決手段】本被供試体１１内面を観察する管内面観察装置であって、被供試体１１内部を観察する先端に撮像部であるＣＣＤカメラ１３を有するファイバースコープ１２と、前記ファイバースコープ１２を内部に挿・抜可能であると共に、屈曲自在な中空管２１ａを有する管内面保持装置本体２１Ａとを具備してなり、前記管内面保持装置本体２１Ａの周囲に、ファイバースコープ１２を中心としてその外周側に向かって湾曲して突出する湾曲突出体であるスプリングバンド２２を有する。 （もっと読む）

本発明は、機械部品（１４）の非破壊検査のための自動化された方法に関し、画像センサ（２４）と、照明光源（２６）と、画像センサ（２４）、光源（２６）、および機械部品（１４）の相対的移動のための手段（１８、２２）とを含む、デジタル画像を取得するための機器（１０）を使用してデータベース内に記憶される基準画像と部品の表面の画像を比較するステップを含む。
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【課題】検査作業に手間取ることなく微小な異物とキズ痕とを判別可能な異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】デバイス素子表面の撮像データに基づいて異物とキズ痕とを判別する検査装置であって、デバイス素子に対して斜光を二方向から同時に照射する斜光照明手段１０と、デバイス素子からの反射光を検出して撮像する撮像手段２０と、各手段を制御すると共に撮像した画像をデジタル処理して異物かキズ痕かを判別する判別処理手段３０とを備えたことを特徴とする異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法である。 （もっと読む）

【課題】光学的方法を使用して長期間安定した検査を行うことができる長寿命光源を有する検査装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】長尺な検査対象Ｓの表面検査に使用される長寿命光源を有する検査装置であって、検査対象Ｓに光を照射する光源１１と、光源１１の作動を制御する制御部３０とを備えた投光手段１０と、投光手段１０から検査対象Ｓに照射された光の反射光を受光する受光手段２０とを備えており、投光手段１０は、光源１１が、検査対象Ｓ上の同一の検査位置ＳＡに光を照射する複数のＬＥＤセットＬを備えており、制御部３０は、複数のＬＥＤセットＬのうち、検査対象Ｓに対して光を照射するＬＥＤセットＬを切り換える切換手段３２を備えており、制御部３０は、検査位置ＳＡで反射され受光手段２０に入光する光量が所定の量となるように、各ＬＥＤセットＬから検査対象Ｓ上に照射する光の光量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 任意のパターンを有するレチクル上のパーティクル及び異常の検出を可能にすること。
【解決手段】 レチクル検査のための方法及びシステムを開示する。この方法は、検査レチクル及び基準レチクルの表面をコヒーレントに照明すること、照明された表面からの散乱光にフーリエ変換を適用すること、基準レチクルからの変換された光の位相を、検査レチクルからの変換された光と基準レチクルからの変換された光との間の位相差が１８０度であるようにシフトすること、変換された光を像減算として合成すること、合成された光に逆フーリエ変換を適用すること、及び、ディテクタにおいて合成された光を検出することを含む。照明源からディテクタへの２つの光路間の光路長差は、照明源のコヒーレント長未満である。ディテクタにより検出される像は、レチクルの振幅及び位相分布における差を表し、これにより、外部パーティクル、異常などを容易に識別することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】短時間でＣＣＤカメラのフォーカシングを行うことができるノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法を提供することである。
【解決手段】マザープレート１がセットされるセットステージ１２と、セットステージ１２を介してマザープレート１を移動させる移動テーブル１３と、各ノズル孔３のメニスカス形成部８にフォーカシングし、画像認識するＣＣＤカメラ１４と、各ノズル孔３内部を照明する透過照明１７と、ＣＣＤカメラ１４とマザープレート１の表面との距離を計測するレーザ変位計１５と、これら装置を制御する制御装置１８と、を備え、制御装置１８は、各ノズル孔３の近傍における距離およびマザープレート１の移動量から、各ノズル孔３の位置情報および各ノズル孔３に対するフォーカシングの距離情報を取得し、取得情報に基づいて、各ノズル孔３の内部を連続的に画像認識して、異物４３の有無を検査するものである。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着した異物の検出精度を向上する。
【解決手段】レチクルＲの被検査面（ガラス面ＲＧ）に波長の異なる複数のプローブ光を照射し、ガラス面ＲＧからの散乱光を複数の受光角で受光し、受光した散乱光Ｌ_１，Ｌ_２のそれぞれの強度を計測する。ガラス面ＲＧでのプローブ光の照射位置と照射位置に対応する散乱光Ｌ_１，Ｌ_２の強度の計測結果とから、複数のプローブ光の波長と複数の散乱光の受光角毎に、ガラス面ＲＧについての散乱光の強度分布を求める。求められた複数の強度分布を相互に比較して解析することにより、レチクルパターンによる回折光からガラス面ＲＧ上に付着した異物ＡＰによる散乱光を分離して検出することができるので、精度良く異物ＡＰを検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵で反射された光の集束及び発散によって得られる明暗パターンに基づいて微小欠陥を検出する検出系とを有する。前記光源４は、前記鋼板１がロール２に接している部位に光を照射する。又前記検出系は、前記鋼板表面により反射された光を投影するスクリーン６と、当該スクリーン上の光強度分布を測定する２次元カメラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノッチ部を精度良く検査できる周部検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る周部検査装置は、周部にノッチ部１４が形成されたウェハ１０を保持する保持部と、ウェハ１０の周部を撮像可能な撮像部９０とを備え、撮像部９０により撮像されたウェハ１０の周部の画像を用いてウェハ１０の表面検査を行うように構成され、保持部に保持されたウェハ１０と撮像部９０とを撮像部９０の光軸方向に沿って相対移動させる駆動部と、撮像部９０の光軸上にノッチ部１４を位置させた状態で、駆動部により相対移動させながら撮像部９０により撮像したノッチ部１４を含んだ複数の画像について、それぞれの画像の画素毎に信号強度を求めるとともに複数の画像における同じ画素同士の信号強度を比較して、信号強度が最大となる画素を抽出し、抽出された複数の画素の画像を対応する画素位置に並べて合成しノッチ部１４の検査用画像を生成する画像処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 光透過性のフィルム４の欠陥測定位置を常にカメラに対し一定に保つことができ、光透過性のフィルム４の正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置１の提供。
【解決手段】 光透過性のフィルム４を接触部で支持しながら搬送する支持ローラ２と、前記接触部においてフィルム４に光を照射する光源３と、光源３からフィルム４に照射されフィルム４を透過した透過光６を検知するカメラ５とを備え、好ましくは、フィルム４の接触部よりもフィルム搬送方向の前及び／又は後に、フィルム４を挟持するフィルム制御ローラ対７，８を備えることを特徴とするフィルムの検査装置１。 （もっと読む）

ヤーンクリヤラ測定ヘッド（１）用ハウジング（２）は、欠陥個所を除去すべき糸（９）を受入れるため長手方向（ｘ）を規定する測定スリット（３）を持っている。ハウジング（２）が仮想包絡直方体（４）により完全に包囲可能である。包絡直方体の長さ（Ｘ）が長手方向（ｘ）におけるハウジング（２）の寸法として定義されている。包絡直方体の高さ（Ｙ）及び幅（Ｚ）が、長手方向（ｘ）に対して直角な面（ｙｚ）にある包絡直方体の長方形の辺長として定義され、この長方形がこの面（ｙｚ）へのハウジング（２）の投影を完全に包囲し、この長方形の周囲及び／又は面積が最小である。包絡直方体（４）の長さ（Ｘ）が４１ｍｍと４７ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体の高さ（Ｙ）が６１ｍｍと７０ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体（４）の幅（Ｚ）が９６ｍｍと１０６ｍｍとの間にある。ハウジング（２）は、その中に収容される構成要素に対してできるだけ多くの空間を提供し、できるだけ多くの機械に組込むことができる。
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【課題】ＣＣＤカメラと共に移動して検査を行っても、光ファイバーの劣化等が生じることがなく、被検査部を明るく均一に照明することができ、コンパクトで設置スペースが小さくてすむリング型照明装置を提供する。
【解決手段】このリング型照明装置１は、面発光型発光ダイオード６と、その発光面を囲むように配置された筒状ミラー８と、基端部を結束されて筒状ミラーの面発光型発光ダイオードの発光面に対向する開口部に挿入され、先端部はリング状に配列された光ファイバー束１２と、光ファイバー束の先端部の光出射部の外周を囲むように配置され、少なくとも内周が反射面をなす環状ミラー１７，１８と、前記各部品を一体に保持すると共に、開口部５を有するハウジング２とを備え、ファイバー束の先端部から出射された光が直接又は環状ミラーに反射されて、被検査体に照射されるように構成されている。 （もっと読む）