【課題】 配線検査時間の短縮が可能な配線検査装置を提供する。
【解決手段】 基板上に配線が設けられた配線板に光を照射する照明光学系と、配線板の表面からの反射光により画像を撮影する撮像カメラと、配線板の設計仕様で規定された配線の端部の位置に対応する第１検査位置を含む検査画像を画像から抽出し、検査画像の複数の画素を配線及び基板に対応する第１画素及び第２画素に変換する変換部と、第１検査位置を中心として、第１検査図形、及び第１検査図形より小さな第２検査図形を検査画像上に設定する設定部と、第１及び第２検査図形のそれぞれの周辺上の第１及び第２検査画素を抽出して、第１検査画素の度数を算出する算出部と、算出された第１検査画素の度数を設計仕様で規定された基準度数と比較して配線の合否判定を行う判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】スクリーン製版のパターン内の目詰まりが透明、不透明のいずれであるかに関わらず、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】スクリーン製版１をテーブル１２にセットし、テーブル１２上のスクリーン製版１に対しその一方側に配置した光源２０、２１からテーブル１２上のスクリーン製版１の他方側へ光を透過させ、透過光によるスクリーン製版１の光像を受像部１９で受像し、受像した画像からテーブル上のスクリーン製版の外観を検査する装置であり、前記光源２０、２１とテーブル１２上のスクリーン製版１との間に、第１偏光フィルタ２３を配置し、受像部１９とテーブル１２上のスクリーン製版１との間に、第１偏光フィルタ２３に対し光軸回りに相対回転可能な第２偏光フィルタ２４を配置する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の個体差に影響されずに精度良く被検査体の表面を検査できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心点を基準として点対称に形成される複数のボス２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを有する被検査体２を撮像して被検査体画像３を取得する撮像手段１１と、被検査体画像３からボス２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが写った複数の部位画像３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを切り出し、切り出された複数の部位画像のうちの一枚を基準画像として、基準画像と他の残りの部位画像との間で一つずつパターンマッチングを行う画像処理手段１５と、パターンマッチングの結果、基準画像とある特定の部位画像との相関が他の部位画像との相関よりも所定の閾値だけ低い場合または基準画像と他のすべての部位画像との相関が所定の閾値よりも低い場合には被検査体に欠陥が存在すると判定する判定手段１６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の基本パターンが反復する反復パターンが形成された試料表面を走査し、複数の基本パターン相互の対応部分の画像同士を比較する欠陥検査において、ダブルデテクションで比較される３画像を同一方向に向かう主走査で取得しかつ正逆両方向において主走査を行う。
【解決手段】欠陥検査装置１は、試料の表面を撮像する撮像手段１３、撮像手段１３及び試料を相対移動させる移動手段１１、この相対移動により撮像手段１３で試料を２次元走査する走査制御手段４０、３個以上の基本パターン上で行われる反対向きの主走査を含む２回以上の主走査で得られる画像を格納する画像記憶手段２２、格納された画像のうち複数の基本パターンの対応部分を同一方向に向かって主走査して得られた画像を選択する選択手段２３、選択された画像間で比較を行い欠陥候補を検出する欠陥候補検出手段２４、欠陥候補がどの基本パターンにあるのかを決定する決定手段２５を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検査における測定時間を大幅に短縮する検査装置を提供する。
【解決手段】規則性のあるパターンを一面に配設した被測定物のパターンの欠陥を検査する検査装置であって、
前記被測定物を撮像する2台の撮影手段であって該撮像手段間の距離が一定である撮像手段と、
前記撮像手段と前記被測定物を相対移動させる移動手段と、
前記2台の撮像手段で撮像された2個の画像の各々について前記パターンの最小単位部を抽出し、次いで前記最小単位部の中央位置を計測する第1の演算手段と、
前記第１の演算手段で計測された2つの座標の差分値の変化量を算出し、次いでその変化量に対して所定閾値を用いた判定を行うことにより、パターンの欠陥の有無を検出する第2の演算手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することが可能な鋼板穴検出装置の穴検出精度検査方法を提供する。
【解決手段】先に通板される鋼板１と後に通板される鋼板１の溶接部１０に形成された、鋼板トラッキング用の穴１１が検出されるか否かを判定し、当該溶接部１０に形成された穴１１が検出される場合に鋼板穴検出装置の穴検出精度良好と判定することとしたため、予め穴１１の開設されたダミーコイル１２を用いることなく穴検出精度の検査を行うことができ、鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することができると共に、穴検出精度のために新たに穴を開設する必要がなく、その分だけ、穴検出精度検査が容易になると共に穴検出精度検査の頻度を増加することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別する為の画像を取得することによるムラ検査装置における、最適な検査条件設定方法を提供すること。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板に照明光を複数の照射角度で斜め照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査装置における検査条件設定方法である。周期性パターンの形状に関する情報を入力する検査対象基板情報入力工程と、位置決め工程と、回折格子方程式による回折光強度ピーク角度算出工程と、回折光の測定を行う際の測定角度範囲を決定する回折光測定角度範囲決定工程と、回折光強度プロファイルを得る回折光強度取得工程と、得られた回折光強度プロファイルと、回折光強度ピーク角度算出工程において得られた回折光角度と回折光次数、照明光波長とを元に、照明光の照射角度、撮像倍率および照明光波長を設定する検査条件設定工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】微小はんだ領域と通常サイズのはんだ箇所とが混在するクリームはんだ印刷基板に対して、高分解能３次元検査と基板全面のはんだ箇所３次元検査とを実用的な検査時間において実現する。
【解決手段】基板に対してそれぞれ斜め姿勢の高分解能撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと基板全面撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、高分解能撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第１色相光光源と、基板全面撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第２色相光源によって照明装置を構成し、微小はんだ領域についてはスキャン撮像による高分解能３次元検査を、又その他の通常サイズはんだ箇所については基板全面のスキャン撮像による３次元検査をすることによって、検査時間が実用的な範囲に収まるようにした。 （もっと読む）

【課題】はんだフィレットの高さの計測精度を向上し、信頼度の高い検査を実現する。
【解決手段】同軸落射照明用の赤外光および赤、緑、青の各色彩光を基板に照射しながら、赤外光および可視光を分離して受光する機能を有するカメラにより基板上のフィレット１０２を撮像する。つぎに、生成された画像において、各照明光の正反射光像領域が連なっている方向に沿う計測ラインＬを設定し、このラインＬ上で、各正反射光像領域および暗領域の境界点Ａ１〜Ａ６を検出する。つぎに、各正反射光領域の境界点Ａ１〜Ａ５に、それぞれ対応する照射角度範囲の境界を表す角度から求めた傾斜角度を適用し、各点Ａ１〜Ａ５の座標Ｄ１〜Ｄ５に各傾斜角度を対応づけて、ラインＬ上の傾斜角度の変化を表す近似曲線を設定する。そして、点Ａ１から点Ａ６までに相当する範囲を対象に近似曲線を積分し、この演算により得た計測値をはんだの濡れ上がり高さとして特定する。 （もっと読む）

【課題】マスク全体の光学画像及び参照画像を用いてマスクの欠陥検査を行うことが可能なマスク検査装置及びマスク検査方法を提供する。
【解決手段】マスク１０１の光学画像が検査ストライプ単位で取得され、予備検査部１２０に入力される。参照画像生成部１１８によりマスク１０１の参照画像が検査ストライプ単位で生成され、予備検査部１２０に入力される。予備検査部１２０により検査ストライプ単位の光学画像及び参照画像を用いて予備検査が行われる。検査ストライプ単位の光学画像及び参照画像はフラッシュメモリ１２２に逐次格納される。マスク１０１全体の光学画像及び参照画像が格納された後、欠陥検査部１２４によりこのマスク全体の光学画像及び参照画像を用いてマスク１０１のパターン欠陥検査が実行される。 （もっと読む）

【課題】物品の欠けを不良品とし異物の付着を良品として良否判定を行うにあたり、良否判定の誤認を防止し、無駄ばねを抑制する。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の欠けに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を正常範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときに物品に欠けが存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】成形むらを欠けと区別できるようにし、良品である成形むらの無駄ばねを抑制することを可能にする。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の成形むらに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を欠けに対する範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときには成形むらであると判定する。 （もっと読む）

【課題】長手方向に沿って延長する標識線を有する被測定物の幅方向断面における標識線の位置を確実に検出して被測定物の形状の良否判定の精度を向上させる。
【解決手段】上部側カメラ１２により撮影したトレッド２の表面側のカメラ像から作成した上形状画像から、当該トレッド２の両端部２ｃ，２ｄの位置を検出し、この両端部２ｃ，２ｄの位置からトレッド２のセンター位置を算出し、上記上形状画像の上記センター位置近傍の画素データから標識線２ｚの位置を検出することにより、上記上部側カメラ１２により撮影したトレッド２の上形状画像と下部側カメラ１４により撮影したトレッド２の裏面側のカメラ像から作成した下形状画像との合成画像に、正確な標識線２ｚの位置を示す標識線表示Ｚを付加した検査画像Ｇを作成することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】複数のカラー光源を利用して、鏡面状の検査面を有する検査対象物の欠陥を確実に検出できるようにする。
【解決手段】 検査面２の法線方向に光軸を一致させてカラーラインＴＶカメラ３を配置し、検査面２を横切るカラーラインＴＶカメラ３のライン状視野に対して平行でかつカラーラインＴＶカメラ３の光軸から離れた位置に赤緑青３色の棒状のライン光源４，５，６を配置し、検査面２とカラーラインＴＶカメラ３との間にハーフミラー７を配置し、緑色ライン光源５をその光がハーフミラー７を介してカラーラインＴＶカメラ３の光軸と同軸に検査面２に照射されるように配置し、緑色ライン光源５を挟んで赤色ライン光源４および青色ライン光源６を平行に並べて配置し、ハーフミラー７を介して赤色ライン光源４および青色ライン光源６の光が緑色ライン光源５の光路を挟んで検査面２に対し斜め方向から照射されるようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、光透過性フィルムＡの裏面側に配される観察用補助部材２、前記光透過性フィルムＡに表面側から光を照射する照明手段６、前記照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡで反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１、及び前記撮像部１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３を具備する。前記観察用補助部材２に、この観察用補助部材２での前記特定波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されている。このため、撮像部１で受光される特定波長域の光における、観察用補助部材２からの反射光の割合が低減し、光透過性フィルムＡの欠陥に起因する反射光の強度変化が明りょうになる。 （もっと読む）

【課題】表面に複数の凸部が形成された金属シートにおいて、凸部が形成されていない欠損箇所を効率よくかつ確実に検出する。
【解決手段】表面に複数のミクロンオーダーの凸部がミクロンオーダーの間隔で形成された金属シートに、同軸落射照明または斜方照明により、光軸に対して垂直な方向に幅を有する光を照射し、凸部が形成されていない欠損箇所を検出する。さらに、検出結果に基づいて欠損箇所を切除することにより、高容量で、充放電サイクル特性などの電池性能の低下が少ない電池を得るのに有効な電極を作製する。 （もっと読む）

【課題】線幅５μｍ〜１０μｍのＶＡの、部分ＶＡ欠損を検出することで、ＶＡパターン形成不良基板を早期に発見し、ラインの生産効率を向上させることが可能な欠陥検査方法、および、この欠陥検査方法を適応した欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】透明基板１０上に、少なくともブラックマトリクス（ＢＭ）、着色層、透明導電膜、フォトスペーサ及びＶＡパターンが形成されたカラーＬＣＤ用カラーフィルタの特定箇所のＶＡパターン欠損を検出するＶＡパターン欠損検査方法において、白色光源３０から特定箇所に白色光を照射し、その同軸反射照明光を、白色干渉法または、白色共焦点法を用いて、モノクロＣＣＤセンサ２０を搭載した顕微鏡ユニット２５からなる撮像手段にて撮像を行う。ＶＡ欠損検出には特定のアルゴリズムロジックを適用する。 （もっと読む）

【課題】
半導体基板などの基板の表面あれを高精度に検査する。
【解決手段】
基板表面に照明を照射し、散乱光や反射光を複数の方位、仰角で検出することで基板の
表面あれを表面あれの周波数帯域ごとに計測する。 （もっと読む）

印刷シートをその先端により保持するための複数の離間されたグリッパバー（３２）を含む少なくとも１つのシートグリッパシステム（３ａ、３ｂ）を備えるシートコンベアシステムによって移送される印刷シートの品質を検査するための検査システム（１０）が記載される。検査システム（１０）は、印刷シートがシートグリッパシステム（３ｂ）によって移送されている間に印刷シートの第１の側の検査を行なうための光学品質制御装置を備える。光学品質制御装置は、検査位置で印刷シートの第１の側を走査するためのラインカメラ（１１）を含み、該ラインカメラは、印刷シートがラインカメラ（１１）によって依然として走査されている間に印刷シートを移送するグリッパバー（３２）が移動方向の変化を受けるシートグリッパシステム（３ｂ）の部分に近い場所に位置される。検査システム（１０）は、シートグリッパシステム（３ｂ）によって移送される印刷シートの経路（Ａ）に沿ったラインカメラ（１１）の光学経路（Ｂ）の前方に配置される吸引ローラ（５０）を更に備え、吸引ローラ（５０）は、ラインカメラ（１１）によって走査される第１の側と反対側の印刷シートの第２の側と接触し、吸引ローラ（５０）は、品質制御装置によって検査されるべき印刷シートの一連の部分を決定されて制御された速度でラインカメラ（１１）を通り過ぎて推し進めるために選択された周速度で駆動される。
（もっと読む）

【課題】転写後の転写フィルムの状態を確認することを利用した成形品の転写状態確認方法、およびそれを用いた転写装置を提供する。
【解決手段】転写機によって転写された成形品の転写状態確認方法であって、上記転写機によって上記成形品に転写部が転写された後の転写フィルムは、上記転写部が完全に上記成形品に転写された場合、全体が透明となるので、上記転写後の転写フィルムをバックライトで照らしてカメラで撮影した静止画像は、転写された部分は白く、転写されていない部分が黒くなることを利用し、画像診断装置によって上記静止画像の白黒を判断し、上記静止画像に黒い部分がある場合には転写状態が不良であると判断し、上記静止画像が真っ白であれば転写状態が良好であると判断する。 （もっと読む）