【課題】内管の周囲に巻き付けられたワイヤの巻き付け不良をタイムリーに検出する。
【解決手段】ワイヤＷを内管ゴム１４の周囲に巻き付けるワイヤ巻き付け装置２０にはワイヤ補強層検査装置１０が設けられている。ワイヤ補強層検査装置１０は、ワイヤ補強層１６の表面形状を測定する表面形状測定装置５０と、その表面形状に基づきワイヤ補強層１６の巻き付け不良を検出するコントローラ７０とを備えている。表面形状測定装置５０は、ワイヤ補強層１６にレーザ光５４を照射するレーザ光射出部５２と、反射したレーザ光５５をイメージセンサに結像させてワイヤ補強層１６の表面形状を測定する測定部５６とを備えている。回転盤２４が９０度回転する毎に、表面形状測定装置５０でワイヤ補強層１６の表面形状を測定し、コントローラ７０に取り込まれた最新の画像データと直近の画像データとを比較することで、ワイヤＷの巻き付け不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプにおける蛍光塗膜の検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる蛍光ランプ検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置は、蛍光ランプに対して光を照射する照明装置と、当該照明装置からの直接光及び蛍光ランプを透過した透過光を受光し、輝度値を含む画像データとして出力するＣＣＤカメラと、得られた画像データに基づき、蛍光塗膜の良否を判定する演算装置とを備えている。演算装置は、露光時間ｔ₁で撮像した第１画像データから検査領域の輝度値Ｙ_1wを取得し、露光時間ｔ₁よりも短い露光時間ｔ₂で撮像した第２画像データから背景領域の輝度値Ｙ_2bを取得し、当該両輝度値Ｙ_1w，Ｙ_2bを基に、第２画像データに係る検査領域における光の透過率α／βを算出し、当該透過率α／βに基づき、蛍光塗膜の膜厚の良否を判定する。 （もっと読む）

オブジェクト検査のための、特に、リソグラフィプロセスで使用されるレチクルの検査のためのシステムおよび方法が開示される。当該方法は、基準放射ビームをプローブ放射ビームと干渉法により合成することと、それらの合成視野像を記憶することと、を含む。そして、１つのオブジェクトの合成視野像を、基準オブジェクトの合成視野像と比較して差を求める。これらのシステムおよび方法は、欠陥に関するレチクルの検査において特定の有用性を有する。 （もっと読む）

【課題】凹凸、透明異物、フィッシュアイ、スジなど表面状態が変化した欠陥と、焼け、油汚れなど表面状態が変化しない非常に淡い黄色などの有色欠陥を１系列の光学系で検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する検査対象物を照明するために面光源を有する照明装置と、面光源の検査対象物の走行方向の中心部に設置され、面光源の検査対象物の走行方向の幅より狭い幅を有する所定の透過率のライン状シートと、ライン状シートの検査対象物の走行方向の中心部を受光位置とするラインセンサと、ラインセンサの出力信号に基づいて得られる画像データを画像処理することにより、検査対象物の欠陥部を検出する画像処理装置とを備えた。 （もっと読む）

【課題】検査精度に寄与する項目を効率的に選択し、選択した項目により検査することのできる画像検査装置を提供する。
【解決手段】基準画像から特徴量を算出し仮基準空間記憶部１０６に格納する仮基準空間マハラノビス距離算出部１０４と、直交表においてマハラノビス距離の算出に利用すると規定された項目に対する特徴量を仮基準空間マハラノビス距離算出部１０４から抽出し、抽出した特徴量に基づいて、各項目を利用する場合、しない場合のＳＮ比を算出するＳＮ比算出部１１２と、ＳＮ比に基づいて項目を選択する項目選択部１１４と、選択された項目に対応する特徴量を仮基準空間記憶部１０６から抽出し、抽出した特徴量に基づいて、基準空間のマハラノビス距離を算出する基準空間マハラノビス距離算出部１１６を備えた。 （もっと読む）

【課題】
被検査球に非接触で有害なキズをつけることなく検査を実施することができて、光を透過する材質を含む被検査球の全表面及び内部のキズ，異物及び欠陥の有無を判定可能とする。
【解決手段】
球体保持器４と、流体供給装置１を含み、球体保持器４は中心部に流体供給装置１に連通する流体噴出孔２ａを有していると共に、上面に半球状のくぼみを形成してなり、かつ半球状のくぼみには中心より放射方向に１本又は非対称複数本の流体流出溝３を設けて被検査球７を流体噴出孔２ａよりの噴出流体で球体保持器４上に浮揚させ、非接触で回転させながら検査手段により被検査球７の全表面及び内面を検査する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても欠陥を誤検出することがない欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１が、ウェハ５を支持するステージ１０と、ステージ１０と対向するように配設された対物レンズ１１と、ステージ１０に支持されたウェハ５の表面に、落射照明により対物レンズ１１を介して照明光を照射する照明光学系２０と、照明光が照射されたウェハ５の表面からの反射光を、対物レンズ１１を介して受光し、対物レンズ１１の瞳面における輝度情報を検出する検出光学系３０と、検出光学系３０に検出された対物レンズ１１の瞳面における輝度情報に基づいて、ウェハ５の表面に形成された繰り返しパターンにおける欠陥を検出する画像処理部４５とを備え、ステージ１０に支持されたウェハ５と対物レンズ１１との間において、照明光および反射光の光路上に偏光素子１５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】体積型ホログラム層の再生光の影響を受けることなく、体積型ホログラム積層体の欠陥を精度良く安定して検出することが可能な体積型ホログラム積層体の検査方法を提供する。
【解決手段】まず照明装置４１により、体積型ホログラム層１１を有する体積型ホログラム積層体１０に対して体積型ホログラム層１１の特定波長と異なる波長の検査光Ｌ１を照射する。次に、カメラ（受光装置）４２は、体積型ホログラム積層体１０からの反射光Ｌ２を受光する。その後、検出装置５０は、反射光Ｌ２による画像を画像処理することにより、体積型ホログラム積層体１０の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が傾斜方向の異なる複数の面を有している場合であっても迅速に表面の欠陥の有無の測定を行うことができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物９０の表面にそれぞれ波長帯が異なる複数本の光ビームＲ，Ｇ、Ｂを照射する光源１１と、検査対象物９０の表面で正反射された光ビームＲ，Ｇ，Ｂを検査対象物９０の表面の傾斜方向に応じてそれぞれ異なる収束位置Ｐ１，Ｐ２、Ｐ３に収束させるレンズ１３と、各収束位置Ｐ１〜Ｐ３に配置され、それぞれ異なる波長帯の光ビームを透過させるカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂと、そのカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂを透過した光ビームの輝度を検出する受光素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂと、前記光ビームを走査させる走査機構とを備えた表面検査装置１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】非透過層の表面上の欠陥のみを判別可能とすることで、歩留り向上につなげることができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】カメラで撮像される画像において波長ごとに焦点距離が異なることを利用して、波長の短い青色成分については光透過層１０２の表面近くで焦点が合い、波長の長い赤色成分については非透過層１０１の表面近くで焦点が合うように、レンズ１１−対象物１００間の距離を設定する。これにより、撮像画像においては、光透過層１０２の表面上の欠陥に関しては赤色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなり、非透過層１０１の表面上の欠陥に関しては青色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなる。そこで、画像処理装置では、撮像画像の赤色成分と青色成分とを比較することで非透過層１０１上の像か否かを識別し、非透過層１０１の表面上の欠陥のみを判別する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された着色膜に生じる微小な濃度変動を光学フィルターによって強調することでＳ／Ｎ比を向上させ、きわめて小さな濃度変動の良否判定を行う基板検査装置および基板観察装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子をもつカメラ２２と、基板を把持するステージと、ステージ後方から基板を照明する照明手段２４と、カメラのシャッターを制御する制御手段と、カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に、基板の光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター２１と、カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、画像を元に良否判定を行う判定手段とを有すること。 （もっと読む）

【目的】検査時間の増大を抑制しつつ、検査精度を向上させるパターン検査装置を提供する。
【構成】被検査試料のパターン面に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、光源と、パターン面のフーリエ変換面に設けられ光源から射出された光線を異なる形状および方向を有する第１および第２の照明光に分割する機能を備える光学素子を有し、第１および第２の照明光によりパターン面の第１および第２のパターン領域をそれぞれ異なる照明条件で照明する照明光学系と、第１および第２のパターン領域を照明した第１および第２の照明光を透過する対物レンズと、第１および第２の検出センサと、対物レンズを透過した第１および第２の照明光をそれぞれ第１および第２の検出センサに結像する第１および第２の結像光学系とを備えることを特徴とするパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく短時間で判定できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】ウエハ１０欠陥を検査する表面検査装置１００は、偏光子７ａ及び対物レンズ９を含み、これらを介してウエハ１０の表面に形成されたパターンを光源１の光により照明する照明光学系２１と、照明による試料の表面からの反射光を対物レンズ９を介して集光し、更に、偏光子７ａとクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を検出する検出光学系２２と、対物レンズ９の環境温度を検出する温度測定部２０と、環境温度に対応付けてクロスニコル条件を維持するための偏光子７ａの光軸回りの回転量を記憶する記憶部２４と、温度測定部２０から出力される環境温度に対応する回転量を記憶部から抽出し、当該回転量となるように偏光子７ａを回転させる検出部２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】集光部材と照明ユニット、そしてそれを利用した光学検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、集光部材を利用して検査対象物に照射される光を集光することを特徴とする。この特徴によると、検査対象物（印刷回路基板）に照射される光の損失を最小化し、基板に形成されたパターン傾斜面の鮮明なイメージデータを獲得することが可能である。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ、プリンタ、印刷機等の画像形成装置等に用いられる、物体表面の光沢ムラを比較的簡易な手法で定量的に測定して評価する光沢ムラ評価装置、光沢ムラ評価方法、かかる光沢ムラ評価装置を有するかかる画像形成装置、かかる光沢ムラ評価方法を実行するプログラムを格納した記録媒体の提供。
【解決手段】撮像された被評価サンプルＳＡの正反射光を含む画像の画素の光輝感成分と色彩成分とを算出する第１の算出手段８０と、光輝感成分の平均値と色彩成分の平均値とを算出する第２の算出手段８０と、光輝感成分の平均値からの偏差の空間周波数特性に、人の視覚特性を考慮した重み付け処理を行い積分して所定値を算出する第３の算出手段８０と、所定値に色彩成分の平均値を用いた色味の度合いで重み付け処理を行った光沢ムラ評価値を算出する第４の算出手段８０とを用いる。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】ローラ間が狭くても使用でき、導入光の損失がなく高い照度で透光膜表面を照射することができる検査用照明装置を提供する。
【解決手段】基端面から導入された光が前記基端面に対向する先端面から導出される透明な中実の導光板と、射出した光が前記基端面から前記導光板内に導入される位置に設けた光源と、を備えており、前記ローラ間に挿入されて、前記導光板の先端面が前記透光膜を望む位置に設けられているようにした。 （もっと読む）

【課題】外周縁の断面形状が表裏で異なるボタンの表裏を確実に判別することのできるボタンの表裏判別方法およびボタンの表裏判別装置を提供する。
【解決手段】ボタンの表裏判別方法は、載置面上に載置されるボタン上方から斜光Ｌａを照射した際に、ボタン直下の載置面上に斜光Ｌａの照射方向に向かって形成される影の長さに基づいて、ボタンＢの外周縁の断面形状の相違を判別することにより、ボタンＢの表裏を判別する。ボタンの表裏判別装置１は、斜光Ｌａを照射する斜光照明装置７と、斜光Ｌａを受光するイメージセンサ３と、斜光Ｌａを照射して形成されるボタンＢの斜影長さをイメージセンサ３で検出し、検出したボタンＢの影の長さに基づいてボタンＢの表裏を判別する制御手段５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】照明光学系２により標準異物ウエハ１１０の表面に照明光を照射しつつ、その照射光により標準異物ウエハ１１０の表面を走査し、検出光学系３の検出器３１〜３４により標準異物ウエハ１１０の表面からの散乱光を検出し、その散乱光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて検出器３１〜３４の光電子増倍管３３１〜３３４の検出感度を補正するための補正パラメータＣｏｍｐを算出し、その補正パラメータＣｏｍｐを経時劣化パラメータＰ、光学的特性パラメータＯｐｔ、及びセンサ特性パラメータＬｒに分離して管理する。 （もっと読む）