【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる欠陥検査装置は、同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料３を検査する欠陥検査装置であって、試料３からの光を受光する光検出器５と、光検出器５の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって２値化処理を行って、２値化画像を生成する２値化処理部１２と、同一形状のパターンでの２値化画像の差分を算出して、差分画像を生成する差分処理部１５と、差分画像に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部１６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）

【課題】反射光学系を併用した場合に撮像光学系のみを用いた場合と同じ像を得ることが可能なビデオマイクロスコープを提供する。
【解決手段】複数のレンズ２１Ａ〜２１Ｅよりなる撮像光学系２０の光軸ＯＡを、載置面の上方斜めから載置面上の被写体に向ける。撮像光学系２０の下端には、第１ミラー３１および第２ミラー３２よりなる反射光学系３０を、反射光学系支持機構４０により支持させると共に、撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転可能とする。撮像光学系２０の上端には、ＣＣＤなどの撮像素子５０を配置する。第１ミラー３１の回転方向位置に応じて撮像素子５０を撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転させることにより、反射光学系３０の回転によって生じた被写体２の像の傾きを低減ないし解消させる。 （もっと読む）

【課題】被検査対象であるパターンドメディアからなる磁気記録媒体の微細なパターンの形状欠陥を高速で検査できるようにする。
【解決手段】パターンドメディアの欠陥検査方法において、検出された分光波形データをデータベースに記憶しておいたパターン形状が既知の標準試料の分光反射率波形データと比較して、欠陥を検出し、この検出した欠陥の分光波形データと標準試料の分光反射率波形データとの検出波長ごとの差異に基づいて欠陥の種類を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。
【解決手段】
欠陥検査装置を、本来同一の形状となるべきパターンが繰り返して形成された試料上の異なる領域に異なる光学条件で同時に照明光を照射する照射手段と、照明光を照射した領域からの反射光を異なる領域ごとに検出する検出手段と、検出した反射光の検出信号を処理して異なる領域ごとに異なる光学条件の元での欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、異なる光学条件の元で抽出した欠陥候補を統合して欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、抽出した欠陥の特徴量を求めて該求めた特徴量に基づいて前記欠陥を分類する欠陥分類手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】方向性電磁鋼板について、地鉄と酸化物被膜の密着強度の大きさを、非接触かつ非破壊で、簡易的に、しかも短時間で連続的にオンライン評価する方法を提供する。
【解決手段】地鉄表面に酸化物被膜と、該酸化物被膜の表面に絶縁被膜を有する方向性電磁鋼板の酸化物被膜密着強度を評価する方法であって、前記方向性電磁鋼板の幅方向に亘る領域を照明する工程と、前記方向性電磁鋼板の照明された領域を含む範囲を撮像して撮像画像を得る工程と、前記撮像画像中、画像処理により前記方向性電磁鋼板の照明された領域の輝度値Ｌ_ｍを得る工程と、方向性電磁鋼板の輝度値Ｌと曲げ剥離径Ｄとの関係式に基づき、前記輝度値Ｌ_ｍから曲げ剥離径算出値Ｄ_ｍを算出する工程とを有する方法で、方向性電磁鋼板の酸化物被膜密着強度を評価する。 （もっと読む）

【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。
【解決手段】外観検査装置１０は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体１２を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体１２を検査する。外観検査装置１０は、被検査体１２にパターンを投射する投射ユニット２６と、パターンが投射された被検査体１２のパターン画像に基づいて被検査体１２の表面の高さ情報を生成する高さ測定部３２と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥を低減する一方で、転写後に欠陥を生じさせるおそれのあるパターンを予め拾い出して検査する検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたマスクの光学画像データを得る。設計パターンデータから光学画像に対応する参照画像データを作成する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、パターンの重要度情報に基づいた多値の解像度で示される画素値を有する領域画像データを作成する。領域画像データの各画素の画素値によって定まる複数の閾値または複数の欠陥判定処理方法の１つを用いて、領域画像データが示す領域内の光学画像データと参照画像データとを比較して画素毎に欠陥判定する。設計パターンデータに定義される少なくとも一部のパターンを包含する領域データから、ＭＥＥＦが所定値以上の箇所の画像データを作成する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥検査をより少ないスペースで行うことを可能とする検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、回転自在なチャック１３を備え、チャック１３の上方に、載置されたウエハＷの回転中心から外縁部に延在する直線領域と平行に配置された照明装置２１を設置し、この照明装置２１の真下にウエハＷの反射光を反射させるハーフミラー２２が固定され、さらにハーフミラー２２の対向側にハーフミラー２２からの反射光を取り込む撮像装置２０が設置され、ウエハＷの回転と共にウエハ表面を撮像する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンやエッチング後及び再エッチング後のパターンに関わらず、基準データを用いてＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による線幅の検査を行うための基準データの生成方法を提供する。
【解決手段】ＡＰＭ−ＰＥＲ検査法による表面検査装置１００で用いられる基準データの生成方法であって、第１のエッチング工程（第１の工程）により異なる線幅の繰り返しパターンの組が形成された基準用ウエハ１０を複数作成し、さらに、この基準用ウエハ１０に対して異なる条件で第２のエッチング工程（第２の工程）を行い、それぞれの状態の基準用ウエハ１０から較正曲線を求め、これらの較正曲線が同一の曲線上にほぼ一致するエリアを検査対象座標として求める。 （もっと読む）

【課題】光量の分布が均一化された照明光を確実に照射する。
【解決手段】コレクタレンズ１４は、光源１３からの照明光が平行な光束となるように屈折する。フライアイレンズ１８は、平行な光束とされた照明光の光軸に略直交する平面に沿って配列される複数のレンズ素子２３により、複数の光源像を形成する。コンデンサレンズ２０は、複数の光源像からの光束を平行光束にし、複数の光源像からの光束を、被検物の被照射面に重畳させる。そして、制御部３２は、被検物に向かう光学系から分離された測定光学系における測定結果に応じて、駆動部３３を制御して、コンデンサレンズ２０を構成するアフォーカル光学系２０ｂを移動させる。本発明は、例えば、撮像素子を検査する検査装置の照明装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複数の検査を行うことができ、各検査結果を複合的に分析することのできるレンズ検査装置及びレンズ検査方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため、観察光軸Ｌ_０としての被検レンズ１０の光軸上に第一拡大光学系３０を配置し、参照光軸Ｌ_１上に配置される参照ミラー５１及び第二拡大光学系５２を有する干渉縞観察照明光学系５０と、被検レンズ１０に対して平行光及び偏光光を照射する透過光観察照明光学系６０及び偏光光観察照明光学系７０と、第一拡大光学系３０を介して、被検レンズ１０の干渉縞画像、透過光画像及び偏光光画像を観察可能な観察光学系４０とを備えるレンズ検査装置１００を提供する。また、当該レンズ検査装置１００を使用するレンズ検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズユニットを提供する。
【解決手段】非晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズＧ１〜Ｇ１３からなる対物レンズ５１と、対物レンズ５１を保持する鏡筒部材とを備え、鏡筒部材の材料の線膨張係数をα１とし、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３のうち非晶質の材料を用いたレンズの材料の線膨張係数をα２とし、非晶質の材料を用いたレンズの外径をＤとし、非晶質の材料を用いたレンズの材料の光弾性定数をβとし、非晶質の材料を用いたレンズ内の開口数が最大となる光路長をＬとしたとき、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３における全ての非晶質の材料を用いたレンズが条件式｜（α１−α２）×Ｄ×β×Ｌ｜＜１２０００を満足している。 （もっと読む）

【課題】非平板物体の凹部あるいは中空部の表面粗さ、特に凹部底面あるいは中空部底面の表面粗さを、非接触で、定量的に、精度良く、且つ簡便に測定する。
【解決手段】パターン形成装置１１によりパターンを照射し、ハーフミラー１３で反射させて、測定対象物２である非平板物体の凹部底面あるいは中空部底面に垂直に投射し、反射したパターンを、ハーフミラー１３を透過させて撮影部３（デジタルカメラ等）で撮影する。そして、得られた映像信号をコンピューター３でデータ処理することにより、測定対象面２１の表面性状を測定・評価する。 （もっと読む）

【課題】印刷物を高精度に検査することが可能な印刷物検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】印刷物の検査方法であって、印刷物表面または／および印刷物裏面に、照明を照射する照明段階と、印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、印刷物表面を撮像する撮像段階と、撮像段階にて得られた印刷物の表面の画像データを用いて、印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、を有し、画像処理・欠陥判定段階は、画像データ全体を細分化し、細分化した画像（セルと呼ぶ）ごとに独立して位置補正処理をする細分化位置補正段階と、細分化位置補正段階で位置補正処理された各セルの情報をもとに、基準画像と検査画像の位置ずれを補正する位置補正段階と、を有することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置にて検出された欠陥がカラーフィルタの表面か裏面かを作業者によらず、分別する表裏欠陥の分別方法、表裏欠陥の分別装置を提供する。
【解決手段】・カラーフィルタ表面の角度θbの上方の反射系光源と検査カメラの反射光学系、及び角度θaの上方の透過系検査カメラの透過光学系を用い、ａ）検査座標を欠陥の位置座標と同一に検出し、得た欠陥（Ｒ）（基準検出系欠陥）の検査データと、ｂ）反射光学系を位置座標（ｘ−ｄｔａｎθb、ｙ）とし、透過光学系の位置座標（ｘ−ｄｔａｎθa、ｙ）とし検出し、得た欠陥（Ｂ）（比較検出系欠陥）の検査データを、検査結果データＡとし保存する工程、・合成処理のパラメータを予め選択設定する工程、・合成処理工程、・膜面欠陥を検査結果データＡに加え検査結果データＢとする工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】球面の全部又は一部を表面に有する検査対象物の表面を広範囲に且つ高精度に検査することのできる表面検査装置及び表面検査システムを提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置１は、平行光を発する光源部１１と、光源部１１が発した平行光を検査対象球２に向けて集光すると共に、集光された光が検査対象球２の球面部分で反射した反射光を受ける集光レンズ１２と、検査対象球２を撮像する撮像素子１５と、集光レンズ１２を通過した反射光を受けて、検査対象球２の球面部分の像を撮像素子１５上に結像する結像レンズ１４と、を具備する。 （もっと読む）