【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 （もっと読む）

【目的】粗密パターン各々に対して、高い信号強度を得ることが可能なパターン検査装置提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、パターン形成されたフォトマスク１０１を照明する照明光学系１７０と、照明によってフォトマスク１０１から得られる第１の光学画像を複数の第２の光学画像に光学的に分離するビームスプリッタ１３１と、分離された複数の第２の光学画像を用いて、少なくとも一部の信号強度が異なる複数の光学画像データを生成する複数のセンサ回路１０６，１３６と、複数の光学画像データの１つと比較するための基準画像データを生成する参照回路１１２と、画素毎に、数の光学画像データの１つと基準画像データとを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高感度で欠陥検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかると、対物レンズ１３と、対物レンズ１３の視野の一部である検査領域５２を照明する反射照明光学系６１と、検査領域５２と検査領域５１とを照明する透過照明光学系６２と、透過照明光学系６２に設けられ、検査領域５２に入射する透過照明光の光強度を検査領域５１に入射する透過照明光の光強度よりも低くする部分透過板４と、検査領域５２において、透過照明光学系６２からの透過照明光のうち試料を透過した透過光と反射照明光学系６１からの反射照明光のうち試料で反射した反射光とを検出するＴＤＩカメラ１６ｂと、検査領域５１において、透過照明光学系からの光のうち試料を透過した透過光を検出するＴＤＩカメラ１６ａと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】欠陥内の輝度変化が大きく二値化によって分断される可能性が高い場合でも、同一の欠陥とみなせる欠陥候補領域を連結することにより欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像を二値化した二値画像を用いて欠陥候補抽出手段１２により欠陥候補領域が抽出される。さらに、ピース３２ごとに設定されるしきい値を用いて二値化した二値画像を用いて欠陥候補再抽出手段１５により欠陥候補領域が再抽出される。欠陥判定手段１６は、再抽出された欠陥候補領域について欠陥を判定する。欠陥判定手段１６により欠陥と判定されなかった欠陥候補領域は、連結評価手段１７により連結可能か否かが評価され、連結可能である欠陥候補領域は連結され、再判定手段１９により欠陥か否かが再判定される。 （もっと読む）

【課題】複数の電極ピンを有する部品を対象にした検査領域の設定データの作成処理を高速化する。
【解決手段】処理対象の部品２０１を含む領域内の基準画像を表示して、部品本体に対応する領域３０を指定する操作を受け付けた後に、指定枠３２を用いた指定を受け付ける。ユーザは、一番端の電極ピンから３本目までの電極ピンが含まれるように指定枠３２の幅を調整し、指定枠３２の外側の辺をランドの先端位置に合わせる。指定が完了すると、指定枠３２に対応する範囲の基準画像から電極ピンおよびランドが抽出されて、これらの配置に関する規則が特定される。さらに、特定された規則や領域３０に基づいて、個々の電極ピンに対応する検査領域Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１や、撮像対象領域の割り付けの基準となる検査領域Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４などが設定される。 （もっと読む）

【課題】対象物を撮像し、その画像に基づいて行う局所的な位置補正の精度を高める。
【解決手段】検査装置は、複数の検査対象要素を有する被検査体を撮像して検査する。この検査装置は、被検査体画像において検査対象要素を相互に接続するパターンから特徴点を生成し、特徴点の基準位置からの変位に基づいて被検査体画像の位置ずれを補正する位置補正部と、位置が補正された被検査体画像を検査する検査部と、を備える。位置補正部は、パターンを表す折れ線上に特徴点を生成してもよい。位置補正部は、パターンを表す折れ線に含まれる線分の延長線上に特徴点を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】キズの検出能力を低下させることなく、黒点や凹みなどの欠陥を同時に検出することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】スポット光源を直線状に配列し、走行するシート状の被検査物に対して互いに異なる光出射角度を有する２列の第１のライン状照明装置と、被検査物に対して第１のライン状照明装置よりも離れた位置に設置し、２列の中心部に設置した第２のライン状照明装置と、第１及び第２のライン状照明装置により照明された被検査物の画像データを得る撮像装置と、画像データを画像処理することにより、被検査物の欠陥部を検出する画像処理装置とを備えた。 （もっと読む）

【課題】複数の電極ピンを有する部品を対象にした検査領域の設定データの作成処理を高速化する。
【解決手段】処理対象の部品２０１を含む領域内の基準画像を表示して、部品本体に対応する領域３０を指定する操作を受け付ける。ユーザはこの指定操作を行った後に、部品本体の一辺に配置された電極ピンのうちの一番端およびその隣の２つに対応する領域、ならびにこれらの電極ピンが接続されているランドに対応する領域を、指定枠３３，３４により指定する。これらの指定に応じて、指定された領域間の関係に基づき、部品２０１における電極ピンや配置に関する規則が特定され、さらに、特定された規則や領域３０に基づいて、各電極ピンに対する検査のための検査領域が設定される。 （もっと読む）

【課題】良否判定の精度を低下させることなく、層間の位置ずれによって生じる無駄はねを防止することができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供する。
【解決手段】位置補正手段は、検査画像における第１層１０１の代表点Ｐａ１の位置座標から良品画像に対する第１層１０１の位置ずれ量を求め、第２層１０２の代表点Ｐｂ１の位置座標から良品画像に対する第２層１０２の位置ずれ量を求める。位置補正手段は、求めた第１層１０１と第２層１０２との各位置ずれ量に基づいて、検査画像における検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置を、それぞれ基準となる良品画像の検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置から平行移動させるように補正する。領域設定手段は、位置補正手段による補正後の検査対象領域１１１から同じく補正後のマスク領域１１２を除いた領域を、検査領域１１０として検査画像上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の表面に段差があっても、光学系の調整なしで、より正確に表面欠陥を検出することができる。
【解決手段】 光源からの光を被検体の表面に照明する照明部と、被検体表面からの反射光を捕捉する光学系と、光学系により捕捉された反射光の一部を通過させるアパーチャと、アパーチャを通過した反射光の強度を検出する検出部を具備し、光学系が、被検体の表面の位置から光学系の焦点距離となる位置に、且つ光学系の光軸に垂直な面が照明部の照明光の光軸と平行となる角度で配置し、アパーチャを、光学系に対し被検体の表面位置とは反対の側で、光学系の焦点距離の位置で、且つ反射光が通過する位置に配置した。 （もっと読む）

【課題】
スキャトロメトリを用いることにより、基板上に形成された線幅数１００ｎｍ以下のパターンの断面形状を、例えばディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定することも可能となる。しかし、ディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定したパターンの幅や高さ等を全て表示することは困難であり、また全て表示することが必ずしも有効であるとはいえない。
【解決手段】
本発明では、パターンの幅や高さ、特にデバイスの性能に直接影響を及ぼすパターン断面の磁性体部分の断面積(単位長さあたりの体積)等の分布を独立に、又は組み合わせて表示する。また、結果の特徴を強調して表示する。さらに、リードライトテスト結果との相関を予め評価しておくことにより、パターン断面形状の検査・測定時に最終的な不良箇所の特定を可能とし、不良の発生を事前に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プリンタ基板からの反射光を取り込んだ画像データを用いて正確な良否判定を行うことができ、良否判定の基準となる基準データの作成を短時間で行うことができるはんだ付け外観検査装置およびはんだ付け外観検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 投影データ作成部１２は、パット４と接続端子２１とのはんだ付け部の画像データをパット４の幅方向に投影処理した検査対象投影データを作成し、演算部１４は、検査対象投影データと基準投影データ記憶部１３に記憶されている基準投影データとを比較し、判定部１５は、検査対象投影データと基準投影データとの比較結果に基づいてはんだ付け状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを有する製品のパターン計測を含めた検査のために照明光によるパターン画像を撮像する方式の検査装置において、簡便に検査領域外からの光の外乱影響を除去する検査装置を提供すること。
【解決手段】平面基板２ａを載置するステージ１と、このステージに載置された平面基板の被検査物２ｂを照明する光源７と、被検査物を撮像する撮像装置８とを備えるパターン検査装置であって、平面基板に略平行に近接して設けられた液晶シャッター４を備え、この液晶シャッターが、被検査物の検査対象領域３に応じて、遮光領域５と透光領域６とを可変分割形成できるものである。 （もっと読む）

【課題】電縫管製造ラインにおいて電縫溶接部への粉塵やスパッタ粒などの稀な飛び込み、あるいは帯材端部に付いた微小な疵など、により発生する数ｍｍ以下程度の微小な溶接欠陥をも容易に検出できて、格段に高い品質の電縫管を提供する。
【解決手段】電縫管製造ラインの操業中に、溶接点から下流側に２０〜５００ｍｍ離間した位置に監視領域１１として予め定めた、溶接線１ｗにほぼ直交する線状領域を撮影し、該撮影した領域の輝度分布を画像信号として捉える輝度センサ１０を有する電縫溶接部の監視システムである。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット１００には検査対象物１０が載置される。第１照明ユニット４００は、短波長を有する第１光を生成して検査対象物１０に向けて照射する。撮像ユニット２００は、第１光が照射される検査対象物１０を撮像する。これと共に、光学検査装置１０００は、短波長の光を照射して検査対象物１０を撮像するので、検査対象物１０に形成された透明パターンの不良検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント成型積層体の欠陥検査や膜厚測定を簡便かつ迅速に、非破壊で行うことが可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の検査方法は、鋳型モールドを用いるナノインプリント法により成型されたレジスト材料からなる膜層を有する基板に対して、レジスト材料を発光させる励起波長の光を照射し、基板上の成型されたレジスト材料からなる膜層からの発光を発光パターン画像として取得する工程(1)と、該発光パターン画像を、成型に用いた鋳型モールドのパターン画像又は同一鋳型モールドで繰り返し成型した該発光パターン画像と異なる発光パターン画像と比較し、画像の相違点を欠陥として検出する欠陥検出工程(2)及び／又は、該発光パターン画像を発光強度により解析し、発光強度の値から膜厚を測定する膜厚測定工程(3)とを含み、半導体、配線基板、電子デバイス、光学デバイス等の製造における品質管理に有用である。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの内部欠陥及び表裏面の欠陥検査を簡素化することにある。
【解決手段】光源と撮像器と光学系を備える２組の光源・撮像ユニット４、５をウェーハ１を挟んで対向して配置し、光源・撮像ユニット４、５の少なくとも一方からウェーハ１に赤外光を照射してウェーハ１からの透過光を受光してウェーハ１の透過画像を撮像する第１撮像工程と、光源・撮像ユニット４、５からウェーハ１に赤外光又は可視光を照射してウェーハ１からの反射光を受光してウェーハ両面の反射画像をそれぞれ撮像する第２撮像工程と、透過画像と両面の反射画像に基づいてウェーハ１の欠陥を抽出する抽出工程を有し、ウェーハの内部欠陥と表裏面の欠陥を同一時に検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】対象の検査方法およびシステムは、対象表面上の望まれないパーティクルを検出するための分光技術の使用を含む。この技術は、望まれないパーティクルと検査対象とが異なる材料により形成されることによる、検査対象と比較したときの望まれないパーティクルの異なる応答に基づく。対象の表面からの二次光子放出の時間分解分光法および／またはエネルギ分解分光法を使用することにより、ラマンおよび光ルミネッセンススペクトルを得ることができる。検査対象は例えばリソグラフィプロセスで使用されるパターニングデバイス、例えばレチクルであってもよい。その場合、例えば金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在が検出されうる。この方法および装置は高感度であり、例えばＥＵＶレチクルのパターン形成された側の小さなパーティクル（１００ｎｍ弱、特に５０ｎｍ弱）を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルム透明体（試料）の微小な凹凸欠陥を見やすく可視化し、容易にかつ正確に短時間で検査を行う。
【解決手段】照明部１２により試料３０のほぼ全面に平行光を照射する。試料３０を透過した平行光をアフォーカルレンズ１４により収束させる。アフォーカルレンズ１４と撮像用の小型テレセントリックレンズ１５及びＣＣＤカメラ１６とを、光軸１９上で空間的に２分割して配置する。小型テレセントリックレンズ１５及びＣＣＤカメラ１６を光軸１９上で移動して、試料３０の被検査面３０ａをフォーカスおよびデフォーカスして撮像する。デフォーカス撮影時の表示画面に微小欠陥が顕在化して表示されるため、熟練を要することなく、簡単・容易に短時間で微小欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプにおける蛍光塗膜の検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる蛍光ランプ検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置は、蛍光ランプに対して光を照射する照明装置と、当該照明装置からの直接光及び蛍光ランプを透過した透過光を受光し、輝度値を含む画像データとして出力するＣＣＤカメラと、得られた画像データに基づき、蛍光塗膜の良否を判定する演算装置とを備えている。演算装置は、露光時間ｔ₁で撮像した第１画像データから検査領域の輝度値Ｙ_1wを取得し、露光時間ｔ₁よりも短い露光時間ｔ₂で撮像した第２画像データから背景領域の輝度値Ｙ_2bを取得し、当該両輝度値Ｙ_1w，Ｙ_2bを基に、第２画像データに係る検査領域における光の透過率α／βを算出し、当該透過率α／βに基づき、蛍光塗膜の膜厚の良否を判定する。 （もっと読む）