【課題】走査型顕微鏡方式を用いたパターン形状の欠陥検出装置において、簡素な構成で、高速、且つパターン形状依存性及び方向依存性が少ない、高精細・高精度なパターン形状の欠陥検出方法及び検出装置を提供する。
【解決手段】走査顕微鏡方式のフォトマスクの位相欠陥検出装置において、集光スポット９によって照明されたフォトマスク７からの反射光を受光して光の振幅に比例する光強度を出力する光電変換器１２と、前記反射光を非点収差法により受光して光の位相変化量を光強度として出力する非点収差光学系１００を設け、これらの光強度を画像処理部１３で画像化し、更に差分をとることにより位相欠陥検査画像を作成する。これにより、フォトマスク７上の遮光パターンの形状欠陥と位相欠陥の両方を同時に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】中間転写ベルトなどの表面状態を検知してその交換やメンテナンスの必要性を正確に判断し、無用の交換やメンテナンスを行うことのないようにする。
【解決手段】画像形成装置における像担持体の表面状態の検知方法であって、偏光した光を像担持体２３の表面に照射し、その反射光を、第１の方向の偏光軸を持つ第１の偏光板１０５を介して第１の光電センサ１０２で受光し、かつ第１の方向とは異なる第２の方向の偏光軸を持つ第２の偏光板１０６を介して第２の光電センサ１０３で受光し、第１の光電センサの出力信号Ｓ１および第２の光電センサの出力信号Ｓ２の両方に基づいて演算を行い、その演算結果に基づいて像担持体２３の表面状態を検知する。 （もっと読む）

【課題】 物体表面の粗面として、入射光の波長より十分に大きい数十ミクロン程度の粗さを持ち、一定以上の面積を持つ粗面について、ミリメートル前後の局所的な不均一性を、高精度に、迅速に検出することができる表面状態検査装置及び表面状態検査方法を得ること。
【解決手段】 被検査対象の表面を照射するためのレーザー光源、及び該表面からの光回折像の一部を集光する光学系を有し、該表面の粗さの均一度を、該表面からの光回折像強度分布の変化から測定する検査装置において、入射光は所定の入射角度でＳ偏光で入射され、該法線から入射面内における所定の角度θ_Ｓの方向近傍への回折光を、開口数ＮＡの該光学系で集光し、光学系の近軸像面付近に設置された光束制限手段を介して、光強度検出器で光量変化を測定するときの角度θ_Ｓを適切に設定したこと。 （もっと読む）

【目的】 １往復するのみで性能検査をすることが可能なバックライトパネルの検査装置を提供する。
【構成】 検査領域に配設された、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記被検査体が着脱可能に載置される載置台と、前記載置台を水平方向に移動させるための載置台移動手段と、前記移動手段を操作するための操作部と、前記載置台真上面から撮影するカメラと、前記載置台を斜め上面の左右から撮影する２台のカメラと、前記カメラからの映像に基づいて不良検出する検出部と、前記検出部の検出結果を表示する表示手段とで構成し前記カメラによって被検査体を１往復移動するのみで被検査体の検査が終了するように構成した。 （もっと読む）

【課題】予め未印刷基板で測定された各部の高さと、実際にはんだが印刷された基板を測定して得られた各部の高さとから、パッド部分の面からのはんだ高さを測定する技術を提供する。
【解決手段】プリント板にはんだを印刷する前の段階で測定手段が該プリント板を走査して測定した高さを基に、はんだ箇所であるパッド部の高さとその周辺のレジスト部の高さとの差を求めるオフセット算出手段３ａと、はんだが印刷された前記プリント板もしくは前記プリント基板と同一形状のプリント板を測定手段が測定して求めた前記はんだ箇所におけるはんだ高さ、その周辺のレジスト部の高さ、及び前記オフセット算出手段が求めた該差を基に、前記パッドからのはんだの高さを算出するはんだ高さ算出手段３ｃとを備えた。 （もっと読む）

【課題】光学補償フイルム等の光学軸ズレに起因した僅かな光漏れ欠陥を検出する。
【解決手段】 検査対象フイルム７を挟んで一対の第１，第２偏光板１８，１９が配される。各偏光板１８，１９は、クロスニコル配置とされる。光源部１５は、第１偏光板１８を介して検査対象フイルム７に光を照射し、受光器１６は、検査対象フイルム７，第２偏光板１９を透過した光を受光する。受光器１６は、フイルム面に垂直な法線となすあおり角をθ１とし、検査対象フイルム７の遅相軸と直交するフイルム面上の基準線となす回転角をθ２としたときに、「１５°≦θ１≦３５°」、「２０°≦θ２≦６０°」の条件を満たす位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】検査精度を悪化させずに、検査ロッドを長くでき、かつ高速に回転させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物１００の穴１００ａに挿入可能な検査ロッド２１と、検査ロッド２１に設けられた反射鏡２１９と、検査ロッド２１を支持する支持テーブル２２と、を備える。検査ロッド２１は、支持テーブル２２に取り付けられた基部２１１と、反射鏡２１９を保持しつつ軸線ＣＬ回りに回転可能な状態で基部２１１に取り付けられた回転ヘッド２１２とを有し、回転ヘッド２１２に設けられたインペラー２２１に空気を吹き付けることにより回転ヘッド２１２を回転させる。 （もっと読む）

【課題】被検査物を検査するための構成を利用して動作状態を自ら判別することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】軸状に延びる検査ヘッド１６の外周から被検査物１００に向かって検査光を照射するとともに、被検査物１００からの反射光を検査ヘッド１６を介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出ユニット５と、検査ヘッド１６を軸線方向に移動させる直線駆動機構３０と、検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させる回転駆動機構３０とを備えた表面検査装置１において、検査ヘッド１６が通過可能な貫通孔３７ａを有するサンプルピース３７を検査ヘッド１６の軸線方向の移動経路上に配置する。検査ヘッド１６を軸線の回りに回転させつつ軸線方向に移動させてサンプルピース３７の内周面を検査光で走査したときの検出ユニット５の出力信号に基づいて動作状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの清掃及び交換を安価で且つ容易に行うことのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】先端にミラー１８が設けられた軸状の検査ヘッド１６を駆動機構により軸線ＡＸの回りに回転させつつ軸線ＡＸに沿って移動させるとともに、検査ヘッド１６内に前記軸線ＡＸに沿って入射した検査光の光路をミラー１８により変更し、光路が変更された検査光を被検査物に照射し、被検査物で反射して検査ヘッド内１６に再度入射した検査光の光量に基づいて検査物の表面状態を検出する表面検査装置１において、検査ヘッド１６が、駆動機構に取り付けられるヘッド本体７０と、そのヘッド本体７０に対して着脱可能に設けられ且つミラー１８を保持する保持部７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの回転軸線と被検査物である円筒体の中心線とを厳密に一致させなくても、周期的な濃淡のない二次元画像を得ることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物たる円筒体１００の内部に挿入されて、軸線ＡＸ回りに回転しかつ軸線ＡＸ方向に移動しながら、ＬＤ１１から射出された検査光を内周面１００ａに投光しつつその反射光を受光する検査ヘッド１６と、検査ヘッド１６が受光した反射光の強度に応じた信号を出力するＰＤ１２と、を有し、ＰＤ１２が出力した信号に基づいて内周面１００ａに対応した二次元画像を生成する。ＰＤ１２が出力した信号から、軸線ＡＸと円筒体１００の中心線とのずれに起因した反射光の強度の揺らぎに対応する周波数成分を抽出し、その周波数成分と所定の基準値との差分に応じて検査光の強度が変化するようにＬＤ１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドの回転速度が変動した場合でも検査を実行することができ、検査精度を悪化せずに検査時間を短縮できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置１は、被検査物１００の穴１００ａに挿入可能で、かつ長手方向に延びる軸線ＡＸ回りに回転可能な検査ヘッド１６と、検査ヘッド１６が被検査物１００に対して軸線ＡＸ方向に相対移動するように検査ヘッド１６を直線移動させる直線駆動機構３０と、検査ヘッド１６の回転位置を検出するロータリーエンコーダ４３と、を備え、検査ヘッド１６の一回転あたりの軸線ＡＸ方向に関する移動量が回転速度に拘わらず一定となるように、ロータリーエンコーダ４３の出力信号に基づいて直線駆動機構３０の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の種類等に応じて様々な感度特性を作り出すことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、レーザダイオード１１から投光ファイバ１３を介して被検査物１００の内周面１００ａに検査光を照射し、その検査光の反射光の強度を検出する検出ユニット５を有する。検出ユニットは、投光ファイバ１３の周囲に配置された第１受光ファイバ群１４Ａと、それよりも外側に配置された第２受光ファイバ群１４Ｂと、これらのファイバ群のそれぞれに接続されたフォトディテクタ１２Ａ、１２Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】上方を覆うカバーの貫通孔から検査装置側への開閉動作に伴う異物の落下を簡便な構成で防止できるシャッター装置を提供する。
【解決手段】シャッター装置２０は、貫通孔３１ｂが形成されたカバー３１ａにて上方が覆われ、貫通孔３１ｂを通過可能な検査ヘッド１６の少なくとも一部を貫通孔３１ｂからカバー３１ａの上方に出没させて所定の検査を行う検査装置１に適用される。貫通孔３１ｂを開く開位置と貫通孔３１ｂを閉じる閉位置との間で移動するシャッター板２１を備えるとともに、そのシャッター板２１の上面には下方に窪む円形凹部２１ａが形成され、かつ円形凹部２１ａの底面に粘着シート２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】現合作業を行うことなく、検査ヘッドの軸線を被検査物に表面に対する所定の方向に正確に一致させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク台２に取り付けられるベース３と、ベース３に対して軸線に沿って移動する検査ヘッドとを有し、検査ヘッドを軸線ＡＸに沿って移動させつつ回転させ、被検査物１００の表面に検査光を照射し、その反射光を受光して被検査物１００の表面状態を検査する表面検査装置１において、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿ってベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第１のピン穴６２と、検査ヘッドの軸線ＡＸに沿って第１のピン穴６２から距離をおいてベース３に設けられ、保持装置２に対して軸線ＡＸを位置決めする第２のピン穴６３と、第２のピン穴６３の位置を軸線ＡＸと交差する方向に移動可能な位置決め手段として開口部、挿入部材及びねじを備える。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの方向が事前に分からなくても高感度な欠陥検査を行う。
【解決手段】 被検基板の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する手段と、直線偏光の振動面の表面における方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を複数の異なる角度に設定する手段（Ｓ１,Ｓ７）と、斜めの角度に設定された各状態で、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に交差する偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ２,Ｓ３）と、各状態で測定された光強度のうち最大値に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段（Ｓ５,Ｓ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物体に光を照射して、被検査物体上で反射，散乱等される光を検出して被検査物体上の異物，欠陥等を検査する光学式検査装置においては、被検査物体の全表面を検査するため、照射する光、または被検査物体を移動させて走査する機構が備えられている。このような光学式検査装置においては、検査スループットを重要視すると、被検査物体の外周部において内周部よりも検出感度が低下してしまうという課題があった。
【解決手段】ステージ線速度を低下させたくない被検査物体外周部においても、被検査物体表面の温度上昇を一定に保ちながら、内周部よりも照明スポットの照度を上げることで、散乱光信号の有効全信号量の低下を補償する。 （もっと読む）

【課題】青果物内部の局所的な内部品質を計測する場合などにおいて、青果物への測定光照射範囲と受光視野が制限されることなく高精度な計測が可能であり、さらに安定した搬送が可能な青果物搬送用トレーおよびそれを用いた内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】略平板状の受座部材１１に青果物５１を載置しその上方に配置された略平板状の青果物保持用部材２１の開口部内に収まる青果物の側面部を可撓性部材２３によって保持する。透過光測定時には、受座部材と青果物保持用部材との間の空間を介して青果物側面部への光照射または透過光の受光を行う。あるいは、受座部材と青果物保持用部材とを、弾性を有する伸縮部材によって連結し、透過光測定時には、青果物保持用部材を受座部材に対して押し下げて、これにより青果物保持用部材の上側に露出した部分に対して測定光の照射および透過光の受光を行う。 （もっと読む）

【課題】透過像と反射像とに基づいて正確に異物検査を行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる検査装置は、落射照明光源２１と、落射照明光源２１からの光を集光してフォトマスク３３に出射するレンズ３２と、落射照明光源２１からの光を遮る視野絞り２４と、フォトマスク３３からの反射光をレンズ３２を介して検出する反射側センサ４４と、落射照明光源２１と同一の光軸を有する透過照明光源１１と、透過照明光源１１からの光を集光してフォトマスク３３に出射するレンズ１６と、透過照明光源１１からの光を遮る視野絞り１３と、フォトマスク３３からの透過光をレンズ３２を介して検出する透過側センサ４３とを備え、落射照明光源２１からの光と透過照明光源１１からの光とがレンズ３２の視野の一部の異なる位置を通過するものである。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に光を照射し、その散乱光に基づいて基板の表面上の位置とその位置に付着しているパーティクルのサイズとを対応付けた測定マップを得るパーティクル測定装置を用いてパーティクルを測定する方法において、パーティクルのサイズが小さくなっても精度の高い測定を行うことができる方法を提供すること。
【解決手段】先ず、同一基板に対して測定マップを繰り返し求めて、各回にて得られた測定マップを記憶部に記憶する。次に前記記憶部に記憶された各回の測定マップを重ね合わせて得られた測定マップを記憶部に記憶する。しかる後、重ね合わせにより得られた測定マップに基づいてパーティクルに関する情報を表示する。このような方法を実施することでパーティクルのサイズが小さい場合でも測定のばらつきが抑えられ、このためパーティクル汚染について精度の高い評価を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、軸受内部などへの配置の自由度が高く、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、先端が潤滑剤６の配置空間１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバは、それぞれ先端を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射して、この反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）