【課題】 従来の方法に比べてより簡便に、かつ高精度で無機硬質膜中に存在するピンホールの有無や大きさ、分布などを検出することのできる無機硬質膜のピンホール評価方法及びそれに用いるピンホール検出器を提供すること。
【解決手段】 無機硬質膜の一方の表面に、該無機硬質膜の材料に対する透過率が低い波長域の光を検査光として照射し、膜を挟んで検査光源と対向する位置に設置した受光器で無機硬質膜のピンホールを通過した光を計測することによって、前記無機硬質膜のピンホールを評価することを特徴とする無機硬質膜のピンホール評価方法、及びそのためのピンホール検出器。 （もっと読む）

【課題】 測定されたはんだの形状を表す形状値の分布を認識しつつ、操作者が定量的に判断しながら、容易に判定の基準値（許容値）等を設定できる技術の提供する。
【解決手段】 測定手段２により、複数のプリント板に印刷された複数はんだ箇所のはんだ状態を測定し、その測定値を基に、ヒストグラム算出手段５ａによりはんだ状態を量として表す形状値の度数分布を求め、表示制御手段６によって、表示手段７に度数分布を表示させるとともに、可変入力された分布範囲を視認可能に表示させる。そして、ＮＧ率算出手段５ｂが、度数分布に対する、分布範囲外の不良率又は前記分布範囲内の良率を算出する構成とし、所望の分布範囲（許容値）を確定できる構成とした。 （もっと読む）

【課題】試料のエッジを検査することができるシステム及び方法が提供する。
【解決手段】試料のエッジに光を斜め入射角で向けるように構成された照明サブシステムを含む。光の入射面は、試料のエッジにほぼ正接する面に対しほぼ垂直である。また、エッジからの散乱光を集光し、該散乱光に応答して信号を生成するように構成された検出サブシステムを含む。１つの方法は、試料のエッジに光を斜め入射角で向ける段階を含む。入射面は、試料のエッジにほぼ正接する面に対しほぼ垂直である。本方法はまた、エッジからの散乱光を集光する段階と、散乱光に応答して信号を生成する段階とを含む。上述の信号は、試料のエッジ上の欠陥の検出に使用できる。 （もっと読む）

【課題】 光学部品を固定するときに不所望な変形を防止して、所望の位置に検出用の光を入射させることができる光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 保持機構１４によって、光学部品１５の一表面部１５ａを端部１５ｂに沿って均一に押圧されて、光照射手段１１に対する光学部品１５の位置が固定されることによって、保持機構１４によって押圧された端部１５ｂは、不所望に変形することが防止され、光学部品１５を高精度に位置決めすることができ、検出用の光１７を所望の位置に入射させることができる。 （もっと読む）

真珠核の交差２軸での異方性を検出することにより材質に異方性のある真珠核と異方性の無い真珠核とを判別する。異方性の検出は、真珠核の液中での浮力による回転、又は真珠核の磁化率、又は真珠核の光透過率、又は真珠核の光反射率を用いた。従って、球形状の核の交差２軸での異方性を確実且つ迅速に検出し、核の材質を検査することを特徴とする。
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【課題】 ワイヤ１本レベルのゴム剥げであっても精度よく検出することのできる方法とゴム剥げ検出装置を提供する。
【解決手段】 搬送されるインシュレーション部材１の斜め方向から、投光器と受光器とが一体となったレーザセンサ１１Ａ，１１Ｂの投光器により、上記インシュレーション部材１にレーザ光１１ａ，１１ｂを照射するとともに、エアシリンダ１４により上記レーザセンサ１１Ａ，１１Ｂを支持する支持台１２を上記インシュレーション部材１の幅方向に移動させながら、上記インシュレーション部材１からの反射光１１ｃ，１１ｄを上記レーザセンサ１１Ａ，１１Ｂの受光器で検出し、この検出された反射光１１ｃ，１１ｄから上記インシュレーション部材１のゴム剥げを検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】管内壁面の目視できない汚れを検知し得る管内壁面清浄度測定装置及び管内壁面清浄度測定方法。
【解決手段】管内に挿入可能であって、管内壁面に照射する照射光を搬送する照射用光ファイバと、内壁面からの反射光を搬送する受光用光ファイバとから構成される光ケーブルと、光ケーブルの一端部に装着され、外周縁に沿って光ファイバの各一端部が挿入されている複数本の貫通孔１５が形成された柱状部材と、柱状部材の先端面に固着されて管内に挿入されたとき、照射用光ファイバから照射される照射光を管内壁面方向に反射し、内壁面からの反射光を受光用ファイバに反射するように、反射面が柱状部材の先端面から離れる方向に外径が拡大するテーパ状反射面に形成されたコーンミラーと、光ケーブルの他端部には、照射用光ファイバによって搬送される照射光の光源２０と、受光用光ファイバによって搬送された反射光を検出する検出器とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 連続搬送される長尺光学フィルムを連続的に精度よく検査することができるフィルム検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】 光学フィルム検査装置は、光学的入力手段2を移動させる駆動手段10と、フィルム被検査箇所Tの検査用基準位置からの変位量を計測する変位量計測手段4と、変位量計測手段4の出力に応じて光学的入力手段2の駆動量を決定する駆動量決定手段11とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の穴の内側表面の欠陥を、簡単な構成により検査する。
【解決手段】複数の光ファイバー１０の入口は円状に配置され、複数の光ファイバー１０の出口は直線状に配置されている。検査物１の円筒穴の円周方向全体の画像が、複数の光ファイバー１０の入口へ同時に入力され、複数の光ファイバー１０の出口から直線状に展開されて出力される。複数の光ファイバー１０の入口を、円筒穴の深さ方向へ移動しながら、複数の光ファイバー１０の出口から射出される光を検出することにより、円筒穴の内側表面の画像が、二次元画像として取得される。 （もっと読む）

【課題】 シール剤が塗布された部分が紫外線の影響を受けて発光することなく、シール剤の未塗布部分を検出可能なシール剤未塗布部検出装置を提供する。
【解決手段】 シート上の接合領域に紫外線光吸収剤が含まれているシール剤２１が塗布され、当該接合領域に塗布されているシール剤２１の未塗布部分を検出するシール剤未塗布部検出装置６００であって、接合領域に紫外線を照射する紫外線照射部６１１と、接合領域に照射された紫外線の透過光を受光して、当該受光光の強弱を検出する紫外線検出部６０２と、紫外線検出部６０２の受光強度が閾値以上となった場合に接合領域においてシール剤が塗布されていないシール剤未塗布部が存在することを検出する制御部６０５とを備えることを特徴とするシール剤未塗布部検出装置６００。 （もっと読む）

【課題】 透明なガラスびんに無色透明な樹脂のコーティング処理が行われたびんに対して、びんの表面に樹脂コーティング膜が形成されているか否かを確実に検査することができる樹脂コートガラスびんの検査方法および装置を提供すること。
【解決手段】 樹脂コーティング処理工程を終えたガラスびんの表面に蒸気を吹きつけて表面に曇りを発生させ、この曇り度合いを光学的に検出することによりガラスびん表面の樹脂コーティング膜の有無を判別するようにした樹脂コートガラスびんの検査方法。また、樹脂コーティング処理を終えたガラスびん１０の表面に向け蒸気を吹きつける噴射装置１と、該噴射装置１の直後に位置してガラスびん１０の曇り度合いを光学的に検出する検出装置を設けた樹脂コートガラスびんの検査装置。 （もっと読む）

【課題】
特性の異なる複数の検出器素子を使用した複数の測定が必要な場合に行われていた、デュワー全体の交換または光路切り替え手段の追加を含む複数デュワーの同時使用などで生ずる測定の煩雑化、装置の複雑化、装置の大型化を改善し測定効率を向上する。
【解決手段】
１個のデュワー１２Ａに、それぞれ光学特性の異なるＰ検出器素子１３ＰおよびＳ検出器素子１３Ｓの２個の検出器素子を装着するとともに、連動して往復動する機構を備えたアパーチャ９および３次元ステージ６を設け、アパーチャ９および３次元ステージ６を往復動させてＰ検出器素子１３ＰおよびＳ検出器素子１３Ｓのいずれかの検出器素子を選択使用する。 （もっと読む）

【課題】被検物体の反射光の光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で複数の色光に色分解し、複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段で光強度を調整する。調光手段で調光された複数の色光は色合成光学系で色合成された後、被検物に照明される。被検物で反射された光の一部は、反射光検出器で複数の色光毎に光強度が検出され、残りの反射光は、撮像部で被検物の反射像が撮像される。反射光検出器で検出された複数の色光の各色光の強度が、所定の値になるように調光手段は制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】 丸棒状体の詰まりを簡易にして確実に検出し、その詰まりの程度に応じて機械の運転を制御して、その稼動効率を高めることのできるローリング装置を提供する。
【解決手段】 ローリングドラムの周面と平行な光路を形成した光センサ（回帰反射形レーザセンサ）を用いてローリングブロックによる丸棒状体の挟み込み開始位置にて、ローリングドラムの周面に保持されている丸棒状体を検出し、この棒状体の検出時間幅が前記丸棒状体の正規の通過時間幅を越え、且つ前記丸棒状体の搬送周期よりも長く設定された管理時間に満たないときにはローリング不良の発生として当該丸棒状体の排除指令を発すると共に、前記検出時間幅が前記管理時間を越えるときには前記ローリングドラムの回転駆動を停止させるローリング制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】目視検査に頼らず電子的なセンサーで検知することにより、見逃しをなくし自動化した検査工程を可能とする。
【解決手段】レーザー発光素子と受光素子を使い、レーザー光を検査物体（管）に照射し反射光を受光し、制御手段により演算処理し検査物体の傷の有無を速やかに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、レーザビームを発生するためのレーザソースを備えている。レーザビームは、ビームの形状を変更するための円筒状レンズと、ビームをワークピース（通常、磁気ディスクプラッター）に集中させるための球面レンズとを通過する。円筒状レンズは、ａ）プラッターの半径方向に沿ってレーザビームを延長させ（半径方向における有効開口数を減少することにより）、そしてｂ）ビームを半径方向に焦点ずれさせる（が、ビームは、通常、周囲方向に焦点が合わされる）。半径方向におけるビームのサイズは、円筒状レンズの位置に実質的に不感である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面の異常を検出するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】高い処理能力の表面検査システムであり、高い検出感度を持つものについて記述されている。得られたデータは、リアルタイムで５０ＭＨｚ以下のレートで処理されることにより、データ処理のコストを減少させる。異常は隣接する繰り返しパターンを比較することにより検出されて検証され、そして表面の高さはモニタされており、そして、近接する繰り返しパターンとの間の位置ずれ誤差を減少させるために機械的に修正される。近接する情報を用いた局所的なしきい値は異常の存在の検出と検証のために用いられる。照明と収集システムが結合されたものの点分布関数のサンプルされたものが異常の検出および検証のために利用される。 （もっと読む）

【課題】 透光性を有する複数の層が積層される光学素子の欠陥を、高精度に検出することができる光学素子の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 互いに異なる２つの観察角度θ１，θ２で輝点１０の光強度を検出し、検出した各観察角度θ１，θ２における光強度を比較し、欠陥の観察角度と光強度との相関関係に基づいて、欠陥の正当性、つまり疑似欠陥であるか、本欠陥であるかを判断することによって、当該欠陥が本欠陥であるか疑似欠陥であるかを峻別する。 （もっと読む）

【課題】小さな疵でもより正確に検出できる探傷方法および装置を提供する。
【解決手段】丸鋼材１の外周面に垂直に相対するように光ピックアップ９ａ〜９ｄをロータ８に装着し、該光ピックアップから放射されるレーザ光をスポット状に集光させて丸鋼材の外周面に常に垂直に当て、かつ該丸鋼材の表面から常に一定距離が保たれるように該ロータを回転させると共に、該丸鋼材を軸方向に進行させることにより該丸鋼材の外周面を螺旋状に走査し、該光ピックアップにより検出された鋼材表面の反射光の受光信号を解析する。 （もっと読む）

【課題】湾曲した表面も測定できる、光学的表面特性の検査装置を提供する。
【解決手段】光学的表面特性の検査装置であって、ビームを検査対象表面（５）に発射する第１照射装置（２）を備え、表面（５）から反射したビームを検出して少なくとも一つの信号を出力する少なくとも一つの第１検出装置（６）を備え、この信号は、検出されたビームの少なくとも一つのパラメータを特徴づけ、該検出装置（６）は多数の画像センサエレメント（１１）を備え、これらは所与の検出範囲（７）に配置されており、また、制御装置が備わっており、これらは反射したビームが検出範囲に当たる位置の変化により生じた信号の変化を少なくとも部分ごとに補正する。 （もっと読む）