【課題】被検査試料のパターンの欠陥を検出する機能を高めること。
【解決手段】被検査試料のパターンの測定パターンデータを取得する測定パターンデータと、被検査試料の設計データから測定パターンデータに対応した展開パターンデータを生成する展開パターンデータとを比較して被検査試料のパターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバーに入射する光量を一定に維持することができる光量モニタとそれを用いた光源装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 光量モニタであって、光源２から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッド２０と、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバー３０とを有してある。また導光ロッドと光ファイバーは対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された光を光センサ４０が受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。 （もっと読む）

【課題】ウェハの良否を的確に判断するための検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査方法は、加工工程の途中でウェハに対して行う検査方法であって、ウェハの周縁部近傍で異物の材質を分析する分析工程（ステップＳ１０１）と、分析工程における分析の結果に基づいて、異物が分析工程以降の加工工程に影響を与えるか否かを判断する判断工程（ステップＳ１０２）とを有している。 （もっと読む）

【課題】高精度にシート状の糸条の欠陥、特にシート状の糸条上に発生した毛羽や毛玉をオンラインで検査し、また前記シート状の糸条の欠陥の種類や大きさを特定する糸条の欠陥検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】一方向に並行に引きそろえられた単繊維の束からなる糸条１に測定光３を照射し、前記糸条からの反射光４あるいは透過光５を受光し、受光量変化から欠陥を検査する方法において、前記欠陥が単繊維が切れて絡み合い、前記糸条と異なる方向を含む複数の単繊維の集合体であって、前記測定光を前記糸条の幅を超えた範囲に照射し、かつ前記糸条の幅を超えた受光面をもつ受光手段６により、前記単繊維の集合体によって前記測定光が前記受光手段の光軸と異なる方向へ反射されることによる前記反射光あるいは透過光の光強度の減少を検出することで糸条の欠陥を検査することを特徴とする糸条の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】被検体の被検面を検査することに要する時間の増大を招くことなく、被検面における欠陥の位置を正確に検知することができる表面検査方法および表面検査装置を提供する。
【解決手段】所定の光束Ｌの照射により長尺な照射領域を被検体３０の被検面３１に形成しつつ、照射領域がその長尺方向と交差する方向で被検面３１を走査するように光束Ｌおよび被検体３０のうち少なくとも一方を相対的に変位させ、照射領域から出射した散乱光Ｒを検出することにより、被検面３１の検査を行う表面検査方法である。照射領域として、同一の走査線上で対向しつつ走査方向に沿う互いの間隔が走査方向と略直交する走査幅方向で見て漸次的に異なるように設定された第１照射領域Ｔ１と第２照射領域Ｔ２とを用い、第１照射領域Ｔ１からの散乱光Ｒと第２照射領域Ｔ２からの散乱光Ｒとを検出した時間差に基づいて、同一の走査線内における走査幅方向で見た散乱光Ｒの出射位置を検知する。 （もっと読む）

【課題】規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することが可能なねじ良否判定方法及びねじ良否判定装置を提供する。
【解決手段】規定トルクを発生させることができるか否かに直接的に係るねじ長を、該ねじ長に比例するねじ部の山部の健全領域（ＯＫ領域）に置き換え、このねじ部の山部の健全領域をねじ部に照射したレーザ光の反射光強度に基き抽出して画像化し、抽出された健全領域の画像に基き、健全領域の面積とねじ部全体の面積とを比較し、健全領域が規定トルクを発生するのに必要な面積を確保していると判別した場合に、ねじ穴が良（ＯＫ）であると判定する。これにより、規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することができる。 （もっと読む）

【課題】
光源と受光センサのみの簡易な装置で容易に丸棒の外周面の疵等を検出することができる丸棒検査装置及び丸棒検査方法を提供することにある。
【解決手段】
丸棒の軸に略垂直に該外周面に光を照射する光源と、丸棒の軸断面視で、丸棒の軸における光源の入射方向とのなす角度が９０度を超え１８０度未満になるように設けられた受光センサとを備え、光源からの光の外周面での反射光を受光センサで受光し、受光した光のレベルから外周面を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チューブ内を流通する液体の内部状態および液体流通チューブの品質を正確迅速に検知する検知センサの提供、内部状態を表示する装置の提供及び異常状態の場合にアラームを発する液体異常警報装置の提供を目的とするものである。
【解決手段】本発明の液体検知センサは、投光素子と受光素子と信号処理部よりなる液体検知センサであって、前記投光素子は液体流通チューブの外側に配され、前記受光素子は投光素子の発する光を受光するために投光素子に対向した前記液体流通チューブ外側に配され、前記信号処理部が前記受光素子の受光量レベルによって前記液体流通チューブ内を流通する液体、気泡若しくは異物の有無、若しくは液体流通チューブ自体の汚れの有無、又はこれらの組合せの有無を検知し得る。 （もっと読む）

【課題】汚れ検出用のセンサの数を制限しながらも、光学窓に付着した微細物まで検出することができる光学窓汚れ検出装置を提供する。
【解決手段】光学窓１０２が設けられたケーシング１０１に、投光部３と、投光部３から出力された測定光を光学窓１０２を通して測定対象空間に偏向走査する走査機構４と、対象物からの反射光を光学窓１０２を通して検出する受光部５が収容されている走査式測距装置の光学窓汚れ検出装置であって、光学窓１０２の外側に光学窓１０２に沿って複数の反射式光電センサ１を設けるとともに、光学窓１０２を通過した反射式光電センサ１からの検出光を反射式光電センサ１に向けて反射する再帰性反射部材２を走査機構４に取付けている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、取付部４１と、レーザ光源４２ａ，４２ｂと、受光手段としてのフォトダイオード４３ａ，４３ｂとから構成されるセンサ部４０を用いることで、２つの光源がそれぞれ所定角度に配置され、光ビームを被検査面へ照射し、所定の受光面積を有する２つの受光手段で被検査面からの反射光をそれぞれ受光するようになされる。これにより、回転する被検査物体、例えばカムシャフトのような真円ではない回転体の被検査面からの反射光も確実に検出でき、高速かつ高精度で回転する被検査物体の被検査面上の傷や欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】異物が存在する壜をその異物が壜外に突出しているか否かを問わずに精度よく検出でき、併せてサイズが異なる壜も検出できる容器検査装置を提供する。
【解決手段】複数の壜Ｂを１本ずつ検査して不適当な壜を検出する容器検査装置において、所定の基準壜に対して直径が大きい太壜を不適当な壜として検出する第１の検出手段２０、１１、４０と、基準壜に対して高さが異なる背高壜、及び壜口から異物が突出している壜のそれぞれを不適当な壜として検出する第２の検出手段１５、４０と、壜口から内部に異物が埋め込まれている壜を不適当な壜として検出する第３の検出手段１２、１３、４０と、を設ける。 （もっと読む）

本発明は、移動中のスレッドラインの表面凸凹のレベルをモニターするための方法および装置であって、（ａ）スレッドラインに対して０度超および９０度未満の照射角でスレッドラインに付随して置かれた光源によってスレッドラインを照明して分光反射エネルギーおよび拡散反射エネルギーを生成する工程と、（ｂ）スレッドラインからの分光反射エネルギーの量を、照射角に実質的に等しい反射角でスレッドラインに付随して置かれた第１受信器で測定する工程と、（ｃ）スレッドラインからの拡散反射エネルギーの量を、照射角および反射角とは異なる角度で置かれた第２受信器で測定する工程と、（ｄ）拡散反射エネルギーの量対分光反射エネルギーの量の比を測定する工程と、（ｅ）前記比を表面凸凹のレベルと関係づける工程とを含む方法および装置に関する。
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【課題】カーペットなどの測定対象の汚染状態をより適切に表す汚染度を求めることが可能な汚染度測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ３は、被測定面の色である被測定色を検出する。本体装置５は汚染度測定部であり、非汚染状態の前記測定対象に相当する基準面の色である基準色を用いて、被測定色から被測定面の汚染度を求める。本体装置５は、単位汚染度当たりの色差を表す汚染度変換パラメータに基づいて基準色と被測定色の色差に対応する汚染度を求める。汚染度変換パラメータが均等色空間における基準色の位置に応じて変更される。汚染度変換パラメータを変更することにより、カーペット等の色の違いによる測定結果の差を低減し、汚れの色が同じであれば同様の測定結果が得られる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ウエハ等の被検物体の欠陥検査を行う検査装置に関し、最適な装置条件の決定に掛かる時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 被検物体を照明する検査光の発光部と、前記検査光が前記被検物体により回折した回折光に基づく物体像を撮像する撮像部と、前記発光部の近傍に配置され前記被検物体を照明するモニタ光の発生部と、前記撮像部に入射する前記検査光の回折光に略比例する光量の前記モニタ光の回折光が入射する位置に配置されるモニタ部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 対象物のパターン全体の状態を解析することができるパターン・ムラ解析装置およびパターン・ムラ解析方法を提供すること。
【解決手段】 対象物２００のパターンのパターン・ムラを解析するためのパターン・ムラ解析装置１であって、対象物２００を保持する対象物保持手段２と、パターンに対して光Ｌｉを照射する光源３と、パターンからの反射光Ｌｒを受光する受光手段５と、対象物２００に対する受光手段５の角度を調節する受光角度調節手段６と、受光手段５が受光した反射光Ｌｒの反射光データを格納するデータ格納手段７と、対象物２００の同一領域内の複数の反射光データから領域の特徴を表す特徴データを算出するデータ演算手段８と、を具備し、この特徴データからパターン・ムラを解析する。 （もっと読む）

【課題】ロッドレンズアレイを構成するロッドレンズの端面の疵や汚れ付着といった不整要因の有無を高精度で簡単かつ迅速に検査する装置及び方法の提供。
【解決手段】ロッドレンズアレイ１を構成するロッドレンズの一方の端面に、当該端面の法線に対して、ロッドレンズの開口数の最大錐角の半角より大きな角度で検査光を照射する光源部２と、ロッドレンズの他方の端面から出射した光を検出する受光部３と、受光部３の検出した光強度が所定の閾値以上の場合に、そのロッドレンズアレイ１を不良と判定する判定部６を備える。 （もっと読む）

【課題】水車におけるステーベン５の欠陥を高い精度で効率的に求める。
【解決手段】 先端部１９の三次元位置と向きとを読取る三次元デジタイザ７の先端部１９に距離計８を取付けて、先端部をステーベン５に対する倣い操作を行なうことによって、ステーベンの三次元形状を測定する。次に、三次元デジタイザの先端部に超音波探触子９を取付けて、ステーベンの表面の各位置へ超音波探触子を順次当接していくことによって、ステーベンに対して超音波パルスを送信してエコーを受信する。そして、超音波探触子のステーベンにおける各当接位置、エコー受信情報、及び測定した三次元形状に基づいてステーベンにおける欠陥の３次元位置と欠陥規模とを算出する。算出した三次元欠陥を三次元グラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、互いに反対方向に延び先端が潤滑剤６に入る測定用ギャップ１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバ４，５は、それぞれ先端の前記測定用ギャップ部１０とは反対側の部分を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射してこの反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ検査の効率化を図る。
【解決手段】ウェーハをポッドから搬出して、回路パターン等が形成される表面、またはその裏面の検査を行った後（ステップＳ１〜Ｓ６）、検査面が表面の場合には、そのウェーハを表面が上向きの状態でポッドに収納し（ステップＳ７，Ｓ８）、検査面が裏面の場合には、その検査の結果を用いて、そのウェーハを裏面が上向きの状態でポッドに収納するのか、そのウェーハを反転して表面が上向きの状態でポッドに収納するのかの選択を行う（ステップＳ７〜Ｓ１１）。これにより、この検査後にＳＥＭレビュー等の評価を行う場合でも、その評価の段階で収納部から搬出したウェーハを反転させることが不要になり、ウェーハ検査の効率化が図られるようになる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できて、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 主軸３０を支持する転がり軸受２１が軸受ハウジング２５の内周面に設置され、軸受ハウジング２５が、転がり軸受２１の端面に対向して軸受内の潤滑剤を保持するグリースポケット２８を有する軸受装置２０に適用される。グリースポケット２８の内部に潤滑剤劣化検出センサ１を配置する。 （もっと読む）