【課題】検査の信頼性を向上させることができる缶のピンホール検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】光源１６、１８を制御してＯＮ、ＯＦＦを交互に繰り返させて、缶１５の開口部が光検出センサ１の受光面を通過する間に、該光源１６、１８のＯＮ及びＯＦＦのタイミングにおける缶１５の内部の光量を測定する光検出センサ１の出力を検出し、ピンホールの有無及びピンホール検査の異常を検出するに際し、光源１６、１８をＯＮ状態とさせる制御信号を送出した際に、缶１５の外部に設けられた点灯確認センサ６によって光源１６、１８の点灯を検出することができなかった場合に異常と判断する。 （もっと読む）

【課題】原盤カッティング機への設置が容易で、且つ光ディスク原盤の凹凸パターンに生じたディフェクトの位置及び大きさを情報量の少ないデータで取得、格納、及び処理することが可能な原盤ディフェクト測定装置、及び原盤ディフェクト測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、原盤カッティング機１０で用いられているフォーカスエラー信号及びインデックス信号を利用してディフェクトの検出を行うため、大幅な改造を行わずとも原盤ディフェクト測定装置５０を原盤カッティング機１０に容易に設置することができる。また、ディフェクトデータは信号のカウント値であるため情報量が少なく、短時間に多数のディフェクトが検出されても、ディフェクトデータの導出や伝送に不具合が生じることがない。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部にある微小な欠陥を、高スループットで検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】上ベベル用照明光源３ａから放出されたは、上ベベル用干渉フィルタ４ａで所定波長域の光とされ、上ベベル用集光レンズ５ａにより、ウェハ１の上ベベルの被照明領域を、幅ｄのスリット光でテレセントリックに照明する。上ベベルの被照明領域からの乱反射光は、上ベベル用干渉フィルタ４ａと同じ波長特性を有する上ベベル用干渉フィルタ６ａを透過し、上ベベル用集光レンズ７ａで集光されてＳＰＤ等の上ベベル用受光装置８ａで受光される。上ベベルの被照明領域からの正反射光は、受光光学系に入射せず、バックグラウンドノイズとならない。 （もっと読む）

深紫外線を少なくとも部分的に透過する対象物の透過率マッピングのための装置および方法。この方法は、対象物の連続領域の配列の異なる領域を照明するように広帯域深紫外線を方向付けるステップと、放射線源に対して対象物の反対側に配置される光学式検出器を使用して対象物から出てくる広帯域深紫外線を検出するステップと、光学式検出器からの信号を処理して、対象物の連続領域の配列の異なる領域を通して放射線の透過率を測定するステップと、を含む。
（もっと読む）

【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】連続的に多数の積層コンデンサの内部不良を検査することができる、検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】制御部は、赤外光が照射された積層コンデンサからの反射光を取得するステップ（Ｓ１００）と、分析対象データを平均化処理するステップ（Ｓ５００）と、最大波長側から小さい波長の反射率の極大値をカウントするステップ（Ｓ６００）と、反射率が極大値である波長を特定するステップ（Ｓ７００）と、反射率の極大値の差が最大の波長を特定するステップ（Ｓ１０００）と、特定された極大値に関するデータに基づいて不良品であるか否かを判定するステップ（Ｓ１２００）とを含む、プログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】透明基板を検査する方法において、十分なスピードを提供し、高度に仕上げられた表面を必要とせず、薄いガラスシートに限定されず、混入物の場所を特定の位置に識別し、極めて小さい混入物を検出するに十分な感度を示す、ガラス基板基材のバルクまたは内体積の正確な検査を可能にする。
【解決手段】屈折率整合光カプラと透明基板の表面の間に屈折率整合液を与える。透明基板の表面に沿う２つないしさらに多くの位置において、（ｉ）光カプラを通して透明基板にリボン光を導き入れる工程によって透明基板内の検査体積を光照射する工程、および （ii）検査体積と光学的に共役な検出器において検査体積からの散乱光を検出する工程、を反復する。 （もっと読む）

【課題】複数層に形成された検査対象物の各形成状態を検査する場合において、品質上問題の生じる可能性の低い領域や検査不可能な領域について、虚報の出やすい領域を除外したり、あるいは閾値を緩くしたり、判定アルゴリズムを変更したりすることで虚報を抑えられるようにする。
【解決手段】配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４を形成したプリント基板２を検査する場合、配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４の設計データで囲まれた領域を膨張処理し、これによって生成された配線パターン２１やパッド２２の設計データに対する膨張領域と、レジスト２３の設計データに対する膨張領域とを重ね合わせる。そして、その重ね合わさった重複領域４３を他の内側領域４１や外側境界領域４２における検査方法と異なる判定アルゴリズムで検査する。あるいは、その重複領域４３については、検査を行わないようにする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ周縁端に付着した異物を正確に、かつ定量的に検出可能なウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置を提供する。
【解決手段】投光系により光をウェハ周縁端に照射し、受光系によりウェハ周縁端からの散乱光を検出し、検出した散乱光の強度からウェハ周縁端に付着する異物、及び/又は欠陥を検査するウェハ周縁端の異物検査方法において、前記ウェハ周縁端における光のスポット形状を、前記ウェハ周縁端のアペックスの長さ方向に前記アペックスの長さよりも細長く成形する。 （もっと読む）

【課題】画像検査機における照明装置の劣化や故障を安価に且つ確実に検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置１０と、カメラ２０と、コンピュータ３０とを有する画像検査機１において照明装置１０の検査を行う方法であって、照明装置１０の照明照度を検査するための照明照度検査工程（Ｓ１）と、照明装置１０の照明色を検査するための照明色検査工程（Ｓ２）とを備えている。照明照度検査工程（Ｓ１）と照明色検査工程（Ｓ２）とを任意のタイミングで実施することにより、照明装置１０の劣化等による照明照度及び照明色の変化に起因した画像検査機１における被検査対象物の誤検査を防止して、検査品質の信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本願は概して光計測に関し、より詳細には、フォトニックナノジェットによる半導体ウエハの検査領域の検査に関する。
【解決手段】 製造クラスタは、光学測定を用いて制御することができる。製造プロセスは、製造クラスタを用いて、ウエハ上で実行されて良い。誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットが生成される。ウエハ上の検査領域はフォトニックナノジェットによって走査される。フォトニックナノジェットが検査領域を走査する際、誘電体ミクロン球からの再帰反射光が測定される。検査領域内での構造の存在は、再帰反射光の測定結果によって決定される。製造クラスタの1種類以上のパラメータは、検査領域内での構造の存在の決定に基づいて調節される。 （もっと読む）

【課題】
複数の増幅器を配設してレンジ毎に切り替えて信号検出を行う検出回路において、レンジ切替えによる検出誤差を抑制し、高精度な高ダイナミックレンジ検出方法を提供する。
【解決手段】
検出部３は、基準電圧生成部１０３により基準電圧を印加した際に、複数の検出系データから補正データを算出する減算部１１５、補正データを保持するデータ保持部１１７、検出データに補正処理を行う加算部１１６、検出データと切替えデータを比較する比較部１２１、比較部出力により補正データを含む複数の検出系データを切り替えるセレクタ１２２などを有する。 （もっと読む）

【課題】 構成部材として貴金属を用いることなく簡易かつ安価に製造でき、精度の良い腐食情報を取得できる腐食環境センサおよびセンサシステムを提供する。
【解決手段】 この腐食環境センサ１は、成分、組成、または表面処理状態等の種類が互いに異なる２種類の金属電極６，７を有する。これら２種類の金属電極６，７は、互いに直接に接触して固定手段１１，１２で固定されて金属電極組２とされる。この金属電極組２は、両金属電極６，７間の電極接触部８が被検出環境下に晒される。金属電極組２の電極接触部８に光を照射する発光部９およびその照射された光の前記電極接触部８での反射光を検出する受光部１０を有する光反射検出手段３を設ける。金属電極組２における前記電極接触部８の腐食を、前記光反射検出手段３の照射光に対する反射光の光強度の割合を検出することで検出する腐食検出回路４を設ける。 （もっと読む）

【課題】ノイズ信号に対して従来よりも優れた強靭さを有する方法もしくは装置を提供する。
【解決手段】検出器１２、１３、１６におけるノイズ・レベルを複数の周波数において検出する周波数選択ステップを実行する。次いで、周波数選択ステップにおいて検出されたノイズ・レベルに応じた測定周波数を選択する。これによって、僅かのノイズしか存在しない周波数を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】ディスク基板そのものがうねりを持つ状態や、局所的なうねりが生じた試料の表面の欠陥を高精度に検査できるようにした表面欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基板表面を回転させかつ一軸方向に移動させながら斜方から照明し、その正反射光と散乱光を検出し、該検出した信号波形から、基板そのもののうねりや局所的なうねりの状態を判断し、うねりがある基板においては信号波形を分割し、該分割した範囲内でしきい値を設定し、該設定されたしきい値より高い信号を欠陥として出力或いは表示するように構成した。 （もっと読む）

【課題】汚染物を簡易に且つ早急に判定し、汚染発生時の対策を的確且つ速やかに講じることを可能にする装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る汚染物の検査装置１は、汚染物を含む部位の拡大像を観察するための表面観察手段２と、汚染物を含む部位に紫外光を照射する紫外光照射手段３と、汚染物を含む部位に可視光を照射する可視光照射手段４とを備え、表面観察手段２、紫外光照射手段３及び可視光照射手段４がそれぞれ接合部材１１により接合されて一体構造を成し、上記手段２，３，４のそれぞれの端部と検査対象物との距離を所定の距離に保持する保持手段として透明架台１２を更に備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物、例えば基板、とくにウェハの表面検査で異物及びウェハ基板から生じる散乱光を検出する場合に、より簡単な構成で広範囲の散乱光を取り込むことや、特定方向の散乱光を選択的に取り込むことを可能とし、微小な異物等の検出、ならびに異物等の分類、ウェハ基板の状態を検出できる表面検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光を検査対象物（例えばウェハ）上に照射し、照射点を走査しながら、照射点からの散乱光を光電変換器で受光し、光電変換器からの信号を検出することによって、検査対象物上の異物や傷等を検査する表面検査方法及び表面検査装置において、照射点からの散乱光の特定の広がりを光電変換器に導く光学系と、検査対象物を介して光学系と略対称となる位置に配置した反射鏡とを有する。 （もっと読む）

【課題】シリンダヘッドの冷却剤通路の詰まりを目視せずに検査する方法及びそのような検査を行うための装置を提供する。
【解決手段】車両用シリンダヘッド冷却剤通路検査装置及び該装置を用いて車両用シリンダヘッドの冷却剤通路を検査する方法が提供される。本発明に係る装置及び方法によって、冷却剤通路内に存在する詰まりが検知可能となる。本発明に係る装置及び方法は、発光及び受光可能な１以上の光ファイバプローブを使用する。該プローブは、冷却剤通路において詰まりによって反射され且つプローブによって受光される光を測定することが可能なセンサと共に用いられる。センサによって記録された反射光の測定値を用いて詰まりが存在するか否かが判断される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物と結像光学系の距離にばらつきが生じても、正確に異物の存在を検知できる光学的測定装置を提供する。
【解決手段】搬送される測定対象物の表面の被測定領域にレーザ光を照射する光照射部と、該測定対象物の表面での散乱光を集光する集光光学系と、該集光光学系を介して前記散乱光を受光する受光部と、を有する光学的測定装置において、測定対象物を湾曲させ、レーザ光を測定対象物の接線方向から照射するようにした光学的測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】外装デザインに関係なく、安定・正確に順序検査を行うことができる手法を提供する。
【解決手段】外装種類の異なる複数個のティッシュカートン２Ａ〜２Ｅに対し、外面に紫外線発光インクにより外装種類表示４０をそれぞれ印刷し、これら複数個のティッシュカートン２Ａ〜２Ｅを、ベルトコンベア１により所定の順序で移送するとともに、移送されるティッシュカートン２Ａ〜２Ｅに対し、紫外線照射装置１３から紫外線を照射するとともにし、この照射により蛍光発光する外装種類表示４０を検出装置１０により順次検出し、この検出結果に基づいて移送されるティッシュカートン２Ａ〜２Ｅの順序を監視するとともに、その監視の結果所定順序とは異なるティッシュカートンを排出するようにする。 （もっと読む）