【課題】光学ガラス検査治具に保持された光学ガラスの透過光の、光学ガラス検査治具の表面からの反射の影響を排除して、光学ガラスの傷等の検査精度向上と迅速化を図る。
【解決手段】光学ガラス検査治具の構成を、一または複数の光学ガラスを載置するためのガラス載置部３１ｎと、載置された光学ガラスを保持するためのガラス保持部３２とを有し、さらにガラス載置部３１ｎが光学ガラス検査治具３０Ａの表面３０ｘと裏面３０ｙの間を連通する治具開口部３１ｃを備え、ガラス保持部３２が治具開口部３１ｃの少なくとも２つの領域に配設されて光学ガラスを保持することができるとともに、光学ガラス３５を通過した光が更に治具開口部３１ｃを通過する構成とした。 （もっと読む）

【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検査対象物（ガラス基板１４）の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源（３つの線光源１１，１２，１３）を有する照明手段と、被検査対象物（１４）を照明手段に対して相対移動させる駆動手段（駆動ローラ４）と、複数の光源（１１，１２，１３）によってそれぞれ照明された被検査対象物（１４）を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段（ラインセンサカメラ１５）と、照明手段と駆動手段（４）とを制御し、被検査対象物（１４）を相対移動させた状態で被検査対象物（１４）の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段（１５）を制御する制御手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により２つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の２点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】多層構造の検査対象物の内部の層の画像を良好な画質で取得し、その結果、内部の層の検査精度を向上させる。
【解決手段】波長選択フィルタ１１３は、検査対象物に照射する照明光の波長を変更する。照明波長設定部１７３は、検査対象物の第１の層を通して第２の層の検査を行う場合に、第１の層の透光特性に基づいて、波長選択フィルタ１１３を用いて照明光の波長を設定する。撮影制御部１７５は、検査用撮像素子１２０を制御して、照明光が照射された検査対象物を撮影させる。検査部１７２は、撮影の結果得られた検査画像に基づいて、第２の層の検査を行う。本発明は、例えば、ＴＦＴアレイ基板の検査装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光を生成して出射する光源１１と、光源１１から出射される光を基板２０にスキャンするスキャンミラー１４と、基板２０で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部１７と、基板２０で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部１９と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に混在する毛髪の検出精度が高められた毛髪検出装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対して１９４０ｎｍ〜２４００ｎｍの波長範囲から選ばれる複数波長の光を照射することで得られる反射スペクトルを用いて毛髪を検出する。毛髪の反射スペクトルは、波長２０００ｎｍ、２１２０ｎｍ、２２４０ｎｍにおいて反射強度が大きくなり、波長２０６０ｎｍ、２１８０ｎｍにおいて低くなるため、反射スペクトルが上記のような特徴を有しているか否かを判定することによって毛髪を検出する方法が、毛髪の検出感度の向上に効果的である。 （もっと読む）

【課題】異常の原因を特定することが可能な検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、加工によりウェハ１０の表面に設けられた構造体を照明する照明光学系２０と、当該構造体で反射した照明光を検出するＣＣＤカメラ４０と、それぞれ異なる加工条件で設けられた構造体を対象として、複数の照明条件若しくは反射条件で検出される検出値を加工条件ごとに記憶するデータベース部４６と、複数の照明条件若しくは反射条件に含まれる少なくとも２条件で被検物である構造体から検出される検出値と、データベース部４６に記憶された検出結果との関連性に基づいて、構造体に対する加工の条件を求める画像処理検査部４５とを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、紙パック容器などに装着されたシュリンクフィルムの包装状態の良否を自動で検査する方法を提供するものである。
【解決手段】紙パック容器の包装用に装着されたシュリンクフィルム接合部の位置検査方法であって、前記紙パック容器の上方より撮像して得られた画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる、前記紙パック容器のセンターシール接合部とエンドシール接合部の二箇所のシュリンクフィルム接合部の内、前記エンドシール接合部のデーターの位置を検出することで、シュリンクフィルム包装状態の良否を判定することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】被検査体の検査効率を低下させることなく異なる角度の走査画像を取得し、欠陥判定の精度を高める表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体の軸に沿って導かれたレーザ光を反射するミラー手段と、ミラー手段によって反射され、被検査体の内側表面に印加されて反射されたレーザ光を受光する受光手段と、ミラー手段を被検査体の軸と同軸で回転させて周方向走査を行う周方向走査手段と、ミラー手段を被検査体の軸に沿って移動して軸方向走査を行う軸方向走査手段と、ミラー手段の被検査体の軸に対する反射角度を変更する反射角度変更手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面から反射光が得られないような場合であっても、被検体の表面性状を確実に測定でき、歩留まり及び製造効率の向上を図ることができる表面性状評価方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷをセットしていない状態において、第１参照平面５６で反射された第１参照光と、ウエハＷをセットした状態において、ウエハＷを透過して後に第１参照平面５６で反射された被検光と、に基づいてウエハＷの表面性状を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、部材を移動させながら皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標と、上記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、外観画像が移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、該部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。 （もっと読む）

【課題】
高速で走行しているガラス繊維物品において、被覆層の付着不良欠陥を検出する。
【解決手段】
連続的に走行しながら同時に表面処理される複数本のガラス繊維物品の表面欠陥を、ガラス繊維物品に照射した光の反射光の輝度情報からラインセンサーを用いて判定する欠陥検出方法において、ガラス繊維物品の走行方向に対し直交方向にラインセンサーを配置し、それぞれのガラス繊維物品に対してラインセンサーの検知子に連続的に入力される輝度情報の内、連続した３個以上の輝度異常情報か又は連続的に検知子に入力された５個以上の輝度情報中、輝度異常情報である割合が、予め定められた値以上である場合に第１ステップでの輝度異常情報として処理することを特徴とするガラス繊維物品の表面欠陥検出方法。 （もっと読む）

【課題】
光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制する。
【解決手段】
光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 （もっと読む）

【課題】紫外線を用い、空間分解能数ミクロン以下で液体ナトリウム中の可視化が行えるようにする。
【解決手段】フッ化マグネシウム窓２８を備えナトリウム中に浸漬可能な紫外線照射・検出装置１０、及びナトリウムバウンダリ外に設置される画像化装置１２を具備し、紫外線照射・検出装置は、ナトリウムバウンダリ外から供給される外部エネルギーにより波長１００〜１３０ｎｍの真空紫外線を発生し、その紫外線をフッ化マグネシウム窓を通して液体ナトリウム中の被検査体に向けて照射する紫外線発生部２２と、該被検査体からの反射・散乱光をフッ化マグネシウム窓を通して検出し可視光へ変換する紫外線検出部２４を備えた構造とする。紫外線検出部２４で得られた光信号は、多チャンネル光ファイバケーブル１４によって前記画像化装置へ送られ、可視化できる状態となる。 （もっと読む）

【課題】積層体の端面に沿って上下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】撮像画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似し、当該矩形と積層体の領域合わせ込み、積層体の領域からフィッティング後の領域の差分をとり、塗布物質の欠陥部位を求めるとともに、芯材の領域の画像データを利用して最小二乗法により当該領域を矩形近似して芯材の領域と合わせ込み、芯材の領域からフィッティング後の矩形領域の差分をとり、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】透明樹脂フィルムのキズ、あるいはその上に透明樹脂層が積層された透明樹脂フィルムの微細な表面欠陥を、片側表面のみ効率よく検出する。
【解決手段】波長３５０〜３８０ｎｍの紫外線の照射装置１と、当該波長に検出能力を有する検出装置５からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム２であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 （もっと読む）

【目的】より高精度に光軸調整がなされたレーザ光で検査可能なパターン検査装置を提供する。
【構成】パターン検査装置１００は第１から第４象限の面で独立に受光するフォトダイオードアレイ２１２が受光したレーザ光の光量を用いて、レーザ光と供に発生するノイズ成分光の発生方向を特定するノイズ方向特定回路１２８と、レーザ光の光量を用いて、ノイズ成分光の光量を演算するノイズ光量演算回路１３０と、ノイズ成分光の発生方向の重心値の絶対値がノイズ成分光の光量をレーザ光の総光量で除した値になり、ノイズ成分光の発生方向と直交する方向の重心値が０になるように、ミラー２０２，２０４の反射面の位置を制御するミラー制御部１２１，１２２と、光軸が調整されたレーザ光を用いて、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得部１５０と、参照画像を入力し、光学画像と参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、円筒中心軸に対して回転する前記被検査面に対応する曲率および前記被検査面の位置の少なくとも一方が経時的に変化する被検査体表面に発生する微小な凹凸欠点を精度よく検出できないという問題点を解決する。
【解決手段】
被検査体に明暗パターンの光を照射する光照射手段と、前記被検査体から反射した前記明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した前記明暗パターンを含む撮像画像に基づいて前記被検査体の表面を検査するデータ処理手段とを備える表面検査装置であって、データ処理手段が、撮像手段により連続で撮像された２枚の画像から、各画像内の明暗パターン領域を比較することにより、微小な凹凸欠点を高精度に検出できる。 （もっと読む）