【課題】第１撮像部による撮像画像では印刷物の全領域を認識可能であり、第２撮像部による撮像画像では印刷物に利用される特殊インクの部分のみを認識できる印刷物の印刷状態を検査する。
【解決手段】第１検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第１画像を撮像し、第１検査光と異なる波長の第２検査光を照射して検査基準マーク及び印刷物を含む第２画像を撮像し、第１画像上で所定の印刷内容の位置を特定するとともに該印刷内容の位置に基づいて印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第１画像に含まれる印刷内容の検査を行うとともに、第１画像で特定された印刷物の範囲と検査基準マークとの相対的な位置関係に基づいて第２画像上で印刷物の範囲を特定して該範囲に基づいて第２画像に含まれる印刷内容の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検査画像から微小欠陥を検出するとともに、当該欠陥の色の違いを識別することができる外観検査装置および外観検査方法。
【解決手段】 被検査基板を撮像部３０で撮像することで被検査画像を取得する。被検査画像に対して微分処理部４１２は水平方向に微分演算処理を行う。そして、微分処理部４１２は、水平方向の微分処理結果に対して、さらに垂直方向に微分演算処理を行い欠陥候補検出画像４２３を生成する。欠陥検出部４０３が欠陥候補検出画像４２３中の欠陥候補と、欠陥候補が示す特徴を記録した欠陥識別情報４２８とを比較することで、欠陥を検出するとともに、検出された欠陥が白欠陥であるか黒欠陥であるか識別することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハを外周で保持する機構では、ウェハが自重で撓む場合がある。そこで平面度を保持するためにウェハとウェハ下の保持台との間に空気を供給する方法がある。しかし、この方法では異物がウェハに付着する場合がある。
【解決手段】ウェハの平面度を保持するためにウェハ、及びウェハ下の保持台に負電圧をかける。この静電力によってウェハに上向きの力を与え、平面を保持する。また、この方法により負に帯電した異物の付着を防止する。 （もっと読む）

【課題】黒系のメタリック色について、白とびの新たな評価手法を提供する。
【解決手段】メタリックブラック色の白とび評価方法は、まず、メタリック材の量と、明度、彩度および色相とを変化させた複数のカラーパッチを用意する。次に、カラーパッチの各々について、正反射方向と非正反射方向とで測色して、非正反射方向の明度と、正反射方向と非正反射方向との間での色差とを取得し、その関係をプロットする。次に、カラーパッチの各々について、白とびの発生の有無を評価する。次に、プロットの結果を、評価の結果に基づいて、白とびありの集合と、白とびなしの集合とに分類し、白とびの判定基準を、非正反射方向の明度と、色差との関係によって設定する。次に、評価対象の色について測色し、非正反射方向の明度と、色差とを取得して、取得した明度および色差の値と、設定した判定基準との関係から、白とびを評価する。 （もっと読む）

【課題】本発明はレールに敷設された石（バラスト）の陥没穴を迅速に検出することで、車両の転覆、脱線等の事故を未然に防止するものである。
【解決手段】本発明のレール敷石陥没検出装置は、上記の目的を達成するために、通常運行時の列車の先頭車両の前方に搭載した近赤外線照明により、レールに敷設された石（バラスト）に近赤外光を照射し、その画像を近赤外光のみを通す光学フィルタを通してラインセンサカメラで撮像し、その映像を走査方向に積算することで、バラストと陥没穴を区別し、陥没穴を自動的に検出する。 （もっと読む）

【課題】粘度が低いハンダは、その流動性が良いために、スクリーンに設けられた開口部への充填の際にスクリーンの裏面とプリント基板との間の微小な隙間にハンダ、特にフラックスが流出し易く、プリント基板上での印刷結果として上記フラックスやハンダが滲んだ状態になる。すなわち、いわゆる印刷滲みや、はみ出しによるブリッジ等の印刷不良が発生し易い。これに対し、粘度が高いハンダでは、その流動性が悪いため、スクリーンに設けられた開口部へハンダ７が充填され難くなり、未充填や印刷かすれ等の印刷不良が発生し易い。このようにハンダの流動特性を得ることは重要である。
【解決手段】ハンダの流動特性を光学的に得る。 （もっと読む）

【課題】装置を複雑化することなく、高速に処理することができ、かつ、外乱光による誤認識の発生を防止することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】塗布状態検査装置１は、シール剤Ｓが塗布されたワークＷの上方に、撮像装置３に近接して設置された照明装置２と、該照明装置２の照明状態・消灯状態の各々でシール剤Ｓ及びワークＷを撮像する撮像装置３と、シール剤Ｓが正常に塗布されているか画像検査を行う処理装置４とを備える。画像生成部５−１は、照明装置２の点灯状態・消灯状態で撮像装置３により撮像された各画像の輝度値を減算することにより、外乱光の影響を除去した検査画像を生成する。画像判定部５−２は、検査画像からシール剤Ｓの塗布状態が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ（８）の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段（４０）と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段（６０）とを有する。ｉを正の整数とした場合に、ｉ番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、（ｉ＋２ｍ）番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】内部空間形成体内側の観察対象部にレーザ光を結像させつつ、レーザ光の結像サイズを調節可能であるとともに、レーザ投光装置を狭隘な点検穴から内部空間形成体内へ挿入できるようにする。
【解決手段】内部空間形成体３内へレーザ光を投光するレーザ投光装置２０は、バリフォーカル光学系７を有する。バリフォーカル光学系７は、複数のレンズ体１１ａ，１１ｂ，１１ｃを有する。各レンズ体は、レンズ１２と、該レンズを保持するとともに光軸方向に移動可能な保持移動片１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、を有する。アクチュエータ１９ａ，１９ｂ，１９ｃが、ぞれぞれ、光軸方向に保持移動片を駆動することにより、内部空間形成体３内側でのレーザ光の結像位置と結像サイズを調節する。各保持移動片において対応するアクチュエータから駆動力を受ける駆動力伝達部分１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１は、周方向において互いにずれており、各アクチュエータは、光軸方向から見て、対応する駆動力伝達部分に重なる。 （もっと読む）

【課題】 孔内に挿入される導光棒に照明と受光とを行なわせて光学系を一つとし、構造を簡素化して部品数を低減するとともに、部品精度の要求を抑えて組立を簡単にして製造コストを低減した安価な孔内周面撮影装置を目的とするものである。
【解決手段】 光源光を拡散光として導光棒５の基端面に入射させる反射鏡７ｂを導光棒５の基方部周縁に設け、また、導光棒５が先端を受光と照明とを行なう円錐状面６とし、基端面を受光像投影面と光源入射面とされ、該導光棒５の基端面に入射された拡散光を全反射させて先端の円錐状面６に伝達して孔内周面を拡散光により照明するとともに、拡散光により照明された孔内周面からの反射像を前記円錐状面６により受光したうえ、導光棒５の基端面に全反射投影された受光像を撮影する撮影装置４が導光棒５の基端に設けられるものである。 （もっと読む）

【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第２放射エネルギを測定する測定工程と、前記第２放射エネルギと前記第２放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】工場、サービスステーションおよび生コン工場等での現場での品質管理の精度向上を課題とした。特に、セメントの色調を測定して、セメントの種類の特定、異物混入の判定、混合物の濃度管理を簡便にできるセメント用色彩色差計およびその使用方法を実現することを課題とした。
【解決手段】そこで、波長域が４００〜７５０ｎｍを含む光源、波長域４００〜７５０ｎｍの光を検知できる検知部と、透光性の試料カバー部、を含み、試料カバーを通して試料に照射する光源からの光の照射方向と、試料からの反射光を検知する検知管の取付け方向のなす角度が３０度から６０度に設定されて配置されることを特徴とするセメント用色彩色差計、を提供する。 （もっと読む）

【課題】ひび割れの深さに関係なく、精度良くひび割れ深さの測定を行うこと。
【解決手段】構造体Ｓの表面を照射加熱する加熱用レーザー装置１と、前記照射加熱に伴って、構造体Ｓに発生した弾性波を前記照射加熱の位置から所定距離だけ離れた検出位置で検出する第一検出用レーザー装置２と、前記照射加熱の位置から前記所定距離だけ離れた位置まで、ひび割れＣの無い部分を通って弾性波が伝播する際の基準信号９の信号強度を測定する第二検出用レーザー装置３と、両検出用レーザー装置２、３での検出結果から、ひび割れ深さを導出する演算装置１０とでひび割れ深さ測定装置を構成する。この演算装置１０において、両検出用レーザー装置２、３で検出された測定信号８及び基準信号９の時間差Δｔ又は信号減衰比ｒからひび割れ深さを導出する。このように、異なるパラメータに基づいて導出を行い得るようにしたので、その導出値の信頼性が向上する。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を確実に検出し得る欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光強度分布が全方向において周期的に徐々に変化している照明パターンにより、被検査体１２の被検査面２０を照明する照明部１８と、照明部の照明パターンにより被検査面を照明した状態で、被検査面を撮像する撮像部２２と、撮像部により取得された被検査面の画像に基づいて、被検査面における欠陥を検出する処理部３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅（検出積算値／検出長さ）との比（検出幅／密度幅）を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 （もっと読む）

【課題】微細な傷等を見逃すことなく被検査体の正確な外観検査を行うことができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。また、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させることにした。さらに、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させながら被検査体(2,2')の表面の画像(A₁〜A_n)を複数枚撮影し、複数枚の画像(A₁〜A_n)から前記境界領域の近傍の画像(抽出画像B₁〜B_n)を合成して１枚の検査画像(C)とすることにした。 （もっと読む）

【課題】光沢面の角度の情報を光学的に明度と色に変換し、変換後の画像から得られる明度と色から光沢面の角度を抽出することにより、光沢面の外観の検査を容易にする。
【解決手段】光源１は、第１の偏光要素４を通して光沢を有する検査対象７に円偏光を照射する。撮像装置２は、楕円偏光を直線偏光にする第２の偏光要素５を通して検査対象を撮像する。処理装置３は、撮像装置２から撮像した画像から抽出される画素ごとの明度と色との情報を用いて検査対象７の表面の角度に換算する換算部３３と、画素ごとの角度をグループ化することにより同じ角度を有した平面を抽出する面抽出部３４とを備える。 （もっと読む）