【課題】マルチコアプロセッサ１２を用いても画像処理の処理性能をスケーラブルに向上させることが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成された試料を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像された画像データを、複数の画像ブロックに分割する分割手段４ｂと、複数の画像ブロックに対してパターンの欠陥を検出する欠陥検出処理を並列に行う並列処理手段５とを備え、並列処理手段５には複数のコア１３、１４を有するマルチコアプロセッサ１２を複数使用する。マルチコアプロセッサ１２毎に、画像ブロックの欠陥検出処理が行われる。複数のコア１３、１４は、画像ブロックの欠陥検出処理を行う演算コア１３と、画像ブロックを分割手段４ｂから受信する制御コア１４とを有し、演算コア１３が欠陥検出処理を行う画像ブロックは、制御コア１４を介して用意される。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの欠陥部の修正を行うにあたり、操作者の負担を小さくすることができるともに人為的な位置決めミス等のトラブルが発生することを抑制することができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷装置に設けられた修正用スクリーン印刷部２０は、貫通穴２２ａが設けられたスクリーン版２２を介して修正用スキージ２４により修正用ペースト２８を印刷定盤３０上の基材１０に転移させる。制御部５０は、撮像部４０により撮像された基材１０の画像に基づいて当該基材１０における配線パターン１２の欠けた箇所１２ａを検出し、当該基材１０における配線パターン１２の欠けた箇所１２ａに修正用ペースト２８を付着させるよう修正用スクリーン印刷部２０を制御する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの構造や欠陥がばらついて適切な波長が変化しても欠陥を精度よく検出でき、かつ、スループットが速いパターン検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン検出装置は、光を発生する光源と、前記光をラインビームに整形してウエハ上に照射する集光器とを備える。さらに、前記装置は、前記ウエハで反射した前記ラインビームを分光する分光器を備える。さらに、前記装置は、前記分光器により分光された前記ラインビームを検出し、前記ラインビームのスペクトル情報を保持する信号を出力する二次元検出器を備える。さらに、前記装置は、前記ウエハ上の繰り返しパターンの対応箇所から得られた前記スペクトル情報を比較する比較部と、前記スペクトル情報の比較結果に基づいて、前記ウエハの欠陥の有無を判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンに損傷を与えることなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、半導体基板を測定光学系によって表面観察し、観察結果に基づいて前記半導体基板の欠陥検査を行う基板検査部を備えている。また、前記欠陥検査装置は、前記測定光学系のうち前記表面観察を行う際に前記半導体基板の表面に近接する底部近傍を撮像し、撮像した画像である第１の撮像画像を用いて前記底部近傍の状態検査を行う測定光学系検査部を備えている。前記測定光学系検査部は、前記基板検査部が前記半導体基板の欠陥検査を行っていない間に、前記底部近傍の状態検査を行う。また、前記測定光学系検査部は、前記状態検査の基準となる基準画像と、前記第１の撮像画像と、を比較し、比較結果に基づいて、前記底部近傍の状態検査を行う。 （もっと読む）

【課題】検査装置で欠陥検出の行いやすい画像を得られるように、従来のリング照明に替わって、照明光が方向によらず一定の強さであり、検査する物体に対して均一に照明され、光が効率的に利用できるような照明装置を提供すること。
【解決手段】狭い波長幅の平行光を発する照明光源と、平行光で照明すると円環形状に広がる回折光を発する第１ホログラムと、１点から拡がる光で照明すると特定の範囲に収束する回折光を発する第２ホログラムと、を有する照明装置であって、
照明光源からの平行光が第１ホログラムに入射して回折され、円環形状の回折光として第２ホログラムに入射し、第２ホログラムから発し収束する回折光が対象物を照明するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。
【解決手段】表面検査装置は、第１照射部から照射される第１の照射方向からの照射光と、第２照射部から照射される第２の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第１波長の光を試料の一面で反射させて、また、第２波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第１輝度データ及び第２輝度データを用いて試料表面の形状を算出するものである。 （もっと読む）

【課題】 より高い精度で紙葉類を処理することが出来る紙葉類処理装置、及び紙葉類処理方法を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る紙葉類処理装置は、紙葉類を搬送する搬送手段と、搬送される前記紙葉類に対して光を照射する照明手段と、前記紙葉類から画像を取得する画像取得手段と、搬送される前記紙葉類の深度と前記照明手段から放射される光の照度分布とに基づいて予め算出される補正係数を格納する補正係数格納手段と、前記補正係数により、前記画像取得手段により取得された前記画像を補正する補正処理手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】マーキング装置の動作遅延と、印刷物の搬送速度を考慮して、位置精度良く欠陥位置にマーキングすることが可能な印刷物欠陥検査におけるマーキング信号制御方法を提供する。
【解決手段】基材に印刷された印刷物を検査し、欠陥を検出した場合にマーキング装置により欠陥位置にマーキングを行うための印刷物欠陥検査におけるマーキング信号制御方法であって、マーキング装置の動作遅延時間と印刷物の搬送速度から、マーキング信号を得てからマーキングするまでのマーキング装置の動作遅延時間内の印刷物の搬送量を求め、予め設定した検査位置からマーキング装置までの距離を示す固有遅延量から前記マーキング装置の動作遅延時間内の印刷物の搬送量を減算して本来遅延すべき遅延量を求め、前記本来遅延すべき遅延量に基づいてマーキング装置を動作させることを特徴とする印刷物欠陥検査におけるマーキング信号制御方法。 （もっと読む）

【課題】従来の製造方法では、軸受装置用の部品に防汚ポリマーがコーティングされているか否かは人間の目視に頼るため検査漏れを生じる可能性が高く、作業効率も低い課題があった。
【解決手段】シャフト４と、シャフト４を環囲するスリーブ６と、を備えるべき軸受装置用の部品の製造方法において、シャフト４と、スリーブ６のうちの少なくとも一つをワーク１００と呼ぶとき、本製造方法は、ワーク１００に防汚ポリマー１２をコーティングする工程と、防汚ポリマー１２がコーティングされた範囲と重複する範囲にフォトルミネセンス材料を塗布する工程と、ワーク１００にフォトルミネセンス材料を励起する励起光２４を照射して、フォトルミネセンス材料の発する固有のスペクトルの光を光センサ２２で検出すると共に、光センサ２２の出力信号３０に応じてフォトルミネセンス材料が塗布されているか否かを表示する信号検出工程２００と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが形成された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】 あらかじめ各照明の点灯及び消灯タイミングを設定した後、ラインカメラにおいて紙端及びすき入れを個々に撮像して１つの検査画像を取得し、検査画像から紙端及びすき入れを示す座標を検出して紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 反射画像と透過画像とを同時に同じ位置で撮影することができる太陽電池セル検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハ２の第一面に向かって可視光を照射する第一照射部４と、半導体ウエハ２で反射した可視光を受光することにより、半導体ウエハ２の反射画像を取得する第一撮像部５と、半導体ウエハ２の第一面に対向する第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部６と、半導体ウエハ２を透過した赤外光を受光することにより、半導体ウエハ２の透過画像を取得する第二撮像部７と、反射画像及び透過画像に基づいて、半導体ウエハ２に欠陥があるか否かを判定する判定部２１ｄとを備える太陽電池セル検査装置１であって、第一撮像部５及び第二撮像部７との間に配置されるビームスプリッタ１１を備え、ビームスプリッタ１１は、設定波長未満の光を第一撮像部５に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部７に導くことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を用いた検査で表面の透明薄膜状異物を容易に検査することができる表面異物検査方法を提供する。
【解決手段】白色光光源３からウエーハ１０の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物１２ａが存在する場合に、透明異物１２において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源４から前記ウエーハ１０に照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子５で受光することを特徴とする表面異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】 透明なプラスチックフィルムに封入された無色のコンタクトレンズや透明体の有無を確実に検出する方法と装置を提供する。
【解決手段】 コンタクトレンズは、眼を有害な紫外線から保護するために、紫外線吸収剤を含むものが多いので、紫外線を発する照明ユニット２を用いて、コンタクトレンズのパッケージ１に照明をあて、紫外線を検知するカメラ３で撮像してパーソナルコンピュータ４で画像処理を行う。コンタクトレンズは紫外線を吸収し、コンタクトレンズが収納されていないパッケージとは、画像に明確な差が生じるので、コンタクトレンズの有無の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化の診断を高精度で行う。
【解決手段】金属製の対象物体の腐食により生じる錆を撮影して得た発錆箇所に係るＲＧＢ色空間の錆画像情報をＨＬＳ色空間の錆画像情報に変換するＨＬＳ変換部１１５と、変換後のＨＬＳ色空間の錆画像情報に係るＨＬＳ値が、発錆箇所が錆びているとする際の基準となる錆色領域の範囲内に含まれるか否かを判定する診断実行判定部１２１と、ＨＬＳ値が錆色領域の範囲内に含まれる旨の判定が下された場合、対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化を診断する劣化診断部１２３と、を備える。錆色領域は、腐食の段階が初期の際に現れる赤茶色系統の初期錆、および、腐食の段階が前記初期よりも進んだ後期の際に現れる黒褐色系統の後期錆を共に錆として捉えることを考慮して設定される。 （もっと読む）

【課題】走行車が管路内に堆積した汚泥、粘土、スラリ、砂、瓦礫などの異物に埋まったり、異物を噛み込んだりせず、水中の藻や草などに絡まることなく安定走行でき、機動性、走行安定性、汎用性に優れ、簡単な操作で短時間の内に効率的に管路内の検査を行うことができ、操作性、取扱い性に優れ、不具合発生箇所を簡便かつ確実に記録できる検査作業の信頼性、効率性に優れた管路内検査装置の提供。
【解決手段】走行車が、車両本体の両側部にそれぞれ複数ずつ配設される車輪部を備えた走行部と、車両本体の上部にレンズが配設されたカメラと、車両本体に配設された照明部と、を有し、走行部が、各々の車輪部の両側部の少なくともいずれか一方の外側方向又は各々の車輪部の外周方向に突出する複数の突起部を有する推進補助部を備える。 （もっと読む）

【課題】疑似位相整合型の波長変換光学素子におけるフォトリフラクティブ効果を抑制し得る手法を提供し、同効果に起因した問題を解決可能なレーザ装置等を提供する。
【解決手段】レーザ装置ＬＳは、レーザ光を出力するレーザ光出力部１と、レーザ光出力部から出力されたレーザ光を波長変換して出力する波長変換部３とを備える。波長変換部３には、波長λのレーザ光を波長λ／２のレーザ光に波長変換する疑似位相整合型の波長変換光学素子３１を備え、この波長変換光学素子３１の入射面及び出射面の少なくともいずれかに、波長がλ〜λ／ｎ（ｎ≧３）の光の反射率を低減する反射率低減コーティングが施されて構成される。 （もっと読む）

【課題】ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜等のピンホール欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】基板の表面にクロム膜等のマスクパターンが存在すると、基板の表面へ照射された光線はそのマスクパターンの形状や欠陥によって散乱され、基板の表面側の周囲にのみ散乱光が発生するようになり、基板の裏面側に透過する光線は存在しない。一方、このマスクパターンにピンホールが存在する場合、そのピンホールのエッジにて散乱した光の一部は基板の表面側で周囲に散乱光として発生すると共にそのピンホールを介して基板の内部へ透過し、基板裏面側の周囲に散乱光として発生することになる。これらの基板の表面及び裏面で検出された散乱光を、基板の表面側及び裏面側に配置された散乱光受光手段でそれぞれ受光することによって、ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜のピンホールを高精度に検出する。 （もっと読む）

【課題】 ワインダー工程で形成された巻取の端面の良否を機械的に検査し、迅速な検査を図り、作業者の熟練に負うことがない巻取の端面検査装置を提供する。
【解決手段】 ワインダー工程で形成された巻取Ｒを次工程へ搬送する搬送路Ｔを挟んで照明手段21とラインレーザー装置31とを有する投光機器2f、2b及び撮影手段4f、4bを一対ずつ配設し、投光機器2fと撮影手段4fとで搬送路Ｔを搬送される巻取Ｒの前側の端面Ｆの検査を、投光機器2bと撮影手段4bとで巻取Ｒの後側の端面Ｂの検査をそれぞれ行わせる。検査は端面Ｆを検査した後に搬送路Ｔを移動させて端面Ｂの検査を行う。検査はこれら端面Ｆ、Ｂの画像を撮影手段4f、4bで取得し、該画像に対してグレースケール処理を施して、欠陥となる対象物11、12、13の存否を確認する。 （もっと読む）

【課題】検査の定量性を確保するとともに、作業効率を改善するフォトマスク洗浄システムを提供する。
【解決手段】フォトマスクを洗浄する洗浄装置と、フォトマスクに付着している異物を検出する異物検出手段を有し洗浄装置により洗浄されたフォトマスクを検査する検査装置と、検査装置による検査結果に基づいてフォトマスクに異物が付着している箇所を再生部位として指示する指示手段を有し当該フォトマスクを再生する再生装置と、洗浄装置、検査装置および再生装置との間でフォトマスクを運搬する運搬装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】出来るだけ簡易な処理を用いて、表面粗さに差異を生じる表面欠陥を高速かつ効率的に検出する欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】被検査体Ｔに照射光を照射するアレイ状の光源３と、照射光が被検査体Ｔの表面で反射した反射光を検出する撮像手段２と、を備え、被検査体Ｔの表面に存在し正常面と粗度が異なる表面欠陥Ｄを検出する欠陥検出装置１において、アレイ状の光源３は、異なる特性を有する少なくとも３種類の照射光を照射するものであり、撮像手段２は、表面欠陥Ｄが鏡面状である場合、表面欠陥Ｄで反射した少なくとも３種類の照射光のうち特定の１種類又は２種類の照射光の受光量が残りの照射光の受光量よりも大きくなるように配置されている。 （もっと読む）