【課題】ガラス基板の内部欠陥による蛍光部画像がモヤ状画像でもそのエッジを検出して内部欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】マスクブランク用ガラス基板の製造時に、２つの主表面と４つの端面を有するガラス基板を準備する基板準備工程と、いずれかの面から波長２００ｎｍ以下の検査光をガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する欠陥検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、欠陥検査工程は、いずれかの面から前記ガラス基板を撮影し、当該撮影画像に対して遠隔差分により光量差を求める処理を含む画像処理を行うことで、検査光によって、ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を判定し、蛍光が無いと判定されたガラス基板を選定する。 （もっと読む）

【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、ＬＳＩテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】仮に試験サンプルが良品側へ混入することがあっても、人への健康被害を起こす可能性が極めて小さい光学式粒状物選別機における試験サンプル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】小石粒を不良品試験サンプルとなし、予め整粒された米粒を良品試験サンプルとなして、これら不良品試験サンプルと良品試験サンプルとを所定割合で混合して調製した。小石粒を原料とし、該小石粒を篩機に通して粒径選別するとともに、該粒径選別された小石粒を光学式粒状物選別機に通して光学的に複数群に選別し、さらに、該複数群に選別された小石粒を粒状物品位検査装置に供給して小石粒の特徴づけを行う一方、該特徴づけられた小石粒を拾い集めて不良品試験サンプルを作製し、該不良品試験サンプルを、予め整粒された米粒からなる良品試験サンプルと所定割合で混合し調製した。 （もっと読む）

【課題】 本願発明の課題は従来技術の問題を解決するものであって、多数の果菜の検査が可能であって、虫害を受けた果菜を不良品として確実に検出することができる果菜の検出方法及びその検出装置を提供することにある。
【解決手段】 本願発明の果菜の検出方法は、果菜のうち蔓付近の部分、又は蔓のうち果菜付近の部分、を切断し、果菜の切断面画像、又は蔓の切断面画像、を画像取得手段によって取得し、画像判別手段に切断面画像を入力し、且つこの画像判別手段に切断面画像を画像処理させることで、切断面における虫害痕の有無を判別し、切断面に虫害痕を有する果菜を、不良品として検出する方法である。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上には、画素の検査サイズを小さくしてＳ／Ｎ比を向上させることや、領域別に最適なアルゴリズムを用いて処理する方法が有効である。しかし、処理データ量が増加するため、処理時間増加によるスループットの低下、処理回路の並列化による回路規模増加およびコストが増加する、という課題がある。
【解決手段】検査領域の量から処理時間が最短、および回路規模が最小のうち少なくとも１つの条件を満たす処理基板とアルゴリズムとの組み合わせを得る。 （もっと読む）

【課題】プラスチック積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法を提供する。特に、アイウェアに加工される、枚葉シートの光学用積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法、更に、最終加工工程において有利な積層体を提供する。
【解決手段】装置は、（１）積層体を連続的に運ぶ手段、（２）積層体の欠陥を検査する手段、（３）積層体に保護フィルムを貼り合わせる手段及び（４）積層体の欠陥部分をマーキングする手段から構成される。 （もっと読む）

【課題】ハイライトからシャドーまでの全濃度域において一定の検査精度を確保する。
【解決手段】プリンタ１３は印刷媒体の属性情報を記憶するメモリ２９ａを有し、画像読取装置１５で読み取られて出力された検査画像データと、プリンタ１３へ入力された元基準画像データと、印刷媒体の属性情報と、を取得するデータ取得部２０と、属性情報の補正パラメータを記憶しておく補正パラメータ記憶部２１ａと、データ取得部２０で取得した属性情報に対応する補正パラメータを用いて元基準画像データを補正し、補正後基準画像データを生成する画像生成部２１と、検査画像データおよび基準画像データから検査画像データを生成し、検査画像データと補正後基準画像データとの一致度を、予め定めた値を用いて比較して印刷画像の画像検査を行う画像検査部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０Ａは、ディーゼルエンジン１０に供給される潤滑油３２の一部を新油３２Ａとして抜き出す新油分取ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を使用油３２Ｂとして抜き出す使用油分取ラインＬ１２と、新油分取ラインＬ１１および使用油分取ラインＬ１２から抜き出した新油３２Ａ、使用油３２Ｂ中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置４１と、を有し、検出装置４１で得られた検出結果から使用油３２Ｂ中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン１０の運転継続の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】カメラの台数を最小限に抑えることでコストの増大を抑制しつつ、かつ精度のよい画像を短時間に撮像することができる異物検出装置を提供する。
【解決手段】異物検出装置１０は、一升瓶Ｂを搬送する搬送路Ｒをコンベアにより形成した搬送手段２０と、一升瓶Ｂを撮像するカメラである撮像手段３６と、一升瓶Ｂを撮像手段３６の反対側から照光する照明手段３７と、撮像手段３６および照明手段３７を往復移動させる揺動手段３８と、撮像手段３８により２回撮像する制御手段と、搬送手段２０により搬送される一升瓶Ｂの上部を押圧して一升瓶Ｂと共に移動する保持手段４０のジョイント部４１とを備えている。保持手段４０が一升瓶Ｂを押圧することで、一升瓶Ｂが搬送路Ｒと保持手段４０との間で固定されるので、安定した状態で一升瓶Ｂを撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段と、画像計測演算手段が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】
試料上の欠陥からの散乱光強度が、欠陥径に応じて微小になった場合には、センサから出力される検出信号にはセンサ素子自身の暗ノイズの占める割合が大きくなり、微小な欠陥の検出が困難となる。また、レーザ光源はパルス発振しているため、センサから出力される検出信号にはレーザ光源のパルス成分も重畳することになり、高精度に欠陥を検査することが困難となる。
【解決手段】
試料の表面にパルス発振してレーザビームを照射する照射手段と、前記照射手段による照射により該試料の表面より発生した散乱光を検出する検出手段と、前記照射手段により照射された該レーザビームに基づき遅延信号を生成し、該遅延信号を用いて前記検出手段により検出された散乱光を処理する処理部とを備えた欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する良品判定基準を設定する良品判定基準設定方法。
【解決手段】複数の良品について検査装置を用いて得た良品計量値の分布と、複数の不良品について検査装置を用いて得た不良品計量値の分布とを求め、前記良品計量値の分布と、前記不良品計量値の分布とを、横軸を検出画素数、縦軸をサンプル数として同一の画面上に表示し、当該同一の画面上において両者を比較して、上限の良品判定基準を、前記良品計量値の分布において上限側における不良品計量値の分布の下限より小さなものに設定し、下限の良品判定基準を、下限側における不良品計量値の分布の上限より大きなものに設定する。 （もっと読む）

【課題】
複数の方向に配置した複数の検出器からの信号を基板の高さ変動の影響を受けることなく処理して基板上のより微細な欠陥を検出することを可能にする。
【解決手段】
第１の集光検出手段と第２の集光検出手段とにそれぞれ複数列の光センサアレイを有する光電変換器を備え、処理手段は第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの複数列の光センサアレイからの検出信号を用いて試料の表面に対する第１及び第２の集光検出手段の焦点位置のずれを求め、この求めた第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの焦点位置のずれに応じて第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを補正し、この補正した第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを統合して試料上の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】焦点距離の短い撮像レンズを使用しても周辺光量の低下を抑える欠陥検査装置および照明装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端を含む複数個のＬＥＤ２０Ｂは長手方向中央側を向く角度、つまり撮影レンズ１６の光軸方向を向く方向に固定され、ＬＥＤアレイ２１の長手方向中央を含むＬＥＤ２０Ａはそのまま角度をつけずに撮影レンズ１６に対向している。ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端近傍でＬＥＤ２０の光軸は撮影レンズ１６の光学的中心方向を向くことになるため、周辺光量（この場合は銅箔５０の幅方向両端部の照明光量）が不足することなく、ＣＣＤカメラ１４の視野全域に亘って照明光量を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】吸引管の詰まりを精度良く且つ速やかに解消可能な異物除去システムを提供すること。
【解決手段】
食品を搬送する搬送装置２と、食品をコンピュータに予め設定された食品撮影位置で自動撮影する撮影装置４と、撮影装置４の下流側に設けられ、食品中の異物をコンピュータに予め設定された異物除去位置で除去する異物除去手段Ｍ（吸引管６、圧力センサ７、吹き付け装置１０）と、食品の画像情報を生成する画像情報生成手段と、画像情報においてコンピュータに予め設定された色情報に対応する色情報を有するエリアを異物として判定する異物判定手段と、異物の存在エリアに関する異物位置情報を生成する異物位置情報生成手段と、搬送装置２の搬送距離に基づいて、食品が食品撮影位置から搬送された距離に関する距離情報を算出する距離情報算出手段と、を備える異物除去システム１。 （もっと読む）

【課題】
欠陥信号を低下させて欠陥を見逃してしまうことのない欠陥検査装置および欠陥検査方法と提供する。
【解決手段】
表面にパターンが形成された検査対象物に光を照射し、この光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第１の遮光パターンを備えた第１の空間フィルタを透過した光による第１の光学像を第１の検出器で受光して第１の画像を取得し、光が照射された検査対象物から発生する反射、回折、散乱光を集光して第２の遮光パターンを備えた第２の空間フィルタを透過した光による第２の光学像を第２の検出器で受光して第２の画像を取得し、取得した第１の画像と第２の画像を統合的に処理して欠陥候補を判定する欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体欠陥信号の検出における、統計システム及びその方法に関するものである。
【解決手段】この統計システムは、オンラインモニター、欠陥信号分析、欠陥情報データベース及び欠陥情報統計処理を含み、上記欠陥信号分析には、欠陥信号解析ユニット、欠陥信号検出ユニット及び欠陥情報行列を含む。また欠陥信号検出ユニットには、順序検出サブユニット、繰り返し検出サブユニット、グルーピング検出サブユニット、オーバーラップ検出サブユニット及び未定義信号検出サブユニットが含まれる。本発明の提供する方法においては、検査工程では検出されていない半導体ウエハが、再び欠陥信号検出ユニットの各サブユニットでの検出を経るので、半導体ウエハ欠陥モードのマッチング確率を向上させ、誤報告及び報告漏れを減少させる。さらに欠陥信号検出の検出確度を向上させることにより本発明での半導体欠陥信号の検出及び統計方法が、従来技術における人為的検出方法に取って代わることができ、半導体製造コストを低下させる可能性を持つ。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】液相中の固形物検出用の装置および方法を提供する。
【解決手段】固形物および液相は、少なくとも部分的に透明な容器に混合物として封入され、装置は、プロセッサユニットおよびデジタル化された画像を、画素値を伴う画素の配列の形で作るためのカメラを備える。装置は、容器を保持し、容器に運動を与えて、それによって運動エネルギーが混合物に伝送されるためのアジテータ装置をさらに備える。カメラは、運動中の混合物の画像を撮影するために容器の透明部分に向けられる。記録段階の間にカメラによって撮影された運動中の混合物のデジタル化された画像は、プロセッサユニットへ伝送される。 （もっと読む）