【課題】多重解像度解析により物体検出を行う際に用いる画像処理フィルタのパラメータを、操作者による最適パラメータの指定を要さずに最適化して、精度よく物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置は、候補フィルタを記憶する候補フィルタ記憶部と、候補フィルタで多重解像度の学習用サンプル画像の各解像度画像を走査する候補フィルタ走査部と、候補フィルタ走査部による走査の結果を用いて学習用サンプル画像の各解像度画像の走査結果についての競合学習を行う競合学習部と、候補フィルタを、競合学習部による競合学習の結果において極値を示した学習用サンプル画像の解像度の最適フィルタに決定する最適フィルタ判定部と、多重解像度の被験対象画像を最適フィルタで画像処理して被験対象画像に含まれる物体を検出する物体検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】短時間で、検査精度の高い検査を行うことができる穴内検査装置を提供する。
【解決手段】穴内検査装置１００は、複数の穴２を有する被検査物１の穴２の内部の異物を検査する穴内検査装置１００であって、被検査物１の穴２の内部を撮像する撮像部１０と、撮像部１０を制御する制御部２０と、を含み、制御部２０は、穴２の内部を撮像部１０に撮像させて、第１画像を取得する第１画像取得処理と、第１画像に基づいて異物を検出し、異物の大きさが所与の値よりも大きいか否かを判定して、前記所与の値よりも大きい異物がある穴２を選択する選択処理と、選択処理において選択された穴２の内部を、撮像部１０に複数回撮像させて、複数の第２画像を取得する第２画像取得処理と、を行い、複数の前記第２画像は、互いに異なる焦点位置で撮像される。 （もっと読む）

【課題】透明樹脂フィルムのキズ、あるいはその上に透明樹脂層が積層された透明樹脂フィルムの微細な表面欠陥を、片側表面のみ効率よく検出する。
【解決手段】波長３５０〜３８０ｎｍの紫外線の照射装置１と、当該波長に検出能力を有する検出装置５からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム２であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 （もっと読む）

【課題】トンネル壁面の展開画像を取得するシステムについて、得られた立体視可能な展開画像が現実の壁面の状態を正確に反映できるようにし、その反映の度合いを簡単に判定できるようにする。
【解決手段】システム１０は、トンネルを走行する車両１１と、車両１１に搭載されたビデオカメラ１２と、各ビデオカメラ１２が撮像した画像データを処理可能な画像処理部１３とからなる。画像処理部１３は、画像データの各コマ上の第１および第２ラインから短冊形の第１および第２視差画像をサンプリングし、両ラインの中間から短冊形の直視画像をサンプリングする。各画像を横方向に配列してカメラ１２ごとに第１および第２視差連続画像、直視連続画像を合成する。各連続画像を縦方向に配列して、第１および第２視差展開画像、直視展開画像を合成する。第１および第２視差展開画像を赤または青の着色画像として出力して立体視可能とする。これとフルカラー画像として出力した直視展開画像を比較可能とする。 （もっと読む）

【課題】複数の装置から得たデータの管理を効率的に行うことができる検査システムを提供することである。
【解決手段】検査システム１０は、工場で生産される製品を検査する検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃに通信回線を介して接続される管理サーバ３０とを備える。検査装置１１ａは、装置側検査結果ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ：データベース）１４ａを備える。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、検査装置１１ａが基板を検査した結果を示すデータである検査結果データを格納する。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、キー（Ｋｅｙ）とバリュー（Ｖａｌｕｅ）とによって構成されるキーバリュー（Ｋｅｙ−Ｖａｌｕｅ）型のデータベースである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確に分類することが可能な検査システムの制御方法を提供する。
【解決手段】単一の物体検出ユニットが積載盤上の被検査物を検出し、その後、検出信号を発生させる手順と、制御ユニットが前記検出信号を受信し、その検出信号に基づき第一制御信号と第二制御信号を発生させる手順と、検査ユニットが前記第一制御信号を受信し、前記第一制御信号に基づいて第一時間において前記被検査物を検査し、その後、検査結果を発生させる手順と、分類ユニットが前記第二制御信号を受信し、前記第二制御信号と前記検査結果に基づいて、第二時間において前記被検査物を所定の箇所に分類する手順とからなる。 （もっと読む）

【課題】
被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、円筒中心軸に対して回転する前記被検査面に対応する曲率および前記被検査面の位置の少なくとも一方が経時的に変化する被検査体表面に発生する微小な凹凸欠点を精度よく検出できないという問題点を解決する。
【解決手段】
被検査体に明暗パターンの光を照射する光照射手段と、前記被検査体から反射した前記明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した前記明暗パターンを含む撮像画像に基づいて前記被検査体の表面を検査するデータ処理手段とを備える表面検査装置であって、データ処理手段が、撮像手段により連続で撮像された２枚の画像から、各画像内の明暗パターン領域を比較することにより、微小な凹凸欠点を高精度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】微小な表面欠陥を検査する表面検査装置に対して適切な校正を行うべく、信頼性の高い性能評価を行うことができる表面検査装置の評価装置及び表面検査装置の評価方法を提供する。
【解決手段】校正装置３０は、表面検査装置１０のリング照明１１及びカメラ１３を検査時の相対位置関係を保ったまま後退させて検査面１ａから離反させ、そこに校正板４０を配置する。このとき、校正板４０からリング照明１１までの距離を、検査時における検査面１ａからリング照明１１までの距離と同じにする。また、校正板４０には、検査対象の微小表面欠陥と同等レベルの穴４１を形成しておく。この状態で、カメラ１３によって校正板４０の表面画像を撮像し、検査時と同様の画像処理を行って、校正板４０の穴４１を適切に検査できているか否かを確認することで、表面検査装置１０の検査性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物品の色に応じた最適な検査手段、方法により、誤判定を無くすための技術を提案する。
【解決手段】検査対象となる物品（実施例では瓶２）を撮像するための少なくとも一つの撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅと、前記物品に対して光を照射するための少なくとも一つの照明装置１２と、を有し、前記光が照射された前記物品を前記撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅにて撮像し、撮像された画像に基づいて前記物品の欠陥を判定するための反射系検査部１０を有する、物品の欠陥検査装置１であって、前記照明装置１２は、検査対象となる物品（瓶２）に対して照射する光の色を変更できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】過度の欠陥検出を抑制することにより、不必要な欠陥修正を低減することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】センサ１０６からマスク１０１の光学画像を取得するし、光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第１の誤差を求める。マスク１０１上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第２の誤差を求める。各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する。欠陥と判定された箇所における第２の誤差を第１の誤差で補正する。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安価な装置構成で、搬送方向に直交する幅方向の全幅に亘って均一な検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送される長尺状の酸洗鋼板１の表面に対して、照射光が搬送方向と直交する幅方向に平行なライン状であって、かつ、該酸洗鋼板１表面上で全幅に亘って搬送方向に互いにラップするように照射する２台のライン状拡散照明２，３と、酸洗鋼板１表面上で照射光がラップする領域Ｅ_Ｌを撮像する１台以上のエリアセンサカメラ４と、エリアセンサカメラ４を酸洗鋼板１の全幅をカバーするように幅方向に往復移動させるカメラ移動手段５とを備える。 （もっと読む）

【課題】
欠陥の種類を正確に判別することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査体を撮像して得られる画像データに基づいて欠陥を検査する方法であって、
被検査体に対して複数の種粳の画像データを取り込み、
これら複数の種類の画像データのそれぞれについて欠陥の検出を行い、
１つの欠陥に対して欠陥を検出した画像データの組み合わせに応じて、その欠陥の種類を判別することを特徴とする、欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査対象領域を撮像して取得した多値画像の明暗が変化した場合であっても、非検出対象物であるノイズを効果的に除去し、検出対象物であるブロブ（集合体）状の傷、汚れ等の欠陥の有無、大きさ、形状等を検査する画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象領域の多値画像を取得し、取得した多値画像の濃度情報に基づいて基準濃度値を算出する。多値画像の各画素の濃度値と算出した基準濃度値との差分を画素ごとに算出し、基準濃度値の変化に追従して変化するように基準濃度値に対して相対的に閾値を設定して記憶する。算出した差分が閾値より大きい複数の画素を抽出し、抽出された複数の画素の輝度値の連結性に基づいて画素の集合体を特定し、特定された画素の集合体に対して、差分を用いた特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、特定された画素の集合体の欠陥を判別する。 （もっと読む）

【課題】検出信号の条件に応じて検出回路特性を可変制御することにより、高精度な信号検出を行うことができる半導体ウェハの異物検査装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハの異物検査装置において、反射光を検出するＰＭＴ１０３と、ＰＭＴ１０３で検出された信号を増幅し、かつ増幅の応答特性が制御信号により制御される増幅回路３０１と、増幅回路３０１により増幅された信号を所定のコードに変換して出力するＡ／Ｄ変換器３０２と、反射光と相関を有する半導体ウェハ１０４の情報に基づいて、制御信号を生成する制御回路３０３と、Ａ／Ｄ変換器３０２から出力されたコードに基づいて、半導体ウェハ１０４上の異物を検出するデータ処理回路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 錠剤の振動やポケット内の姿勢に影響を受けることなく正確な検査が行えるようにすること
【解決手段】 ３Ｄカメラ装置は、容器フィルムのポケット部内に供給された錠剤を撮像し、三次元計測法により錠剤の表面の各位置の高さ位置を濃淡画像で表したプロファイル画像を求め、処理装置２２に送る。処理装置は、プロファイル画像に基づき錠剤の外観検査を行うもので、プロファイル画像中の錠剤を示す画像データを抽出する錠剤検出部３１と、抽出した画像データをその錠剤の表面が平坦になるように補正処理をして平坦化画像を生成する平坦化処理部３２と、その平坦化画像に基づいて外観異常の判定を行う欠陥解析部３４を備える。平坦化処理部３２により錠剤の表面の高さ位置が平坦（水平）に正規化されるので、簡単な閾値処理で異常の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、被検物体２０に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段１３と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を０以外の所定値に設定する設定手段１１と、繰り返しパターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段３８と、受光手段３９から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段１５とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】搬送時に得られた画像を基準画像として高速処理を単独カメラユニット毎に実現する通常検査処理と、予め製作してある画像を基準画像として複数カメラユニットの画像を合成処理する版検査処理を併用する検査方法を提供する。
【解決手段】表面、又は裏面、又はその両面に印刷が施され、搬送される印刷物の検査方法であって、印刷物表面または／および印刷物裏面に照明を照射する照明段階と、前記印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記印刷物を撮像する撮像段階と、前記撮像段階にて得られた前記印刷物の画像データを用いて、前記印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、を有し、前記画像処理・欠陥判定段階は、搬送時に得られた画像を基準画像として処理を実現する通常検査段階と、予め製作してある画像を基準画像として処理を実現する版検査処理段階と、を有することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分への打点の精度を確保でき、シート状製品の歩留まりの向上が図られる欠陥マーキング装置を提供する。
【解決手段】欠陥マーキング装置１では、長さ方向に搬送されるシート状製品Ｓの欠陥部分がＣＣＤカメラ４によって検出されると、欠陥部分のシート状製品Ｓにおける幅方向及び長さ方向の位置が画像処理部５によって検出され、ヘッド制御部６がマーキングヘッド７を制御して欠陥部分への打点を行うようになっている。ここで、欠陥マーキング装置１では、マーキングヘッド７の打点動作の駆動源として、回転角度を制御可能な駆動モータ２１が設けられている。これにより、マーキングヘッド７による打点の精度を十分に確保できるので、欠陥部分の周囲でシート状製品Ｓを大きな面積で除去する必要がなくなり、シート状製品Ｓの歩留まりを向上させることが可能となる。 （もっと読む）